Исследование влияния параметров синтеза алмазных покрытий на скорость их роста и величину удельного электрического сопротивления
Приведены результаты исследований по влиянию на кинетику процесса синтеза алмазных покрытий из газовой фазы в плазме тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, величины тока разряда и температуры подложки. Показано, что для каждого интервала токов разряда существует своя зависимость скоро...
Збережено в:
| Дата: | 2010 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2010
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/14991 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Исследование влияния параметров синтеза алмазных покрытий на скорость их роста и величину удельного электрического сопротивления / А.А. Веревкин, И.И. Выровец, В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, В.Е. Кутний, О.А. Опалев, А.С. Рыбка, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2010. — № 1. — С. 104-107. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862642392387026944 |
|---|---|
| author | Веревкин, А.А. Выровец, И.И. Грицына, В.И. Дудник, С.Ф. Кутний, В.Е. Опалев, О.А. Рыбка, А.С. Стрельницкий, В.Е. |
| author_facet | Веревкин, А.А. Выровец, И.И. Грицына, В.И. Дудник, С.Ф. Кутний, В.Е. Опалев, О.А. Рыбка, А.С. Стрельницкий, В.Е. |
| citation_txt | Исследование влияния параметров синтеза алмазных покрытий на скорость их роста и величину удельного электрического сопротивления / А.А. Веревкин, И.И. Выровец, В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, В.Е. Кутний, О.А. Опалев, А.С. Рыбка, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2010. — № 1. — С. 104-107. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| description | Приведены результаты исследований по влиянию на кинетику процесса синтеза алмазных покрытий из газовой фазы в плазме тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, величины тока разряда и температуры подложки. Показано, что для каждого интервала токов разряда существует своя зависимость скорости роста алмазных покрытий от температуры синтеза. Определенной зависимости величины удельного сопротивления алмазных покрытий от параметров их синтеза не установлено. Однако установлено, что имеется определенная корреляция между изменением сопротивления и скоростью роста покрытий.
Наведено результати досліджень по впливу на кінетику процесу синтезу алмазних покриттів з газової фази в плазмі тліючого розряду, стабілізованого магнітним полем, величини струму розряду й температури підкладки. Показано, що для кожного інтервалу струмів розряду існує своя залежність швидкості росту алмазних покриттів від температури синтезу. Певної залежності величини питомого опору алмазних покриттів від параметрів їхнього синтезу не встановлено. Однак встановлено, що є певна кореляція між зміною опору й швидкістю росту покриттів.
Diamond coatings were deposited by CVD-method from plasma of glow discharge, stabilized by a magnetic field. Results of researches connected with influence on diamond coating synthesis kinetics of discharge current magnitude and substrate temperature were presented. It is shown, that a dependence of growth rate of diamond coatings on synthesis temperature for each interval of discharge currents is obtained. The certain dependence of magnitude of diamond coating resistivity on conditions of their synthesis is not established. However it is established, that there is a certain correlation between change of resistance and growth rate of coatings.
|
| first_indexed | 2025-12-01T06:40:34Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-14991 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-01T06:40:34Z |
| publishDate | 2010 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Веревкин, А.А. Выровец, И.И. Грицына, В.И. Дудник, С.Ф. Кутний, В.Е. Опалев, О.А. Рыбка, А.С. Стрельницкий, В.Е. 2010-12-30T13:25:32Z 2010-12-30T13:25:32Z 2010 Исследование влияния параметров синтеза алмазных покрытий на скорость их роста и величину удельного электрического сопротивления / А.А. Веревкин, И.И. Выровец, В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, В.Е. Кутний, О.А. Опалев, А.С. Рыбка, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2010. — № 1. — С. 104-107. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/14991 537.534.2:679.826 Приведены результаты исследований по влиянию на кинетику процесса синтеза алмазных покрытий из газовой фазы в плазме тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, величины тока разряда и температуры подложки. Показано, что для каждого интервала токов разряда существует своя зависимость скорости роста алмазных покрытий от температуры синтеза. Определенной зависимости величины удельного сопротивления алмазных покрытий от параметров их синтеза не установлено. Однако установлено, что имеется определенная корреляция между изменением сопротивления и скоростью роста покрытий. Наведено результати досліджень по впливу на кінетику процесу синтезу алмазних покриттів з газової фази в плазмі тліючого розряду, стабілізованого магнітним полем, величини струму розряду й температури підкладки. Показано, що для кожного інтервалу струмів розряду існує своя залежність швидкості росту алмазних покриттів від температури синтезу. Певної залежності величини питомого опору алмазних покриттів від параметрів їхнього синтезу не встановлено. Однак встановлено, що є певна кореляція між зміною опору й швидкістю росту покриттів. Diamond coatings were deposited by CVD-method from plasma of glow discharge, stabilized by a magnetic field. Results of researches connected with influence on diamond coating synthesis kinetics of discharge current magnitude and substrate temperature were presented. It is shown, that a dependence of growth rate of diamond coatings on synthesis temperature for each interval of discharge currents is obtained. The certain dependence of magnitude of diamond coating resistivity on conditions of their synthesis is not established. However it is established, that there is a certain correlation between change of resistance and growth rate of coatings. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Исследование влияния параметров синтеза алмазных покрытий на скорость их роста и величину удельного электрического сопротивления Дослідження впливу параметрів синтезу алмазних покриттів на швидкість їхнього росту й величину питомого електричного опору Investigation of diamond coatings synthesis parameters influence on growth rate and electrical resistivity Article published earlier |
| spellingShingle | Исследование влияния параметров синтеза алмазных покрытий на скорость их роста и величину удельного электрического сопротивления Веревкин, А.А. Выровец, И.И. Грицына, В.И. Дудник, С.Ф. Кутний, В.Е. Опалев, О.А. Рыбка, А.С. Стрельницкий, В.Е. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| title | Исследование влияния параметров синтеза алмазных покрытий на скорость их роста и величину удельного электрического сопротивления |
| title_alt | Дослідження впливу параметрів синтезу алмазних покриттів на швидкість їхнього росту й величину питомого електричного опору Investigation of diamond coatings synthesis parameters influence on growth rate and electrical resistivity |
| title_full | Исследование влияния параметров синтеза алмазных покрытий на скорость их роста и величину удельного электрического сопротивления |
| title_fullStr | Исследование влияния параметров синтеза алмазных покрытий на скорость их роста и величину удельного электрического сопротивления |
| title_full_unstemmed | Исследование влияния параметров синтеза алмазных покрытий на скорость их роста и величину удельного электрического сопротивления |
| title_short | Исследование влияния параметров синтеза алмазных покрытий на скорость их роста и величину удельного электрического сопротивления |
| title_sort | исследование влияния параметров синтеза алмазных покрытий на скорость их роста и величину удельного электрического сопротивления |
| topic | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| topic_facet | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/14991 |
| work_keys_str_mv | AT verevkinaa issledovanievliâniâparametrovsintezaalmaznyhpokrytiinaskorostʹihrostaiveličinuudelʹnogoélektričeskogosoprotivleniâ AT vyrovecii issledovanievliâniâparametrovsintezaalmaznyhpokrytiinaskorostʹihrostaiveličinuudelʹnogoélektričeskogosoprotivleniâ AT gricynavi issledovanievliâniâparametrovsintezaalmaznyhpokrytiinaskorostʹihrostaiveličinuudelʹnogoélektričeskogosoprotivleniâ AT dudniksf issledovanievliâniâparametrovsintezaalmaznyhpokrytiinaskorostʹihrostaiveličinuudelʹnogoélektričeskogosoprotivleniâ AT kutniive issledovanievliâniâparametrovsintezaalmaznyhpokrytiinaskorostʹihrostaiveličinuudelʹnogoélektričeskogosoprotivleniâ AT opalevoa issledovanievliâniâparametrovsintezaalmaznyhpokrytiinaskorostʹihrostaiveličinuudelʹnogoélektričeskogosoprotivleniâ AT rybkaas issledovanievliâniâparametrovsintezaalmaznyhpokrytiinaskorostʹihrostaiveličinuudelʹnogoélektričeskogosoprotivleniâ AT strelʹnickiive issledovanievliâniâparametrovsintezaalmaznyhpokrytiinaskorostʹihrostaiveličinuudelʹnogoélektričeskogosoprotivleniâ AT verevkinaa doslídžennâvplivuparametrívsintezualmaznihpokrittívnašvidkístʹíhnʹogorostuiveličinupitomogoelektričnogooporu AT vyrovecii doslídžennâvplivuparametrívsintezualmaznihpokrittívnašvidkístʹíhnʹogorostuiveličinupitomogoelektričnogooporu AT gricynavi doslídžennâvplivuparametrívsintezualmaznihpokrittívnašvidkístʹíhnʹogorostuiveličinupitomogoelektričnogooporu AT dudniksf doslídžennâvplivuparametrívsintezualmaznihpokrittívnašvidkístʹíhnʹogorostuiveličinupitomogoelektričnogooporu AT kutniive doslídžennâvplivuparametrívsintezualmaznihpokrittívnašvidkístʹíhnʹogorostuiveličinupitomogoelektričnogooporu AT opalevoa doslídžennâvplivuparametrívsintezualmaznihpokrittívnašvidkístʹíhnʹogorostuiveličinupitomogoelektričnogooporu AT rybkaas doslídžennâvplivuparametrívsintezualmaznihpokrittívnašvidkístʹíhnʹogorostuiveličinupitomogoelektričnogooporu AT strelʹnickiive doslídžennâvplivuparametrívsintezualmaznihpokrittívnašvidkístʹíhnʹogorostuiveličinupitomogoelektričnogooporu AT verevkinaa investigationofdiamondcoatingssynthesisparametersinfluenceongrowthrateandelectricalresistivity AT vyrovecii investigationofdiamondcoatingssynthesisparametersinfluenceongrowthrateandelectricalresistivity AT gricynavi investigationofdiamondcoatingssynthesisparametersinfluenceongrowthrateandelectricalresistivity AT dudniksf investigationofdiamondcoatingssynthesisparametersinfluenceongrowthrateandelectricalresistivity AT kutniive investigationofdiamondcoatingssynthesisparametersinfluenceongrowthrateandelectricalresistivity AT opalevoa investigationofdiamondcoatingssynthesisparametersinfluenceongrowthrateandelectricalresistivity AT rybkaas investigationofdiamondcoatingssynthesisparametersinfluenceongrowthrateandelectricalresistivity AT strelʹnickiive investigationofdiamondcoatingssynthesisparametersinfluenceongrowthrateandelectricalresistivity |