Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2018
• Main Authors: Chunadra, А.G., Sereda, К.N., Tarasov, I.K.
• Format: Article
• Language: English
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2018
• Subjects: Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/149062
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge / А.G. Chunadra, К.N. Sereda, I.K. Tarasov // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 6. — С. 252-254. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.

The paper presents measurements of the electron temperature and plasma concentration in both stationary and
 pulsed operation modes of a longitudinal planar MDC with a magnetically insulated anode in stationary and highcurrent pulsed operation modes with a high-voltage impulse voltage addition. The measurements were carried out
 according to the standard procedure for Langmuir double probes. The obtained volt-ampere characteristics of a
 double probe show that the electron temperature increases by a factor of two in the pulsed mode of operation of the
 magnetron in comparison with the steady-state regime, and the density of the pulsed plasma increases by three
 orders of magnitude. Представлено виміри температури електронів і концентрація плазми як у стаціонарному, так і в
 імпульсному режимах роботи повздовжньої планарної МРС з магнітоізольованим анодом у стаціонарному
 та сильнострумовому імпульсному режимах роботи з високовольтною імпульсною добавкою напруги.
 Виміри проводилися за стандартною методикою для двійних зондів Ленгмюра. Отримані вольт-амперні
 характеристики двійного зонда показують, що температура електронів збільшується в два рази в
 імпульсному режимі роботи магнетрона в порівнянні у стаціонарним режимом, а концентрація імпульсної
 плазми зростає на три порядки. Представлены измерения температуры электронов и концентрации плазмы как в стационарном, так и в
 импульсном режимах работы продольной планарной МРС с магнитоизолированным анодом в стационарном
 и сильноточном импульсном режимах работы с высоковольтной импульсной добавкой напряжения.
 Измерения проводились по стандартной методике для двойных зондов Ленгмюра. Полученные вольтамперные характеристики двойного зонда показывают, что температура электронов увеличивается в два
 раза в импульсном режиме работы магнетрона по сравнению со стационарным режимом, а плотность
 импульсной плазмы возрастает на три порядка.