Виготовлення і дослідження тонкоплівкових наноструктур алюміній – анодний оксид алюмінію

Описано створення тонкоплівкових наноструктур алюміній – оксид алюмінію і їх дослідження за допомогою електронної мікроскопії і спектрів відбиття.

Saved in:
Bibliographic Details
Date:2018
Main Authors: Лебєдєва, Т.С., Шпильовий, П.Б., Фролов, Ю.В.
Format: Article
Language:Ukrainian
Published: Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України 2018
Series:Комп’ютерні засоби, мережі та системи
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/150604
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Виготовлення і дослідження тонкоплівкових наноструктур алюміній – анодний оксид алюмінію / Т.С. Лебєдєва, П.Б. Шпильовий, Ю.В. Фролов // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2018. — № 17. — С. 31-36. — Бібліогр.: 3 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Description
Summary:Описано створення тонкоплівкових наноструктур алюміній – оксид алюмінію і їх дослідження за допомогою електронної мікроскопії і спектрів відбиття.