Generator of low pressure volume plasma with plasma electron source
In the current paper the results of a study of a volumetric high-current low-pressure discharge with a plasma electron source are presented. The source was made on the basis of a hollow cathode with a gas-magnetron ignition of the discharge and an auxiliary arc discharge for the cathode heating...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2018 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2018
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/149073 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Generator of low pressure volume plasma with plasma electron source / V.A. Khomich, A.V. Ryabtsev, V.G. Nazarenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 6. — С. 308-311. — Бібліогр.: 11 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-149073 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Khomich, V.A. Ryabtsev, A.V. Nazarenko, V.G. 2019-02-19T15:27:33Z 2019-02-19T15:27:33Z 2018 Generator of low pressure volume plasma with plasma electron source / V.A. Khomich, A.V. Ryabtsev, V.G. Nazarenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 6. — С. 308-311. — Бібліогр.: 11 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.80.Mg https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/149073 In the current paper the results of a study of a volumetric high-current low-pressure discharge with a plasma electron source are presented. The source was made on the basis of a hollow cathode with a gas-magnetron ignition of the discharge and an auxiliary arc discharge for the cathode heating up to thermionic emission temperature. The gas-discharge plasma was generated at a working gas pressure 0.1...1 Pa and hade an electron concentration of 10¹⁰ ...(5×10¹¹) cm⁻³ in a volume of 0.1 m³. Also the volt-ampere characteristics, the ion current density distribution in the working volume are presented for different discharge conditions. The plasma generator may be used in the processes of ion-plasma technologies (oxidation, nitration in non-hydrogen media), as well as in energy-saving technologies of combined ion-plasma processing of structural materials. An improved electron plasma source with a hollow cathode will allow one to work in a wide range of discharge currents and also will be served for a large operating life of devices. Haведено результати дослідження об’ємного дугового розряду низького тиску з плазмовим джерелом електронів, виконаним на основі порожнистого катода з газомагнетронним запалюванням розряду і допоміжним дуговим розрядом для розігріву порожнистого катоду до термоемісійних температур. Газорозрядна плазма, утворювана при тисках робочого газу 0,1…1 Па, має концентрацію електронів 10¹⁰ ...(5×10¹¹) см⁻³ в об’ємі 0,1 м³. Надано вольт-амперні характеристики та залежності розподілу густини іонного струму в робочому об’ємі від умов розряду. Плазмогенератор може бути використаний в процесах іоно-плазмових технологій (оксидування, азотування в безводневих середовищах), а також в енергозберігаючих технологіях комбінованої іонно-плазмової обробки конструкційних матеріалів. Вдосконалене плазмове джерело електронів з порожнистим катодом дозволить працювати в широкому діапазоні розрядних струмів і з більшим робочим ресурсом пристрою. Приведены результаты исследования объемного сильноточного разряда низкого давления с плазменным источником электронов, выполненным на основе полого катода с газомагнетронным зажиганием разряда и вспомогательным дуговым разрядом для разогрева катода до термоэмиссионных температур. Газоразрядная плазма, генерируемая при давлении рабочего газа 0,1…1 Па, имеет концентрацию электронов 10¹⁰ ...(5×10¹¹) см⁻³ в объеме 0,1 м³. Представлены вольт-амперные характеристики, зависимости распределения плотности ионного тока в рабочем объеме от условий разряда. Плазмогенератор может быть использован в процессах ионно-плазменных технологий (оксидирования, азотирования в безводородных средах), a также в энергосберегающих технологиях комбинированной ионно-плазменной обработки конструкционных материалов. Усовершенствованный плазменный источник электронов с полым катодом позволит работать в широком диапазоне разрядных токов и с большим рабочим ресурсом устройства. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Generator of low pressure volume plasma with plasma electron source Генератор об'ємної плазми низького тиску з плазмовим джерелом електронів Генератор объемной плазмы низкого давления с плазменным источником электронов Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Generator of low pressure volume plasma with plasma electron source |
| spellingShingle |
Generator of low pressure volume plasma with plasma electron source Khomich, V.A. Ryabtsev, A.V. Nazarenko, V.G. Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| title_short |
Generator of low pressure volume plasma with plasma electron source |
| title_full |
Generator of low pressure volume plasma with plasma electron source |
| title_fullStr |
Generator of low pressure volume plasma with plasma electron source |
| title_full_unstemmed |
Generator of low pressure volume plasma with plasma electron source |
| title_sort |
generator of low pressure volume plasma with plasma electron source |
| author |
Khomich, V.A. Ryabtsev, A.V. Nazarenko, V.G. |
| author_facet |
Khomich, V.A. Ryabtsev, A.V. Nazarenko, V.G. |
| topic |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| topic_facet |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| publishDate |
2018 |
| language |
English |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Генератор об'ємної плазми низького тиску з плазмовим джерелом електронів Генератор объемной плазмы низкого давления с плазменным источником электронов |
| description |
In the current paper the results of a study of a volumetric high-current low-pressure discharge with a plasma
electron source are presented. The source was made on the basis of a hollow cathode with a gas-magnetron ignition
of the discharge and an auxiliary arc discharge for the cathode heating up to thermionic emission temperature. The
gas-discharge plasma was generated at a working gas pressure 0.1...1 Pa and hade an electron concentration of
10¹⁰ ...(5×10¹¹) cm⁻³
in a volume of 0.1 m³. Also the volt-ampere characteristics, the ion current density distribution
in the working volume are presented for different discharge conditions. The plasma generator may be used in the
processes of ion-plasma technologies (oxidation, nitration in non-hydrogen media), as well as in energy-saving
technologies of combined ion-plasma processing of structural materials. An improved electron plasma source with a
hollow cathode will allow one to work in a wide range of discharge currents and also will be served for a large
operating life of devices.
Haведено результати дослідження об’ємного дугового розряду низького тиску з плазмовим джерелом
електронів, виконаним на основі порожнистого катода з газомагнетронним запалюванням розряду і
допоміжним дуговим розрядом для розігріву порожнистого катоду до термоемісійних температур.
Газорозрядна плазма, утворювана при тисках робочого газу 0,1…1 Па, має концентрацію електронів
10¹⁰ ...(5×10¹¹) см⁻³ в об’ємі 0,1 м³. Надано вольт-амперні характеристики та залежності розподілу густини
іонного струму в робочому об’ємі від умов розряду. Плазмогенератор може бути використаний в процесах
іоно-плазмових технологій (оксидування, азотування в безводневих середовищах), а також в
енергозберігаючих технологіях комбінованої іонно-плазмової обробки конструкційних матеріалів.
Вдосконалене плазмове джерело електронів з порожнистим катодом дозволить працювати в широкому
діапазоні розрядних струмів і з більшим робочим ресурсом пристрою.
Приведены результаты исследования объемного сильноточного разряда низкого давления с плазменным
источником электронов, выполненным на основе полого катода с газомагнетронным зажиганием разряда и
вспомогательным дуговым разрядом для разогрева катода до термоэмиссионных температур. Газоразрядная
плазма, генерируемая при давлении рабочего газа 0,1…1 Па, имеет концентрацию электронов
10¹⁰ ...(5×10¹¹) см⁻³ в объеме 0,1 м³. Представлены вольт-амперные характеристики, зависимости
распределения плотности ионного тока в рабочем объеме от условий разряда. Плазмогенератор может быть
использован в процессах ионно-плазменных технологий (оксидирования, азотирования в безводородных
средах), a также в энергосберегающих технологиях комбинированной ионно-плазменной обработки
конструкционных материалов. Усовершенствованный плазменный источник электронов с полым катодом
позволит работать в широком диапазоне разрядных токов и с большим рабочим ресурсом устройства.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/149073 |
| citation_txt |
Generator of low pressure volume plasma with plasma electron source / V.A. Khomich, A.V. Ryabtsev, V.G. Nazarenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 6. — С. 308-311. — Бібліогр.: 11 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT khomichva generatoroflowpressurevolumeplasmawithplasmaelectronsource AT ryabtsevav generatoroflowpressurevolumeplasmawithplasmaelectronsource AT nazarenkovg generatoroflowpressurevolumeplasmawithplasmaelectronsource AT khomichva generatorobêmnoíplazminizʹkogotiskuzplazmovimdžerelomelektronív AT ryabtsevav generatorobêmnoíplazminizʹkogotiskuzplazmovimdžerelomelektronív AT nazarenkovg generatorobêmnoíplazminizʹkogotiskuzplazmovimdžerelomelektronív AT khomichva generatorobʺemnoiplazmynizkogodavleniâsplazmennymistočnikomélektronov AT ryabtsevav generatorobʺemnoiplazmynizkogodavleniâsplazmennymistočnikomélektronov AT nazarenkovg generatorobʺemnoiplazmynizkogodavleniâsplazmennymistočnikomélektronov |
| first_indexed |
2025-12-07T18:43:15Z |
| last_indexed |
2025-12-07T18:43:15Z |
| _version_ |
1850876096249069568 |