Аномальная чувствительность к микродефектам деформационной зависимости полной интегральной интенсивности динамической дифракции в монокристаллах
Работа посвящена экспериментальному изучению диагностических возможностей метода деформационных зависимостей (ДЗ) полной интегральной интенсивности динамической дифракции (ПИИДД) для монокристаллов с микродефектами в случае, когда диффузная составляющая ПИИДД может быть соизмеримой с её когерентной...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Металлофизика и новейшие технологии |
|---|---|
| Дата: | 2018 |
| Автори: | , , , , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2018
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/151348 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Аномальная чувствительность к микродефектам деформационной зависимости полной интегральной интенсивности динамической дифракции в монокристаллах / В.Б. Молодкин, А.И. Низкова, В.В. Лизунов, В.В. Молодкин, Е.Н. Кисловский, Я.В. Василик, О.В. Решетник, Т.П. Владимирова, А.А. Белоцкая, Н.В. Барвинок // Металлофизика и новейшие технологии. — 2018. — Т. 40, № 8. — С. 1123-1131. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-151348 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Молодкин, В.Б. Низкова, А.И. Лизунов, В.В. Молодкин, В.В. Кисловский, Е.Н. Василик, Я.В. Решетник, О.В. Владимирова, Т.П. Белоцкая, А.А. Барвинок, Н.В. 2019-05-13T20:33:30Z 2019-05-13T20:33:30Z 2018 Аномальная чувствительность к микродефектам деформационной зависимости полной интегральной интенсивности динамической дифракции в монокристаллах / В.Б. Молодкин, А.И. Низкова, В.В. Лизунов, В.В. Молодкин, Е.Н. Кисловский, Я.В. Василик, О.В. Решетник, Т.П. Владимирова, А.А. Белоцкая, Н.В. Барвинок // Металлофизика и новейшие технологии. — 2018. — Т. 40, № 8. — С. 1123-1131. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. 1024-1809 PACS: 07.85.Jy, 61.05.c, 61.05.cp, 61.72.Dd, 81.40.Ef, 81.70.-q DOI: https://doi.org/10.15407/mfint.40.08.1123 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/151348 Работа посвящена экспериментальному изучению диагностических возможностей метода деформационных зависимостей (ДЗ) полной интегральной интенсивности динамической дифракции (ПИИДД) для монокристаллов с микродефектами в случае, когда диффузная составляющая ПИИДД может быть соизмеримой с её когерентной составляющей или существенно превышать её. Показано, что в этом случае ДЗ ПИИДД аномально чувствительны и уникально информативны при их использовании для определения характеристик микродефектов в многопараметрических монокристаллических системах. Роботу присвячено експериментальному вивченню діягностичних можливостей методи деформаційних залежностей (ДЗ) повної інтеґральної інтенсивности динамічної дифракції (ПІІДД) для монокристалів з мікродефектами у випадку, коли дифузна складова ПІІДД може бути співмірною з її когерентною складовою або значно перевищувати її. Показано, що в цьому випадку ДЗ ПІІДД аномально чутливі й унікально інформативні при використанні їх для визначення характеристик мікродефектів у багатопараметричних монокристалічних системах. An experimental study of the diagnostic capabilities of the method of deformation dependences (DDs) of the total integrated intensity of dynamical diffraction (TIIDD) for single crystals with microdefects is carried out. The case, when the diffuse component of the TIDID can be commensurable with its coherent component or substantially exceeds it, is considered. As shown, the TIIDD DDs are anomalously sensitive and uniquely informative to characteristics of microdefects in multiparametric single-crystal systems. Работа выполнена при финансовой поддержке НАН Украины (дого-вор № 43Г/51-18). ru Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Металлофизика и новейшие технологии Физико-технические основы эксперимента и диагностики Аномальная чувствительность к микродефектам деформационной зависимости полной интегральной интенсивности динамической дифракции в монокристаллах Аномальна чутливість до мікродефектів деформаційної залежності повної інтегральної інтенсивності динамічної дифракції в монокристалах Anomalous Sensitivity of Deformation Dependence of Total Integrated Intensity of Dynamical Diffraction to Microdefects in Single Crystals Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Аномальная чувствительность к микродефектам деформационной зависимости полной интегральной интенсивности динамической дифракции в монокристаллах |
| spellingShingle |
Аномальная чувствительность к микродефектам деформационной зависимости полной интегральной интенсивности динамической дифракции в монокристаллах Молодкин, В.Б. Низкова, А.И. Лизунов, В.В. Молодкин, В.В. Кисловский, Е.Н. Василик, Я.В. Решетник, О.В. Владимирова, Т.П. Белоцкая, А.А. Барвинок, Н.В. Физико-технические основы эксперимента и диагностики |
| title_short |
Аномальная чувствительность к микродефектам деформационной зависимости полной интегральной интенсивности динамической дифракции в монокристаллах |
| title_full |
Аномальная чувствительность к микродефектам деформационной зависимости полной интегральной интенсивности динамической дифракции в монокристаллах |
| title_fullStr |
Аномальная чувствительность к микродефектам деформационной зависимости полной интегральной интенсивности динамической дифракции в монокристаллах |
| title_full_unstemmed |
Аномальная чувствительность к микродефектам деформационной зависимости полной интегральной интенсивности динамической дифракции в монокристаллах |
| title_sort |
аномальная чувствительность к микродефектам деформационной зависимости полной интегральной интенсивности динамической дифракции в монокристаллах |
| author |
Молодкин, В.Б. Низкова, А.И. Лизунов, В.В. Молодкин, В.В. Кисловский, Е.Н. Василик, Я.В. Решетник, О.В. Владимирова, Т.П. Белоцкая, А.А. Барвинок, Н.В. |
| author_facet |
Молодкин, В.Б. Низкова, А.И. Лизунов, В.В. Молодкин, В.В. Кисловский, Е.Н. Василик, Я.В. Решетник, О.В. Владимирова, Т.П. Белоцкая, А.А. Барвинок, Н.В. |
| topic |
Физико-технические основы эксперимента и диагностики |
| topic_facet |
Физико-технические основы эксперимента и диагностики |
| publishDate |
2018 |
| language |
Russian |
| container_title |
Металлофизика и новейшие технологии |
| publisher |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Аномальна чутливість до мікродефектів деформаційної залежності повної інтегральної інтенсивності динамічної дифракції в монокристалах Anomalous Sensitivity of Deformation Dependence of Total Integrated Intensity of Dynamical Diffraction to Microdefects in Single Crystals |
| description |
Работа посвящена экспериментальному изучению диагностических возможностей метода деформационных зависимостей (ДЗ) полной интегральной интенсивности динамической дифракции (ПИИДД) для монокристаллов с микродефектами в случае, когда диффузная составляющая ПИИДД может быть соизмеримой с её когерентной составляющей или существенно превышать её. Показано, что в этом случае ДЗ ПИИДД аномально чувствительны и уникально информативны при их использовании для определения характеристик микродефектов в многопараметрических монокристаллических системах.
Роботу присвячено експериментальному вивченню діягностичних можливостей методи деформаційних залежностей (ДЗ) повної інтеґральної інтенсивности динамічної дифракції (ПІІДД) для монокристалів з мікродефектами у випадку, коли дифузна складова ПІІДД може бути співмірною з її когерентною складовою або значно перевищувати її. Показано, що в цьому випадку ДЗ ПІІДД аномально чутливі й унікально інформативні при використанні їх для визначення характеристик мікродефектів у багатопараметричних монокристалічних системах.
An experimental study of the diagnostic capabilities of the method of deformation dependences (DDs) of the total integrated intensity of dynamical diffraction (TIIDD) for single crystals with microdefects is carried out. The case, when the diffuse component of the TIDID can be commensurable with its coherent component or substantially exceeds it, is considered. As shown, the TIIDD DDs are anomalously sensitive and uniquely informative to characteristics of microdefects in multiparametric single-crystal systems.
|
| issn |
1024-1809 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/151348 |
| citation_txt |
Аномальная чувствительность к микродефектам деформационной зависимости полной интегральной интенсивности динамической дифракции в монокристаллах / В.Б. Молодкин, А.И. Низкова, В.В. Лизунов, В.В. Молодкин, Е.Н. Кисловский, Я.В. Василик, О.В. Решетник, Т.П. Владимирова, А.А. Белоцкая, Н.В. Барвинок // Металлофизика и новейшие технологии. — 2018. — Т. 40, № 8. — С. 1123-1131. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT molodkinvb anomalʹnaâčuvstvitelʹnostʹkmikrodefektamdeformacionnoizavisimostipolnoiintegralʹnoiintensivnostidinamičeskoidifrakciivmonokristallah AT nizkovaai anomalʹnaâčuvstvitelʹnostʹkmikrodefektamdeformacionnoizavisimostipolnoiintegralʹnoiintensivnostidinamičeskoidifrakciivmonokristallah AT lizunovvv anomalʹnaâčuvstvitelʹnostʹkmikrodefektamdeformacionnoizavisimostipolnoiintegralʹnoiintensivnostidinamičeskoidifrakciivmonokristallah AT molodkinvv anomalʹnaâčuvstvitelʹnostʹkmikrodefektamdeformacionnoizavisimostipolnoiintegralʹnoiintensivnostidinamičeskoidifrakciivmonokristallah AT kislovskiien anomalʹnaâčuvstvitelʹnostʹkmikrodefektamdeformacionnoizavisimostipolnoiintegralʹnoiintensivnostidinamičeskoidifrakciivmonokristallah AT vasilikâv anomalʹnaâčuvstvitelʹnostʹkmikrodefektamdeformacionnoizavisimostipolnoiintegralʹnoiintensivnostidinamičeskoidifrakciivmonokristallah AT rešetnikov anomalʹnaâčuvstvitelʹnostʹkmikrodefektamdeformacionnoizavisimostipolnoiintegralʹnoiintensivnostidinamičeskoidifrakciivmonokristallah AT vladimirovatp anomalʹnaâčuvstvitelʹnostʹkmikrodefektamdeformacionnoizavisimostipolnoiintegralʹnoiintensivnostidinamičeskoidifrakciivmonokristallah AT belockaâaa anomalʹnaâčuvstvitelʹnostʹkmikrodefektamdeformacionnoizavisimostipolnoiintegralʹnoiintensivnostidinamičeskoidifrakciivmonokristallah AT barvinoknv anomalʹnaâčuvstvitelʹnostʹkmikrodefektamdeformacionnoizavisimostipolnoiintegralʹnoiintensivnostidinamičeskoidifrakciivmonokristallah AT molodkinvb anomalʹnačutlivístʹdomíkrodefektívdeformacíinoízaležnostípovnoííntegralʹnoííntensivnostídinamíčnoídifrakcíívmonokristalah AT nizkovaai anomalʹnačutlivístʹdomíkrodefektívdeformacíinoízaležnostípovnoííntegralʹnoííntensivnostídinamíčnoídifrakcíívmonokristalah AT lizunovvv anomalʹnačutlivístʹdomíkrodefektívdeformacíinoízaležnostípovnoííntegralʹnoííntensivnostídinamíčnoídifrakcíívmonokristalah AT molodkinvv anomalʹnačutlivístʹdomíkrodefektívdeformacíinoízaležnostípovnoííntegralʹnoííntensivnostídinamíčnoídifrakcíívmonokristalah AT kislovskiien anomalʹnačutlivístʹdomíkrodefektívdeformacíinoízaležnostípovnoííntegralʹnoííntensivnostídinamíčnoídifrakcíívmonokristalah AT vasilikâv anomalʹnačutlivístʹdomíkrodefektívdeformacíinoízaležnostípovnoííntegralʹnoííntensivnostídinamíčnoídifrakcíívmonokristalah AT rešetnikov anomalʹnačutlivístʹdomíkrodefektívdeformacíinoízaležnostípovnoííntegralʹnoííntensivnostídinamíčnoídifrakcíívmonokristalah AT vladimirovatp anomalʹnačutlivístʹdomíkrodefektívdeformacíinoízaležnostípovnoííntegralʹnoííntensivnostídinamíčnoídifrakcíívmonokristalah AT belockaâaa anomalʹnačutlivístʹdomíkrodefektívdeformacíinoízaležnostípovnoííntegralʹnoííntensivnostídinamíčnoídifrakcíívmonokristalah AT barvinoknv anomalʹnačutlivístʹdomíkrodefektívdeformacíinoízaležnostípovnoííntegralʹnoííntensivnostídinamíčnoídifrakcíívmonokristalah AT molodkinvb anomaloussensitivityofdeformationdependenceoftotalintegratedintensityofdynamicaldiffractiontomicrodefectsinsinglecrystals AT nizkovaai anomaloussensitivityofdeformationdependenceoftotalintegratedintensityofdynamicaldiffractiontomicrodefectsinsinglecrystals AT lizunovvv anomaloussensitivityofdeformationdependenceoftotalintegratedintensityofdynamicaldiffractiontomicrodefectsinsinglecrystals AT molodkinvv anomaloussensitivityofdeformationdependenceoftotalintegratedintensityofdynamicaldiffractiontomicrodefectsinsinglecrystals AT kislovskiien anomaloussensitivityofdeformationdependenceoftotalintegratedintensityofdynamicaldiffractiontomicrodefectsinsinglecrystals AT vasilikâv anomaloussensitivityofdeformationdependenceoftotalintegratedintensityofdynamicaldiffractiontomicrodefectsinsinglecrystals AT rešetnikov anomaloussensitivityofdeformationdependenceoftotalintegratedintensityofdynamicaldiffractiontomicrodefectsinsinglecrystals AT vladimirovatp anomaloussensitivityofdeformationdependenceoftotalintegratedintensityofdynamicaldiffractiontomicrodefectsinsinglecrystals AT belockaâaa anomaloussensitivityofdeformationdependenceoftotalintegratedintensityofdynamicaldiffractiontomicrodefectsinsinglecrystals AT barvinoknv anomaloussensitivityofdeformationdependenceoftotalintegratedintensityofdynamicaldiffractiontomicrodefectsinsinglecrystals |
| first_indexed |
2025-11-26T01:39:41Z |
| last_indexed |
2025-11-26T01:39:41Z |
| _version_ |
1850603505037869056 |
| fulltext |
ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ЭКСПЕРИМЕНТА
И ДИАГНОСТИКИ
PACS numbers: 07.85.Jy, 61.05.cc, 61.05.cp, 61.72.Dd, 81.40.Ef, 81.70.-q
Аномальная чувствительность к микродефектам
деформационной зависимости полной интегральной
интенсивности динамической дифракции в монокристаллах
В. Б. Молодкин, А. И. Низкова, В. В. Лизунов, В. В. Молодкин,
Е. Н. Кисловский, Я. В. Василик, О. В. Решетник, Т. П. Владимирова,
А. А. Белоцкая, Н. В. Барвинок
Институт металлофизики им. Г. В. Курдюмова НАН Украины,
бульв. Академика Вернадского, 36,
03142 Киев, Украина
Работа посвящена экспериментальному изучению диагностических воз-
можностей метода деформационных зависимостей (ДЗ) полной инте-
гральной интенсивности динамической дифракции (ПИИДД) для моно-
кристаллов с микродефектами в случае, когда диффузная составляющая
ПИИДД может быть соизмеримой с её когерентной составляющей или
существенно превышать её. Показано, что в этом случае ДЗ ПИИДД ано-
мально чувствительны и уникально информативны при их использовании
для определения характеристик микродефектов в многопараметрических
монокристаллических системах.
Ключевые слова: интегральная динамическая дифрактометрия, диффуз-
ное рассеяние, микродефекты.
Роботу присвячено експериментальному вивченню діягностичних мож-
ливостей методи деформаційних залежностей (ДЗ) повної інтеґральної
Corresponding author: Vadym Borysovych Molodkin
E-mail: v.molodkin@gmail.com
G. V. Kurdyumov Institute for Metal Physics, N.A.S. of Ukraine,
36 Academician Vernadsky Blvd., UA-03142 Kyiv, Ukraine
Citation: V. B. Molodkin, A. I. Nizkova, V. V. Lizunov, V. V. Molodkin,
Ye. M. Kyslovskyi, Ya. V. Vasylyk, O. V. Reshetnyk, T. P. Vladimirova, A. O. Bilotska,
and N. V. Barvinok, Anomalous Sensitivity of Deformation Dependence of Total
Integrated Intensity of Dynamical Diffraction to Microdefects in Single Crystals,
Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 40, No. 8: 1123–1131 (2018) (in Russian),
DOI: 10.15407/mfint.40.08.1123.
Ìеталлофиз. новеéøие теõнол. / Metallofiz. Noveishie Tekhnol.
2018, т. 40, № 8, сс. 1123–1131 / DOI: 10.15407/mfint.40.08.1123
Оттиски доступны непосредственно от издателя
Ôотокопирование разрешено только
в соответствии с лицензией
2018 ИМÔ (Институт металлофизики
им. Ã. В. Курдюмова НАН Óкраины)
Напечатано в Óкраине.
1123
https://doi.org/10.15407/mfint.40.08.1123
https://doi.org/10.15407/mfint.40.08.1123
1124 В. Б. МОЛОДКИН, А. И. НИЗКОВА, В. В. ЛИЗÓНОВ и др.
інтенсивности динамічної дифракції (ПІІДД) для монокристалів з мікро-
дефектами у випадку, коли дифузна складова ПІІДД може бути співмір-
ною з її когерентною складовою або значно перевищувати її. Показано,
що в цьому випадку ДЗ ПІІДД аномально чутливі й унікально інформати-
вні при використанні їх для визначення характеристик мікродефектів у
багатопараметричних монокристалічних системах.
Ключові слова: інтеґральна динамічна дифрактометрія, дифузне розсі-
яння, мікродефекти.
An experimental study of the diagnostic capabilities of the method of defor-
mation dependences (DDs) of the total integrated intensity of dynamical dif-
fraction (TIIDD) for single crystals with microdefects is carried out. The
case, when the diffuse component of the TIDID can be commensurable with
its coherent component or substantially exceeds it, is considered. As shown,
the TIIDD DDs are anomalously sensitive and uniquely informative to char-
acteristics of microdefects in multiparametric single-crystal systems.
Key words: integrated dynamical diffractometry, diffuse scattering, micro-
defects.
(Получено 15 мая 2018 г.)
ВВЕДЕНИЕ
Развитие технологий непрерывно стимулирует необходимость со-
здания материалов с новыми улучшенными свойствами. При этом
успехи в разработке таких материалов существенным образом
определяются уровнем функциональных возможностей экспери-
ментальной диагностической базы для контроля их структурного
совершенства. Среди большого количества разнообразных диагно-
стических методов важное значение имеют неразрушающие мето-
ды, в частности, дифрактометрические.
Теоретической основой для количественных исследований ха-
рактеристик дефектов и их распределения в кристаллах ныне явля-
ется созданная М. А. Кривоглазом кинематическая теория рассея-
ния в кристаллах с дефектами и проведённая им с помощью этой
теории классификация дефектов по характеру их влияния на ки-
нематическую картину рассеяния [1].
При этом приближение однократного рассеяния, которое поло-
жено в основу кинематической теории, привело к существенным
ограничениям её применимости. Так, кинематическая теория хо-
рошо работает в поликристаллах и в сильно искажённых дефекта-
ми монокристаллах и совершенно не работает, когда размеры кри-
сталлов и областей когерентности рассеяния превышают длину экс-
тинкции. В этих случаях необходима теория многократного (дина-
мического) рассеяния.
ЧÓВСТВИТЕЛЬНОСТЬ К МИКРОДЕÔЕКТАМ ИНТЕНСИВНОСТИ ДИÔРАКЦИИ 1125
Кроме того, кинематическая теория позволяет исследовать одно-
значно характеристики дефектов при условии присутствия в кри-
сталле преимущественно дефектов только одного определяющего
типа. Это обусловлено тем, что кинематическая картина практиче-
ски одинакова для всех условий дифракции и в результате одно-
значно можно установить неизвестные характеристики только од-
ного типа дефектов. В то же время, большинство современных
наносистем являются многопараметрическими, а монокристалли-
ческие изделия содержат одновременно дефекты многих типов.
Следует также отметить, что чувствительность кинематической
картины рассеяния к дефектам ограничивается достаточно боль-
шими предельными концентрациями дефектов (когда их объёмная
доля превышает 10−4), ниже которых кинематическая картина пол-
ностью теряет чувствительность к этим дефектам.
В ряде работ (см., например, [2–4]) была продемонстрирована
возможность значительного по сравнению с диагностикой традици-
онных (кинематических) объектов повышения чувствительности и
информативности диагностики в случае объектов динамической
дифракции, а именно, за счёт открытого недавно нового механизма
проявления несовершенств структуры в картине рассеяния. Не ме-
нее важную роль играет установленное в [5] преобладание брэггов-
ской экстинкции над диффузной, которое обеспечивает возмож-
ность [6] аномального роста вклада диффузного (наиболее инфор-
мативного) рассеяния при динамической дифракции. Óникальная
чувствительность к характеристикам дефектов зависимостей кар-
тины динамического рассеяния от условий дифракции, возникаю-
щая за счёт дисперсионного механизма влияния дефектов на кар-
тину, и эффекта аномального роста вклада диффузного рассеяния,
открывает возможность построения нового поколения диагностиче-
ских методов.
При этом наиболее чувствительными и принципиально новыми
оказались интегральные методы полной интегральной интенсивно-
сти динамической дифракции (ПИИДД). Использование толщин-
ных и спектрально-азимутальных зависимостей ПИИДД уже стало
эффективным методом диагностики дефектов структуры. Однако
указанные методы все же имеют существенные недостатки: при ис-
пользовании метода толщинных зависимостей не всегда удаётся со-
хранить целостность исходного образца, а также для обоих методов
невозможно исключить стохастические деформации кристалла, ко-
торые влияют на результаты измерений. Исследование же влияния
макроскопической упругой деформации на ПИИДД не только поз-
волило контролировать её влияние, но легло в основу отдельного
метода диагностики дефектов.
В работах [7, 8] рассматривалось применение оказавшихся
наиболее информативными деформационных зависимостей (ДЗ)
1126 В. Б. МОЛОДКИН, А. И. НИЗКОВА, В. В. ЛИЗÓНОВ и др.
ПИИДД для определения параметров дефектной структуры кри-
сталлов кремния. Однако в этих статьях были рассмотрены кри-
сталлы, содержащие относительно малое количество дефектов,
следствием чего являлась малая величина диффузной составляю-
щей ПИИДД и, соответственно, эффекта её аномального роста.
Настоящая работа посвящена экспериментальному изучению диа-
гностических возможностей метода ДЗ ПИИДД для монокристал-
лов, содержащих большее количество дефектов, т.е. когда диффуз-
ная составляющая ПИИДД соизмерима с её когерентной составля-
ющей или существенно превышает её.
РЕЗУЛЬТАТЫ
Проведение экспериментальных измерений ДЗ ПИИДД требует
определения радиуса изгиба монокристалла. Для этого была ис-
пользована двухосевая бездисперсионная схема с использованием
CuKα-излучения в геометрии Брэгга (рис. 1).
Использование данной рентгенооптической схемы позволило опре-
делять величину радиуса изгиба с помощью измерений изменения уг-
лового положения брэгговского максимума при трансляции образца
Рис. 1. Экспериментальная рентгенооптическая схема измерения радиуса
изгиба образца: F — источник рентгеновского излучения (CuKα1), M — мо-
нохроматор Si(333), двукратное отражение, S1, S2 — коллимирующие ще-
ли, K — (n, −n)-положение исследуемого кристалла, С — детектор [9].
Fig. 1. Experimental X-ray–optical scheme for measuring the radius of bend-
ing of the sample: F is X-ray source (CuKα1), M is Si monochromator (333),
double reflection, S1, S2 are collimating slits, K is (n, −n)-position of the crys-
tal under study, C is a detector [9].
ЧÓВСТВИТЕЛЬНОСТЬ К МИКРОДЕÔЕКТАМ ИНТЕНСИВНОСТИ ДИÔРАКЦИИ 1127
на известное расстояние. Следует обратить внимание на то, что распо-
ложение прибора для изгиба образцов на гониометре ТРС (трёхкри-
стального рентгеновского спектрометра) существенно улучшает точ-
ность определения радиуса изгиба — до 0,01 мм и позволяет опреде-
лять угловое положение с точностью до 1 угловой секунды.
Для измерения ДЗ ПИИДД, а именно, от радиуса упругого изгиба
использовалась двухосевая без дисперсионная схема с MoKα-
излучением в геометрии Лауэ (рис. 2).
В качестве образцов использовались кристаллы кремния, тол-
щины и условия термообработки которых приведены в табл. 1. От-
метим, что дефектная структура кристаллов толщиной 488 мкм де-
тально изучена в работах [10, 11].
На рисунках 3–6 представлены экспериментально измеренные
ДЗ ПИИДД для указанных в табл. 1 кристаллов.
Изменение температуры и времени отжига приводит к измене-
нию дефектной структуры исследуемых кристаллов. При этом экс-
периментально полученные для образцов, подвергшихся различной
обработке, ДЗ ПИИДД оказались существенно отличающимися
Рис. 2. Экспериментальная рентгенооптическая схема измерения ДЗ
ПИИДД от изогнутого кристалла.
Fig. 2. Experimental X-ray–optical scheme for measuring the DD of TIIDD of
bent crystal.
ТАБЛИЦА 1. Толщины и условия термообработки образцов монокристал-
лического Si.
TABLE 1. Thicknesses and heat treatment conditions for single-crystal Si.
№ образца Толщина образца t, мкм Температура и время отжига
1 426 После выращивания
2 454 1160°C, 4 часа
3 488 1080°C, 6 часов
4 430 1160°C, 10 часов
1128 В. Б. МОЛОДКИН, А. И. НИЗКОВА, В. В. ЛИЗÓНОВ и др.
между собой как по характеру поведения, так и по величинам ин-
тенсивностей. Это явилось следствием конкурирующего влияния
двух эффектов, изменяющих на порядки величины (однако с раз-
ным знаком) соотношение вкладов брэгговской и диффузной со-
ставляющих.
а б
Рис. 3. ДЗ ПИИДД кристалла Si толщиной 426 мкм (а) и эта же зависи-
мость (рис. 3, а), нормированная на величину когерентной составляющей
ДЗ ПИИДД, (б). Излучение MoKα, рефлекс (220), ψ = 2°.
Fig. 3. The TIIDD DD of Si crystal with a thickness of 426 µm (а) and the same
dependence (Fig. 3, а) normalized to the coherent component of the TIIDD DD
(б). Radiation MoKα, reflex (220), ψ = 2°.
а б
Рис. 4. То же, что и рис. 3., но для кристалла Si с t = 454 мкм.
Fig. 4. The same as Fig. 3, but for Si crystal with t = 454 µm.
ЧÓВСТВИТЕЛЬНОСТЬ К МИКРОДЕÔЕКТАМ ИНТЕНСИВНОСТИ ДИÔРАКЦИИ 1129
Один из этих эффектов — это уже отмеченный эффект аномаль-
ного усиления вклада диффузной составляющей при динамической
дифракции в отсутствии изгиба. А второй — это эффект радикаль-
ного усиления брэгговской составляющей с увеличением изгиба
при полном отсутствии такого усиления диффузной составляющей.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
Отмеченная возможность управления вкладами брэгговской и
а б
Рис. 5. То же, что и рис. 3, но для кристалла Si c t = 488 мкм.
Fig. 5. The same as Fig. 3, but for Si crystal with t = 488 µm.
а б
Рис. 6. То же, что и рис. 3, но для кристалла Si с t = 430 мкм.
Fig. 6. The same as Fig. 3, but for Si crystal with t = 430 µm.
1130 В. Б. МОЛОДКИН, А. И. НИЗКОВА, В. В. ЛИЗÓНОВ и др.
диффузной составляющих упругим изгибом при дополнительном
использовании разработанных ранее фазовариационных принци-
пов обеспечивает методу ДЗ ПИИДД уникальные функциональные
диагностические возможности. В результате измерения ДЗ ПИИДД
могут стать одним из наиболее чувствительных и информативных
методов определения характеристик микродефектов в монокри-
сталлических многопараметрических системах.
Работа выполнена при финансовой поддержке НАН Óкраины (дого-
вор № 43Ã/51-18).
ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА
1. M. A. Krivoglaz, X-Ray and Neutron Diffraction in Nonideal Crystals (Berlin:
Springer: 1996).
2. В. Б. Молодкин, М. В. Ковальчук, И. М. Карнаухов, В. Е. Сторижко,
С. В. Лизунова, С. В. Дмитриев, А. И. Низкова, Е. Н. Кисловский,
В. В. Молодкин, Е. В. Первак, А. А. Катасонов, В. В. Лизунов,
Е. С. Скакунова, Б. С. Карамурзов, А. А. Дышеков, А. Н. Багов,
Т. И. Оранова, Ю. П. Хапачев, Основы интегральноé многопараметриче-
скоé диффузнодинамическоé дифрактометрии (Нальчик: Кабардино-
Балкарский Óниверситет: 2013).
3. В. В. Лизунов, В. Б. Молодкин, С. В. Лизунова, Н. Ã. Толмачев,
Е. С. Скакунова, С. В. Дмитриев, Б. В. Шелудченко, С. М. Бровчук,
Л. Н. Скапа, Р. В. Лехняк, Е. В. Ôузик, Ìеталлофиз. новеéøие теõнол.,
36, № 7: 857 (2014).
4. Л. Н. Скапа, В. В. Лизунов, В. Б. Молодкин, Е. Ã. Лень, Б. В. Шелудченко,
С. В. Лизунова, Е. С. Скакунова, Н. Ã. Толмачев, С. В. Дмитриев,
Р. В. Лехняк, Ã. О. Велиховский, В. В. Молодкин, И. Н. Заболотный,
Е. В. Ôузик, О. П. Васькевич, Ìеталлофиз. новеéøие теõнол., 37, № 11:
1567 (2015).
5. В. Б. Молодкин, С. Й. Олиховский, М. Е. Осиновский, Ìеталлофизика, 5,
№ 5: 3 (1983).
6. Б. Ô. Журавлев, В. Б. Молодкин, С. И. Олиховский, М. Е. Осиновский,
Ìеталлофизика, 7, № 5: 24 (1985).
7. S. M. Brovchuk, V. B. Molodkin, A. I. Nizkova, I. I. Rudnytska, G. I. Grankina,
V. V. Lizunov, S. V. Lizunova, B. V. Sheludchenko, E. S. Skakunova, S. V. Dmitriev,
I. N. Zabolotnyi, A. A. Katasonov, B. F. Zhuravlev, R. V. Lekhnyak, L. N. Skapa,
and N. P. Irha, Ìеталлофиз.новеéøие теõнол., 36, № 8: 1035 (2014).
8. В. В. Лизунов, С. М. Бровчук, А. И. Низкова, В. Б. Молодкин,
С. В. Лизунова, Б. В. Шелудченко, А. И. Ãранкина, И. И. Рудницкая,
С. В. Дмитриев, Н. Ã. Толмачев, Р. В. Лехняк, Л. Н. Скапа, Н. П. Ирха,
Ìеталлофиз.новеéøие теõнол., 36, № 9: 1271 (2014).
9. F. N. Chukhovskii, K. T. Gabrielyan, E. N. Kislovskii, and I. V. Prokopenko,
phys. status solidi (a), 103, No. 2: 381 (1987).
10. Ã. В. Ãринь, Е. Н. Кисловский, П. В. Петрашень, А. Ю. Разумовский,
Ìеталлофизика, 12, № 5: 113 (1990).
11. Е. Н. Кисловский, Л. И. Даценко, В. Б. Молодкин, Ã. В. Ãринь,
ЧÓВСТВИТЕЛЬНОСТЬ К МИКРОДЕÔЕКТАМ ИНТЕНСИВНОСТИ ДИÔРАКЦИИ 1131
А. И. Низкова, Ìеталлофизика, 12, № 6: 37 (1990).
REFERENCES
1. M. A. Krivoglaz, X-Ray and Neutron Diffraction in Nonideal Crystals (Berlin:
Springer: 1996).
2. V. B. Molodkin, M. V. Koval’chuk, I. M. Karnaukhov, V. E. Storizhko,
S. V. Lizunova, S. V. Dmitriev, A. I. Nizkova, E. N. Kislovskii, V. V. Molodkin,
E. V. Pervak, A. A. Katasonov, V. V. Lizunov, E. S. Skakunova,
B. S. Karamurzov, A. A. Dyshekov, A. N. Bagov, T. I. Oranova, and
Yu. P. Khapachev, Osnovy Integral’noy Mnogoparametricheskoy
Diffuznodinamicheskoy Difraktometrii [Fundamentals of Integrated
Multiparametric Diffuse-Dynamical Diffractometry] (Nal’chik:
Kabardino-Balkarskiy Universitet: 2013) (in Russian).
3. V. V. Lizunov, V. B. Molodkin, S. V. Lizunova, N. G. Tolmachev,
E. S. Skakunova, S. V. Dmitriev, B. V. Sheludchenko, S. M. Brovchuk,
L. N. Skapa, R. V. Lekhnyak, and E. V. Fuzik, Metallofiz. Noveishie Tekhnol.,
36, No. 7: 857 (2014) (in Russian).
4. L. N. Skapa, V. V. Lizunov, V. B. Molodkin, E. G. Len, B. V. Sheludchenko,
S. V. Lizunova, E. S. Skakunova, N. G. Tolmachev, S. V. Dmitriev,
R. V. Lekhnyak, G. O. Velikhovskiy, V. V. Molodkin, I. N. Zabolotnyy,
E. V. Fuzik, and O. P. Vas’kevich, Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 37, No. 11:
1567 (2015) (in Russian).
5. V. B. Molodkin, S. I. Olikhovskiy, and M. E. Osinovskiy, Metallofizika, 5,
No. 5: 3 (1983) (in Russian).
6. B. F. Zhuravlev, V. B. Molodkin, S. I. Olikhovskiy, and M. E. Osinovskiy,
Metallofizika, 7, No. 5: 24 (1985) (in Russian).
7. S. M. Brovchuk, V. B. Molodkin, A. I. Nizkova, I. I. Rudnytska, G. I. Grankina,
V. V. Lizunov, S. V. Lizunova, B. V. Sheludchenko, E. S. Skakunova,
S. V. Dmitriev, I. N. Zabolotnyi, A. A. Katasonov, B. F. Zhuravlev,
R. V. Lekhnyak, L. N. Skapa, and N. P. Irha, Metallofiz. Noveishie Tekhnol.,
36, No. 8: 1035 (2014).
8. V. V. Lizunov, S. M. Brovchuk, A. I. Nizkova, V. B. Molodkin, S. V. Lizunova,
B. V. Sheludchenko, A. I. Grankina, I. I. Rudnitskaya, S. V. Dmitriev,
N. G. Tolmachev, R. V. Lekhnyak, L. N. Skapa, and N. P. Irkha, Metallofiz.
Noveishie Tekhnol., 36, No. 9: 1271 (2014) (in Russian).
9. F. N. Chukhovskii, K. T. Gabrielyan, E. N. Kislovskii, and I. V. Prokopenko,
phys. status solidi (a), 103, No. 2: 381 (1987).
10. G. V. Grin’, E. N. Kislovskiy, P. V. Petrashen’, and A. Yu. Razumovskiy,
Metallofizika, 12, No. 5: 113 (1990) (in Russian).
11. E. N. Kislovskiy, L. I. Datsenko, V. B. Molodkin, G. V. Grin’, and
A. I. Nizkova, Metallofizika, 12, No. 6: 37 (1990) (in Russian).
https://doi.org/10.1007/978-3-642-74291-0
https://doi.org/10.15407/mfint.36.07.0857
https://doi.org/10.15407/mfint.36.07.0857
https://doi.org/10.15407/mfint.37.11.1567
https://doi.org/10.15407/mfint.37.11.1567
https://doi.org/10.15407/mfint.36.08.1035
https://doi.org/10.15407/mfint.36.08.1035
https://doi.org/10.15407/mfint.36.09.1271
https://doi.org/10.15407/mfint.36.09.1271
https://doi.org/10.1002/pssa.2211030206
<<
/ASCII85EncodePages false
/AllowTransparency false
/AutoPositionEPSFiles true
/AutoRotatePages /None
/Binding /Left
/CalGrayProfile (Dot Gain 20%)
/CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2)
/sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CannotEmbedFontPolicy /Error
/CompatibilityLevel 1.4
/CompressObjects /Tags
/CompressPages true
/ConvertImagesToIndexed true
/PassThroughJPEGImages true
/CreateJobTicket false
/DefaultRenderingIntent /Default
/DetectBlends true
/DetectCurves 0.0000
/ColorConversionStrategy /CMYK
/DoThumbnails false
/EmbedAllFonts true
/EmbedOpenType false
/ParseICCProfilesInComments true
/EmbedJobOptions true
/DSCReportingLevel 0
/EmitDSCWarnings false
/EndPage -1
/ImageMemory 1048576
/LockDistillerParams false
/MaxSubsetPct 100
/Optimize true
/OPM 1
/ParseDSCComments true
/ParseDSCCommentsForDocInfo true
/PreserveCopyPage true
/PreserveDICMYKValues true
/PreserveEPSInfo true
/PreserveFlatness true
/PreserveHalftoneInfo false
/PreserveOPIComments true
/PreserveOverprintSettings true
/StartPage 1
/SubsetFonts true
/TransferFunctionInfo /Apply
/UCRandBGInfo /Preserve
/UsePrologue false
/ColorSettingsFile ()
/AlwaysEmbed [ true
]
/NeverEmbed [ true
]
/AntiAliasColorImages false
/CropColorImages true
/ColorImageMinResolution 300
/ColorImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleColorImages true
/ColorImageDownsampleType /Bicubic
/ColorImageResolution 300
/ColorImageDepth -1
/ColorImageMinDownsampleDepth 1
/ColorImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeColorImages true
/ColorImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterColorImages true
/ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG
/ColorACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/ColorImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000ColorACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000ColorImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasGrayImages false
/CropGrayImages true
/GrayImageMinResolution 300
/GrayImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleGrayImages true
/GrayImageDownsampleType /Bicubic
/GrayImageResolution 300
/GrayImageDepth -1
/GrayImageMinDownsampleDepth 2
/GrayImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeGrayImages true
/GrayImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterGrayImages true
/GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG
/GrayACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/GrayImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000GrayACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000GrayImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasMonoImages false
/CropMonoImages true
/MonoImageMinResolution 1200
/MonoImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleMonoImages true
/MonoImageDownsampleType /Bicubic
/MonoImageResolution 1200
/MonoImageDepth -1
/MonoImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeMonoImages true
/MonoImageFilter /CCITTFaxEncode
/MonoImageDict <<
/K -1
>>
/AllowPSXObjects false
/CheckCompliance [
/None
]
/PDFX1aCheck false
/PDFX3Check false
/PDFXCompliantPDFOnly false
/PDFXNoTrimBoxError true
/PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXSetBleedBoxToMediaBox true
/PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXOutputIntentProfile ()
/PDFXOutputConditionIdentifier ()
/PDFXOutputCondition ()
/PDFXRegistryName ()
/PDFXTrapped /False
/CreateJDFFile false
/Description <<
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
/BGR <FEFF04180437043f043e043b043704320430043904420435002004420435043704380020043d0430044104420440043e0439043a0438002c00200437043000200434043000200441044a0437043404300432043004420435002000410064006f00620065002000500044004600200434043e043a0443043c0435043d04420438002c0020043c0430043a04410438043c0430043b043d043e0020043f044004380433043e04340435043d04380020043704300020043204380441043e043a043e043a0430044704350441044204320435043d0020043f04350447043004420020043704300020043f044004350434043f0435044704300442043d04300020043f043e04340433043e0442043e0432043a0430002e002000200421044a04370434043004340435043d043804420435002000500044004600200434043e043a0443043c0435043d044204380020043c043e0433043004420020043404300020044104350020043e0442043204300440044f0442002004410020004100630072006f00620061007400200438002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020043800200441043b0435043404320430044904380020043204350440044104380438002e>
/CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000410064006f006200650020005000440046002065876863900275284e8e9ad88d2891cf76845370524d53705237300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002>
/CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef69069752865bc9ad854c18cea76845370524d5370523786557406300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002>
/CZE <FEFF005400610074006f0020006e006100730074006100760065006e00ed00200070006f0075017e0069006a007400650020006b0020007600790074007600e101590065006e00ed00200064006f006b0075006d0065006e0074016f002000410064006f006200650020005000440046002c0020006b00740065007200e90020007300650020006e0065006a006c00e90070006500200068006f006400ed002000700072006f0020006b00760061006c00690074006e00ed0020007400690073006b00200061002000700072006500700072006500730073002e002000200056007900740076006f01590065006e00e900200064006f006b0075006d0065006e007400790020005000440046002000620075006400650020006d006f017e006e00e90020006f007400650076015900ed007400200076002000700072006f006700720061006d0065006300680020004100630072006f00620061007400200061002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e0030002000610020006e006f0076011b006a016100ed00630068002e>
/DAN <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>
/DEU <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>
/ESP <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>
/ETI <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>
/FRA <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>
/GRE <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>
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
/HRV (Za stvaranje Adobe PDF dokumenata najpogodnijih za visokokvalitetni ispis prije tiskanja koristite ove postavke. Stvoreni PDF dokumenti mogu se otvoriti Acrobat i Adobe Reader 5.0 i kasnijim verzijama.)
/HUN <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>
/ITA <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>
/JPN <FEFF9ad854c18cea306a30d730ea30d730ec30b951fa529b7528002000410064006f0062006500200050004400460020658766f8306e4f5c6210306b4f7f75283057307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103055308c305f0020005000440046002030d530a130a430eb306f3001004100630072006f0062006100740020304a30883073002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d3067958b304f30533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a306b306f30d530a930f330c8306e57cb30818fbc307f304c5fc59808306730593002>
/KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020ace0d488c9c80020c2dcd5d80020c778c1c4c5d00020ac00c7a50020c801d569d55c002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e>
/LTH <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>
/LVI <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>
/NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken die zijn geoptimaliseerd voor prepress-afdrukken van hoge kwaliteit. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.)
/NOR <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>
/POL <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>
/PTB <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>
/RUM <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>
/RUS <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>
/SKY <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>
/SLV <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>
/SUO <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>
/SVE <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>
/TUR <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>
/UKR <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>
/ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents best suited for high-quality prepress printing. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.)
>>
/Namespace [
(Adobe)
(Common)
(1.0)
]
/OtherNamespaces [
<<
/AsReaderSpreads false
/CropImagesToFrames true
/ErrorControl /WarnAndContinue
/FlattenerIgnoreSpreadOverrides false
/IncludeGuidesGrids false
/IncludeNonPrinting false
/IncludeSlug false
/Namespace [
(Adobe)
(InDesign)
(4.0)
]
/OmitPlacedBitmaps false
/OmitPlacedEPS false
/OmitPlacedPDF false
/SimulateOverprint /Legacy
>>
<<
/AddBleedMarks false
/AddColorBars false
/AddCropMarks false
/AddPageInfo false
/AddRegMarks false
/ConvertColors /ConvertToCMYK
/DestinationProfileName ()
/DestinationProfileSelector /DocumentCMYK
/Downsample16BitImages true
/FlattenerPreset <<
/PresetSelector /MediumResolution
>>
/FormElements false
/GenerateStructure false
/IncludeBookmarks false
/IncludeHyperlinks false
/IncludeInteractive false
/IncludeLayers false
/IncludeProfiles false
/MultimediaHandling /UseObjectSettings
/Namespace [
(Adobe)
(CreativeSuite)
(2.0)
]
/PDFXOutputIntentProfileSelector /DocumentCMYK
/PreserveEditing true
/UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged
/UntaggedRGBHandling /UseDocumentProfile
/UseDocumentBleed false
>>
]
>> setdistillerparams
<<
/HWResolution [2400 2400]
/PageSize [612.000 792.000]
>> setpagedevice
|