Динамический метод создания газовых смесей для плазменных технологий

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2018
• ISSN: 1562-6016
• Main Authors: Планковский, С.И., Шипуль, О.В., Заклинский, С.А., Трифонов, О.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2018
• Subjects: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/147716
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Динамический метод создания газовых смесей для плазменных технологий / С.И. Планковский, О.В. Шипуль, С.А. Заклинский, О.В. Трифонов // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 5. — С. 121-125. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Рассмотрен вопрос создания многокомпонентных газовых смесей, предназначенных для использования в
 плазменных установках. Предложен динамический метод получения смесей газов, основанный на сверхкритическом истечении газов из емкостей через калиброванные отверстия. Показано, что при соответств...