Виготовлення і дослідження тонкоплівкових наноструктур алюміній – анодний оксид алюмінію

• Published in: Комп’ютерні засоби, мережі та системи
• Date: 2018
• Main Authors: Лебєдєва, Т.С., Шпильовий, П.Б., Фролов, Ю.В.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України 2018
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/150604
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Виготовлення і дослідження тонкоплівкових наноструктур алюміній – анодний оксид алюмінію / Т.С. Лебєдєва, П.Б. Шпильовий, Ю.В. Фролов // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2018. — № 17. — С. 31-36. — Бібліогр.: 3 назв. — укр.

Описано створення тонкоплівкових наноструктур алюміній – оксид алюмінію і їх дослідження за допомогою електронної мікроскопії і спектрів відбиття. Описано создание тонкопленочных наноструктур алюминий – оксид алюминия и их исследование c помощью электронной микроскопии и спектров отражения. The deve...