Buchumschlag

Динамический метод создания газовых смесей для плазменных технологий

Рассмотрен вопрос создания многокомпонентных газовых смесей, предназначенных для использования в плазменных установках. Предложен динамический метод получения смесей газов, основанный на сверхкритическом истечении газов из емкостей через калиброванные отверстия. Показано, что при соответств...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Вопросы атомной науки и техники
Datum:	2018
Hauptverfasser:	Планковский, С.И., Шипуль, О.В., Заклинский, С.А., Трифонов, О.В.
Format:	Artikel
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2018
Schlagworte:	Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/147716
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Динамический метод создания газовых смесей для плазменных технологий / С.И. Планковский, О.В. Шипуль, С.А. Заклинский, О.В. Трифонов // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 5. — С. 121-125. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Создание многокомпонентных газовых смесей для ионно-плазменных технологий
von: Сысоев, Ю.А.
Veröffentlicht: (2014)

Механические характеристики твэльных трубок из сплава Zr1Nb после осаждения ионно-плазменных покрытий
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Вакуумно-дуговое оборудование и технологии покрытий в ХФТИ
von: Аксёнов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Термовакуумный метод получения нанодисперсных материалов
von: Кутовой, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Использование рентгеновского излучения для радиационных технологий
von: Власенко, П.Г., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Усовершенствованный метод получения дисперсного диоксида циркония
von: Кутовой, В.А.
Veröffentlicht: (2011)

Метод визуальной ИК-радиометрии электронных потоков
von: Базалеев, Н.И., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Методы компьютерного эксперимента в физике гамма-радиационных технологий с использованием новых источников излучения
von: Дюльдя, С.В., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Радионуклиды европия как источники излучения для гамма-радиационных технологий: моделирование распределений поглощенной дозы в гомогенных средах
von: Дюльдя, С. В., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Многослойные биметаллические среды как метод защиты от радиационного излучения
von: Борц, Б.В., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Влияние аргона на структуру и свойства Ti-Si-N-покрытий, полученных при вакуумно-дуговом осаждении в газовой смеси «азот + аргон»
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Влияние на дефектную структуру и свойства конструкционных и инструментальных сталей ударного воздействия с ультразвуковой частотой
von: Алехин, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения
von: Аксёнов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Механические характеристики, структура и напряженное состояние вакуумно-дуговых TiN-покрытий, осажденных при подаче на подложку высоковольтных импульсов в процессе осаждения
von: Соболь, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Трибологические характеристики и механические свойства многослойных вакуумно-дуговых покрытий TiN/ZrN
von: Гранкин, С.С., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Анализ прочности элементов пресс-форм из углерод-углеродных материалов для псевдоизостатического прессования
von: Ашихмин, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Влияние давления азота на структуру конденсатов, полученных из высокоэнтропийного сплава AlCrTiZrNbY при вакуумно-дуговом осаждении
von: Береснев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением
von: Соболь, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Ионно-плазменное покрытие системы AlN-TiB₂-TiSi₂, получение и свойства
von: Азаренков, Н.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Однослойные и многослойные вакуумно-дуговые покрытия на основе нитрида TiAlSiYN: состав, структура, свойства
von: Береснев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Перенесення катодного матеріалу в процесі вакуумно-дугового формування покриттів
von: Аксьонов, І.І., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Исследование поведения профилей залегания имплантированных ионов Ti⁺ в наноструктурной пленке Nb в зависимости от угла падения ионов при низкотемпературном облучении. Компьютерное моделирование по программе SPURT.CRIS
von: Павленко, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Деградаційні та відновні процеси у зворотньозміщених фосфідо-галієвих діодах, спричинені швидкими нейтронами реактора
von: Друзенко, Н.В., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si»
von: Торяник, И.Н., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Межслоевое перемешивание в многослойных периодических композициях Mo/Si, MoSi₂/Si и Mo/C/Si/C при облучении ионами гелия
von: Пеньков, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Покрытия Me-Cr-Al-Y, полученные атомно-ионным распылением (АИР) в условиях электродуговой и высокочастотной ионизации
von: Картмазов, Г.Н., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Зниження насичення воднем цирконієвих сплавів при модифікації поверхні комплексною іонно-плазмовою обробкою
von: Толстолуцька, Г.Д., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Эволюция разрядной ячейки при вакуумно-дуговом разряде на меди
von: Павлов, В.С.
Veröffentlicht: (2004)

Источник многозарядных ионов для установки «Сокол» (стендовые испытания)
von: Карпусь, С.Г.
Veröffentlicht: (2009)

Исследование влияния параметров синтеза алмазных покрытий на скорость их роста и величину удельного электрического сопротивления
von: Веревкин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)

О формообразовании кратеров при ионной бомбардировке
von: Калиниченко, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Формирование напряжений сжатия в тонких пленках при ионном облучении
von: Калиниченко, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Ускорение кинетических процессов в аморфном и нанокристаллическом нитриде бора при ионном облучении
von: Калиниченко, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Фазовые превращения при нанокристаллизации аморфного оксида циркония
von: Габелков, С.В., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Морфологія та структура нанокомпозитів поліетилену високого тиску з багатостінними вуглецевими нанотрубками під опроміненням
von: Пінчук-Ругаль, Т.М., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Получение методом горячей прокатки в вакууме слоистых и композиционных материалов типа медь-сталь и исследование их свойств
von: Ильченко, Н.И., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Разработка и применение быстрозакаленных припоев для прецизионной пайки разнородных материалов атомной техники
von: Калин, Б.А., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Использование ускорителей электронов для контроля герметичности защитных оболочек твэлов высокотемпературных газоохлаждаемых реакторов
von: Гурин, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Радіаційно-стимульовані перетворення електропровідності нанокомпозиту поліетилену з багатостінними вуглецевими нанотрубками
von: Ничипоренко, О.С., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Мониторирование низкоэнергетичных пучков тормозного излучения с помощью реакции 115In(γ,γ`)115mIn
von: Ранюк, Ю.Н., et al.
Veröffentlicht: (2004)