Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge
The paper presents measurements of the electron temperature and plasma concentration in both stationary and
 pulsed operation modes of a longitudinal planar MDC with a magnetically insulated anode in stationary and highcurrent pulsed operation modes with a high-voltage impulse voltage additi...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2018 |
| Автори: | Chunadra, А.G., Sereda, К.N., Tarasov, I.K. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2018
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/149062 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge / А.G. Chunadra, К.N. Sereda, I.K. Tarasov // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 6. — С. 252-254. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2012)
Control of planar magnetron sputtering system operating modes by additional anode magnetic field
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2010)
Increasing of mass transfer efficiency at magnetron deposition of metal coating
за авторством: Chunadra, A.G., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Chunadra, A.G., та інші
Опубліковано: (2015)
Features of coatings deposition in combined stationary-pulsed operation mode of the magnetron sputtering system
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2017)
Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2018)
Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2011)
Excitation of self-sustained secondary emission by gas discharge and hollow beam generation in magnetron injection gun
за авторством: Cherenshchykov, S.A., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Cherenshchykov, S.A., та інші
Опубліковано: (2009)
Helicon discharge excited by a planar antenna in bounded volume
за авторством: Virko, V.F., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Virko, V.F., та інші
Опубліковано: (2014)
Nonequilibrium of the dense electric arc plasma cased by radiation transfer
за авторством: Zhovtyansky, V.А., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Zhovtyansky, V.А., та інші
Опубліковано: (2012)
Measurement of the plasma density in two modes of pulsed discharge burning in the penning cell
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2015)
Plasma assisted deposition of TaB₂ coatings by magnetron sputtering system
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2017)
On the use of optically trapped dust particles as micro-probes in process plasmas
за авторством: Schneider, V., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Schneider, V., та інші
Опубліковано: (2013)
Plasma reforming of ethanol in DGCLW discharge
за авторством: Yukhymenko, V.V., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Yukhymenko, V.V., та інші
Опубліковано: (2011)
Estimation of tungsten and ODS tungsten damages after dense plasma exposure in PF-12 and PF-1000
за авторством: Shirokova, V., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Shirokova, V., та інші
Опубліковано: (2012)
Properties of secondary discharge in plasma-liquid system based on rotating gliding discharge
за авторством: Hamazin, D.K., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Hamazin, D.K., та інші
Опубліковано: (2017)
Efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma
за авторством: Zhovtyansky, V.A., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Zhovtyansky, V.A., та інші
Опубліковано: (2011)
On the equation of state and properties of the plasma in underwater discharges
за авторством: Porytskyy, P.V., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Porytskyy, P.V., та інші
Опубліковано: (2017)
Effect of the external magnetic field on the dynamics and power of the self-sustained plasma-beam discharge
за авторством: Hrechko, Ya.O., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Hrechko, Ya.O., та інші
Опубліковано: (2018)
On the transport properties of a nonideal plasma of underwater discharges
за авторством: Starchyk, P.D., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Starchyk, P.D., та інші
Опубліковано: (2011)
Influence of dust particles on RF-discharge plasma afterglow
за авторством: Kravchenko, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Kravchenko, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2015)
Magnetron with a concave hemispherical cathode
за авторством: Stetsenko, B.V., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Stetsenko, B.V., та інші
Опубліковано: (2009)
Connection between electrodes shape and plasma flow of the gliding discharge
за авторством: Sláma, J., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Sláma, J., та інші
Опубліковано: (2011)
Researching of acoustic waves in plasma-liquid system with pulsed discharge
за авторством: Iukhymenko, V.V., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Iukhymenko, V.V., та інші
Опубліковано: (2015)
Plasma-catalytic system with wide-aperture rotating gliding discharge
за авторством: Nedybaliuk, O.A., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Nedybaliuk, O.A., та інші
Опубліковано: (2018)
Plasma of arc discharge between melting Cu- and Ni-electrodes
за авторством: Veklich, A.N., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Veklich, A.N., та інші
Опубліковано: (2018)
Investigation of nonequilibrium in plasma of ARC discharge between melting electrodes
за авторством: Fesenko, S.O., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Fesenko, S.O., та інші
Опубліковано: (2018)
Stochastic heating of electrons in capacitive RF discharges by plasma oscillations
за авторством: Manuilenko, O.V.
Опубліковано: (2012)
за авторством: Manuilenko, O.V.
Опубліковано: (2012)
Plasma-liquid system with rotational gliding discharge with liquid electrode
за авторством: Nedybaliuk, O.A., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Nedybaliuk, O.A., та інші
Опубліковано: (2014)
On the influence of electrode erosion on properties of nonideal plasma of underwater discharges
за авторством: Starchyk, P.D., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Starchyk, P.D., та інші
Опубліковано: (2012)
Radiation of multicomponent gas-metal plasma of a pulsed reflex discharge
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2010)
The obtaining and properties investigation of plasma formation at pulse discharge in water aerosol
за авторством: Iukhymenko, V.V., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Iukhymenko, V.V., та інші
Опубліковано: (2013)
The research of double-pulse discharge in a plasma-liquid system with cylindrical geometry
за авторством: Chernyak, V.Ya., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Chernyak, V.Ya., та інші
Опубліковано: (2012)
Spectroscopy of heterophase plasma of electric ARC discharge between W and Mo electrodes
за авторством: Lebid, A.V., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Lebid, A.V., та інші
Опубліковано: (2018)
Determining the rotational velocity of gas-metal multicomponent plasma in a reflex discharge
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2010)
Propagation of multicomponent plasma oscillations along the magnetic field in the pulsed reflex discharge
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2012)
On the peculiarities of the transport properties of multicomponent nonideal plasma of underwater discharges at high pressure
за авторством: Starchyk, P.D., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Starchyk, P.D., та інші
Опубліковано: (2015)
Plasma parameters estimation in the non-self-sustained gas discharge with hollow anode
за авторством: Misiruk, I.O., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Misiruk, I.O., та інші
Опубліковано: (2018)
Modeling of gas diffusion into metals on the example of titanium nitriding in gas discharge plasmas
за авторством: Misiruk, I.O., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Misiruk, I.O., та інші
Опубліковано: (2015)
Ion energy distribution and basic characteristics of plasma flows of nonself-sustained arc discharge
за авторством: Borisenko, A.G., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Borisenko, A.G., та інші
Опубліковано: (2015)
Effect of the parameters of a gas-discharge plasma on the equilibrium temperature and floating potential of macroparticle
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2012)
Схожі ресурси
-
High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2012) -
Control of planar magnetron sputtering system operating modes by additional anode magnetic field
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2010) -
Increasing of mass transfer efficiency at magnetron deposition of metal coating
за авторством: Chunadra, A.G., та інші
Опубліковано: (2015) -
Features of coatings deposition in combined stationary-pulsed operation mode of the magnetron sputtering system
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2017) -
Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2018)