Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure
The results of study of the plasma parameters of radio frequency capacitive discharge with isolated electrodes in atmospheric-pressure argon by means of bremsstrahlung photometry in wavelength range 400…600 nm are presented. Time-averaged spatial distributions of the plasma electron temperature ar...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2018 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2018
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/149059 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure / V.Yu. Bazhenov, S.M. Gubarev, V.V. Tsiolko, D.S. Levko // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 6. — С. 259-262. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. |