Температурний та лазерний відпал нестехіометричних плівок SiOx
За літературними даними розглянуто останні досягнення в області створення технологій отримання кремнієвих нанокристалів і нанокомпозитних плівок, що містять нанокристали кремнію в діелектричній матриці. Особливу увагу приділено двом найбільш перспективним методам – температурному та лазерному відпал...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Поверхность |
|---|---|
| Дата: | 2013 |
| Автори: | Гаврилюк, О.О., Семчук, О.Ю. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка НАН України
2013
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/147868 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Температурний та лазерний відпал нестехіометричних плівок SiOx / О.О. Гаврилюк, О.Ю. Семчук // Поверхность. — 2013. — Вип. 5 (20). — С. 69-82. — Бібліогр.: 29 назв. — укр. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Коливальні стани кластерів, які моделюють адсорбційні комплекси кисню на грані Si(100)
за авторством: Теребінська, М.І., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Теребінська, М.І., та інші
Опубліковано: (2014)
Коливальна спектроскопія фулереноподібних молекул діоксиду кремнію
за авторством: Філоненко, О.В., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Філоненко, О.В., та інші
Опубліковано: (2013)
Строение и свойства углеродных нанокластеров гексагональной формы, содержащих одну и две моновакансии
за авторством: Карпенко, О.С., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Карпенко, О.С., та інші
Опубліковано: (2013)
Квантовохімічне дослідження взаємодії ортосилікатної кислоти з лугами у водному середовищі
за авторством: Кравченко, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Кравченко, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)
Рассеяние плоских электромагнитных волн на полой многослойной углеродной нанотрубоке
за авторством: Каневский, В.И., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Каневский, В.И., та інші
Опубліковано: (2013)
Моделі пористих середовищ
за авторством: Криворучко, Я.С., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Криворучко, Я.С., та інші
Опубліковано: (2013)
Возвратно-поступательный инерционный броуновский мотор
за авторством: Корочкова, Т.Е., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Корочкова, Т.Е., та інші
Опубліковано: (2014)
Влияние структуры неупорядоченной среды на кинетику геминальной рекомбинации
за авторством: Шкилев, В.П., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Шкилев, В.П., та інші
Опубліковано: (2015)
Особливості розподілу електростатичного потенціалу в одно- та в двостінних вуглецевих нанотрубок типу (6,0), (15,0) та (6,0)@(15,0)
за авторством: Дацюк, А.М.
Опубліковано: (2014)
за авторством: Дацюк, А.М.
Опубліковано: (2014)
Модельный пилообразный потенциал в теории броуновских моторов
за авторством: Корочкова, Т.Е., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Корочкова, Т.Е., та інші
Опубліковано: (2015)
Спектр электронно-дырочной пары в полупроводниковых квантовых точках
за авторством: Покутний, С.И., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Покутний, С.И., та інші
Опубліковано: (2014)
Теоретичне вивчення лазерного відпалу нестехіометричних плівок SiOx
за авторством: Gavrylyuk, O. O.
Опубліковано: (2014)
за авторством: Gavrylyuk, O. O.
Опубліковано: (2014)
A Quantum Chemical Study on Levomycetin Interaction with Silica Surface
за авторством: Kravchenko, A.A., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Kravchenko, A.A., та інші
Опубліковано: (2010)
Electrostatic Field Tensities near Irregularities of Porous Silicon Surface
за авторством: Terebinska, M.I., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Terebinska, M.I., та інші
Опубліковано: (2010)
Effect of Surface Phenomena on Selective Separation Properties of Liquid Crystal Stationary Phase
за авторством: Dzagania, M., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Dzagania, M., та інші
Опубліковано: (2010)
Use of Nanomodified Clinoptilolite as an Additions to Building Materials
за авторством: Tsintskaladze, G.P., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Tsintskaladze, G.P., та інші
Опубліковано: (2010)
Binding Energies for CO on Clean and Oxygen-Modified Mo(110) Surface
за авторством: Petrova, N.V.
Опубліковано: (2010)
за авторством: Petrova, N.V.
Опубліковано: (2010)
Role of Ionized States of Water Molecules in the Reaction of Hydrolysis of Saccharose on Silica Surfaces
за авторством: Tsendra, O.M., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Tsendra, O.M., та інші
Опубліковано: (2010)
Реверсивне фотопотемніння в композитних наноструктурах As₂S₃/SiOx
за авторством: Данько, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Данько, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Кинетика фотолюминесценции пористых nc-Si–SiOx-структур
за авторством: Михайловская, Е.В., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Михайловская, Е.В., та інші
Опубліковано: (2012)
Kinetic of photoluminescence of porous nc-Si–SiOx structures
за авторством: E. V. Mikhajlovskaja, та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: E. V. Mikhajlovskaja, та інші
Опубліковано: (2012)
Electron field emission from SiOx films
за авторством: Evtukh, А.А., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Evtukh, А.А., та інші
Опубліковано: (2003)
Temperature and laser annealing of nonstoichiometric SiOx films
за авторством: O. O. Havryliuk, та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: O. O. Havryliuk, та інші
Опубліковано: (2013)
Nickel-induced enhancement of photoluminescence in nc-Si–SiOx nanostructures
за авторством: Michailovska, K.V., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Michailovska, K.V., та інші
Опубліковано: (2014)
Reversible photodarkening in composite As2S3/SiOx nanostructures
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2011)
Polarization conversion effect in obliquely deposited SiOx films
за авторством: M. V. Sopinskyy, та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: M. V. Sopinskyy, та інші
Опубліковано: (2011)
Polarization conversion effect in obliquely deposited SiOx films
за авторством: Sopinskyy, M.V., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Sopinskyy, M.V., та інші
Опубліковано: (2011)
Nickel-induced enhancement of photo-luminescence in nc-Si-SiOx nanostructures
за авторством: K. V. Michailovska, та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: K. V. Michailovska, та інші
Опубліковано: (2014)
Photoluminescence of porous nc-Si—SiOx nanostructures treated by HF vapors
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2010)
Фотолюмінесценція поруватих nc-Si—SiOx наноструктур, оброблених парами HF
за авторством: Данько, В.А., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Данько, В.А., та інші
Опубліковано: (2010)
Effect of chemical and radiofrequency plasma treatment on photoluminescence of SiOx films
за авторством: Indutnyy, I.Z., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Indutnyy, I.Z., та інші
Опубліковано: (2006)
Nanostructuring the SiOx layers by using laser-induced self-organization
за авторством: O. V. Steblova, та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: O. V. Steblova, та інші
Опубліковано: (2017)
Theoretical study on laser annealing of non-stoichiometric SiOX films
за авторством: O. O. Gavrylyuk
Опубліковано: (2014)
за авторством: O. O. Gavrylyuk
Опубліковано: (2014)
Nanostructuring the SiOₓ layers by using laser-induced self-organization
за авторством: Steblova, O.V., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Steblova, O.V., та інші
Опубліковано: (2017)
Effect of acetone vapor treatment on photoluminescence of porous nc-Si–SiOx nanostructures
за авторством: Indutnyi, I.Z., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Indutnyi, I.Z., та інші
Опубліковано: (2009)
Photoluminescence properties of silicon nanoparticlesinmultilayered (SiOx-SiOy)n structures with porousinsulatinglayers
за авторством: K. V. Mykhailovska, та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: K. V. Mykhailovska, та інші
Опубліковано: (2018)
Laser heating effect on Raman spectra of Si nanocrystals embedded into SiOx matrix
за авторством: A. S. Nikolenko
Опубліковано: (2013)
за авторством: A. S. Nikolenko
Опубліковано: (2013)
Control of photoluminescence spectra of porous nc-Si-SiOx structures by vapor treatment
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2010)
Optical study of thermally induced phase separation in evaporated SiOx films
за авторством: Indutnyy, I.Z., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Indutnyy, I.Z., та інші
Опубліковано: (2004)
Disappearance of aligning properties of deposited SiOx films as caused by external factors
за авторством: Kolomzarov, Yu., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Kolomzarov, Yu., та інші
Опубліковано: (2006)
Схожі ресурси
-
Коливальні стани кластерів, які моделюють адсорбційні комплекси кисню на грані Si(100)
за авторством: Теребінська, М.І., та інші
Опубліковано: (2014) -
Коливальна спектроскопія фулереноподібних молекул діоксиду кремнію
за авторством: Філоненко, О.В., та інші
Опубліковано: (2013) -
Строение и свойства углеродных нанокластеров гексагональной формы, содержащих одну и две моновакансии
за авторством: Карпенко, О.С., та інші
Опубліковано: (2013) -
Квантовохімічне дослідження взаємодії ортосилікатної кислоти з лугами у водному середовищі
за авторством: Кравченко, А.А., та інші
Опубліковано: (2013) -
Рассеяние плоских электромагнитных волн на полой многослойной углеродной нанотрубоке
за авторством: Каневский, В.И., та інші
Опубліковано: (2013)