Температурний та лазерний відпал нестехіометричних плівок SiOx - Гаврилюк, О.О.; Семчук, О.Ю. (Поверхность, 2013)
За літературними даними розглянуто останні досягнення в області створення технологій отримання кремнієвих нанокристалів і нанокомпозитних плівок, що містять нанокристали кремнію в діелектричній матриці. Особливу увагу приділено двом найбільш перспективним методам – температурному та лазерному відпалу нестехіометричних плівок SiOx.