Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge
The paper presents measurements of the electron temperature and plasma concentration in both stationary and
 pulsed operation modes of a longitudinal planar MDC with a magnetically insulated anode in stationary and highcurrent pulsed operation modes with a high-voltage impulse voltage additi...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2018 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2018
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/149062 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge / А.G. Chunadra, К.N. Sereda, I.K. Tarasov // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 6. — С. 252-254. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862539938912796672 |
|---|---|
| author | Chunadra, А.G. Sereda, К.N. Tarasov, I.K. |
| author_facet | Chunadra, А.G. Sereda, К.N. Tarasov, I.K. |
| citation_txt | Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge / А.G. Chunadra, К.N. Sereda, I.K. Tarasov // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 6. — С. 252-254. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | The paper presents measurements of the electron temperature and plasma concentration in both stationary and
pulsed operation modes of a longitudinal planar MDC with a magnetically insulated anode in stationary and highcurrent pulsed operation modes with a high-voltage impulse voltage addition. The measurements were carried out
according to the standard procedure for Langmuir double probes. The obtained volt-ampere characteristics of a
double probe show that the electron temperature increases by a factor of two in the pulsed mode of operation of the
magnetron in comparison with the steady-state regime, and the density of the pulsed plasma increases by three
orders of magnitude.
Представлено виміри температури електронів і концентрація плазми як у стаціонарному, так і в
імпульсному режимах роботи повздовжньої планарної МРС з магнітоізольованим анодом у стаціонарному
та сильнострумовому імпульсному режимах роботи з високовольтною імпульсною добавкою напруги.
Виміри проводилися за стандартною методикою для двійних зондів Ленгмюра. Отримані вольт-амперні
характеристики двійного зонда показують, що температура електронів збільшується в два рази в
імпульсному режимі роботи магнетрона в порівнянні у стаціонарним режимом, а концентрація імпульсної
плазми зростає на три порядки.
Представлены измерения температуры электронов и концентрации плазмы как в стационарном, так и в
импульсном режимах работы продольной планарной МРС с магнитоизолированным анодом в стационарном
и сильноточном импульсном режимах работы с высоковольтной импульсной добавкой напряжения.
Измерения проводились по стандартной методике для двойных зондов Ленгмюра. Полученные вольтамперные характеристики двойного зонда показывают, что температура электронов увеличивается в два
раза в импульсном режиме работы магнетрона по сравнению со стационарным режимом, а плотность
импульсной плазмы возрастает на три порядка.
|
| first_indexed | 2025-11-24T15:49:13Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-149062 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-11-24T15:49:13Z |
| publishDate | 2018 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Chunadra, А.G. Sereda, К.N. Tarasov, I.K. 2019-02-19T15:02:23Z 2019-02-19T15:02:23Z 2018 Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge / А.G. Chunadra, К.N. Sereda, I.K. Tarasov // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 6. — С. 252-254. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 51.50.+v, 52.25.Jm https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/149062 The paper presents measurements of the electron temperature and plasma concentration in both stationary and
 pulsed operation modes of a longitudinal planar MDC with a magnetically insulated anode in stationary and highcurrent pulsed operation modes with a high-voltage impulse voltage addition. The measurements were carried out
 according to the standard procedure for Langmuir double probes. The obtained volt-ampere characteristics of a
 double probe show that the electron temperature increases by a factor of two in the pulsed mode of operation of the
 magnetron in comparison with the steady-state regime, and the density of the pulsed plasma increases by three
 orders of magnitude. Представлено виміри температури електронів і концентрація плазми як у стаціонарному, так і в
 імпульсному режимах роботи повздовжньої планарної МРС з магнітоізольованим анодом у стаціонарному
 та сильнострумовому імпульсному режимах роботи з високовольтною імпульсною добавкою напруги.
 Виміри проводилися за стандартною методикою для двійних зондів Ленгмюра. Отримані вольт-амперні
 характеристики двійного зонда показують, що температура електронів збільшується в два рази в
 імпульсному режимі роботи магнетрона в порівнянні у стаціонарним режимом, а концентрація імпульсної
 плазми зростає на три порядки. Представлены измерения температуры электронов и концентрации плазмы как в стационарном, так и в
 импульсном режимах работы продольной планарной МРС с магнитоизолированным анодом в стационарном
 и сильноточном импульсном режимах работы с высоковольтной импульсной добавкой напряжения.
 Измерения проводились по стандартной методике для двойных зондов Ленгмюра. Полученные вольтамперные характеристики двойного зонда показывают, что температура электронов увеличивается в два
 раза в импульсном режиме работы магнетрона по сравнению со стационарным режимом, а плотность
 импульсной плазмы возрастает на три порядка. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge Зондові виміри параметрів щільної газометалевої плазми в неоднорідному магнітному полі планарного магнетронного розряду Зондовые измерения параметров плотной газометаллической плазмы в неоднородном магнитном поле планарного магнетронного разряда Article published earlier |
| spellingShingle | Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge Chunadra, А.G. Sereda, К.N. Tarasov, I.K. Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| title | Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge |
| title_alt | Зондові виміри параметрів щільної газометалевої плазми в неоднорідному магнітному полі планарного магнетронного розряду Зондовые измерения параметров плотной газометаллической плазмы в неоднородном магнитном поле планарного магнетронного разряда |
| title_full | Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge |
| title_fullStr | Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge |
| title_full_unstemmed | Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge |
| title_short | Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge |
| title_sort | probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge |
| topic | Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| topic_facet | Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/149062 |
| work_keys_str_mv | AT chunadraag probemeasurementsofparametersofdensegasmetallicplasmaintheinhomogeneousmagneticfieldofaplanarmagnetrondischarge AT seredakn probemeasurementsofparametersofdensegasmetallicplasmaintheinhomogeneousmagneticfieldofaplanarmagnetrondischarge AT tarasovik probemeasurementsofparametersofdensegasmetallicplasmaintheinhomogeneousmagneticfieldofaplanarmagnetrondischarge AT chunadraag zondovívimíriparametrívŝílʹnoígazometalevoíplazmivneodnorídnomumagnítnomupolíplanarnogomagnetronnogorozrâdu AT seredakn zondovívimíriparametrívŝílʹnoígazometalevoíplazmivneodnorídnomumagnítnomupolíplanarnogomagnetronnogorozrâdu AT tarasovik zondovívimíriparametrívŝílʹnoígazometalevoíplazmivneodnorídnomumagnítnomupolíplanarnogomagnetronnogorozrâdu AT chunadraag zondovyeizmereniâparametrovplotnoigazometalličeskoiplazmyvneodnorodnommagnitnompoleplanarnogomagnetronnogorazrâda AT seredakn zondovyeizmereniâparametrovplotnoigazometalličeskoiplazmyvneodnorodnommagnitnompoleplanarnogomagnetronnogorazrâda AT tarasovik zondovyeizmereniâparametrovplotnoigazometalličeskoiplazmyvneodnorodnommagnitnompoleplanarnogomagnetronnogorazrâda |