Conversion of carbon dioxide in low-pressure plasma

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2018
• Main Authors: Dudin, S.V., Dakhov, A.N.
• Format: Article
• Language: English
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2018
• Subjects: Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/148833
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Conversion of carbon dioxide in low-pressure plasma / S.V. Dudin, A.N. Dakhov // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 6. — С. 194-197. — Бібліогр.: 5 назв. — англ.

The paper reports the results of experimental study of efficiency of carbon dioxide conversion to CO and O₂ in
 gas-discharge plasma at low gas pressure. The inductively coupled plasma source operates at 13.56 MHz in the RF
 power range 5…500 W. Pure CO₂ at pressure of 1…100 mTorr is...