Cover Image

Температурний та лазерний відпал нестехіометричних плівок SiOx

За літературними даними розглянуто останні досягнення в області створення технологій отримання кремнієвих нанокристалів і нанокомпозитних плівок, що містять нанокристали кремнію в діелектричній матриці. Особливу увагу приділено двом найбільш перспективним методам – температурному та лазерному відпал...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Поверхность
Date:2013
Main Authors: Гаврилюк, О.О., Семчук, О.Ю.
Format: Article
Language:Ukrainian
Published: Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка НАН України 2013
Subjects:
Теорія хімічної будови і реакційної здатності поверхні
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/147868
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Температурний та лазерний відпал нестехіометричних плівок SiOx / О.О. Гаврилюк, О.Ю. Семчук // Поверхность. — 2013. — Вип. 5 (20). — С. 69-82. — Бібліогр.: 29 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Similar Items

Similar Items