Simulation of nanoparticle deposition from plasmas on solid surface

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2018
• Main Authors: Bondar, M.A., Kravchenko, O.Yu.
• Format: Article
• Language: English
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2018
• Subjects: Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/149064
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Simulation of nanoparticle deposition from plasmas on solid surface / M.A. Bondar, O.Yu. Kravchenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 6. — С. 267-269. — Бібліогр.: 5 назв. — англ.

In this paper a computer simulation of depositing nanoparticles from rarefied plasma on a solid substrate, which is at a floating potential, is carried out. In our model, we used the equation of cold hydrodynamics for ions, the equilibrium distribution of Boltzmann for electrons, and the particle...