Температурний та лазерний відпал нестехіометричних плівок SiOx
За літературними даними розглянуто останні досягнення в області створення технологій отримання кремнієвих нанокристалів і нанокомпозитних плівок, що містять нанокристали кремнію в діелектричній матриці. Особливу увагу приділено двом найбільш перспективним методам – температурному та лазерному відпал...
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| Veröffentlicht in: | Поверхность |
|---|---|
| Datum: | 2013 |
| Hauptverfasser: | Гаврилюк, О.О., Семчук, О.Ю. |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка НАН України
2013
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/147868 |
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| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Температурний та лазерний відпал нестехіометричних плівок SiOx / О.О. Гаврилюк, О.Ю. Семчук // Поверхность. — 2013. — Вип. 5 (20). — С. 69-82. — Бібліогр.: 29 назв. — укр. |
Institution
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