Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі молібденових наноплівок, нанесених на оксидні матеріяли

Досліджено кінетику дисперґування молібденових наноплівок завтовшки у 100 нм, яких було нанесено на підкладинки з лейкосапфіру, алюмооксидної кераміки, кварцового скла та відпалено у вакуумі за температур 1200–1600°C протягом різного часу (від 2 до 20 хв.) при кожному обраному значенні температури....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Металлофизика и новейшие технологии
Datum:2018
Hauptverfasser: Найдіч, Ю.В., Габ, І.І., Стецюк, Т.В., Костюк, Б.Д., Шахнін, Д.Б.
Format: Artikel
Sprache:Ukrainian
Veröffentlicht: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2018
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/151869
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі молібденових наноплівок, нанесених на оксидні матеріяли / Ю.В. Найдіч, І.І. Габ, Т.В. Стецюк, Б.Д. Костюк, Д.Б. Шахнін // Металлофизика и новейшие технологии. — 2018. — Т. 40, № 10. — С. 1359-1373. — Бібліогр.: 28 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-151869
record_format dspace
spelling Найдіч, Ю.В.
Габ, І.І.
Стецюк, Т.В.
Костюк, Б.Д.
Шахнін, Д.Б.
2019-05-24T18:07:03Z
2019-05-24T18:07:03Z
2018
Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі молібденових наноплівок, нанесених на оксидні матеріяли / Ю.В. Найдіч, І.І. Габ, Т.В. Стецюк, Б.Д. Костюк, Д.Б. Шахнін // Металлофизика и новейшие технологии. — 2018. — Т. 40, № 10. — С. 1359-1373. — Бібліогр.: 28 назв. — укр.
1024-1809
PACS: 68.35.-p, 68.37.Hk, 68.37.Ps, 68.55.-a, 68.60.Dv, 81.20.Vj, 81.40.Ef
DOI: 10.15407/mfint.40.10.1359
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/151869
Досліджено кінетику дисперґування молібденових наноплівок завтовшки у 100 нм, яких було нанесено на підкладинки з лейкосапфіру, алюмооксидної кераміки, кварцового скла та відпалено у вакуумі за температур 1200–1600°C протягом різного часу (від 2 до 20 хв.) при кожному обраному значенні температури. Встановлено, що з молібденових плівок, нанесених на оксидні матеріяли, найбільш стійкою при відпалі є плівка на алюмооксидній кераміці, а найменш стійкою — пліавка на кварцовому склі, яка починає інтенсивно дисперґувати та взаємодіяти з поверхнею підкладинки вже за 1300°C. За результатами досліджень побудовано кінетичні криві дисперґування плівок в результаті відпалу.
Исследована кинетика диспергирования молибденовых наноплёнок толщиной 100 нм, нанесённых на подложки из лейкосапфира, алюмооксидной керамики, кварцевого стекла и отожжённых в вакууме при температурах 1200–1600°C в течение различного времени (от 2 до 20 мин) при каждом выбранном значении температуры. Óстановлено, что из молибденовых плёнок, нанесённых на оксидные материалы, наиболее стойкой при отжиге является плёнка на алюмооксидной керамике, а наименее стойкой — плёнка на кварцевом стекле, которая начинает интенсивно диспергироваться и взаимодействовать с поверхностью подложки уже при 1300°C. По результатам исследований построены кинетические кривые диспергирования плёнок в результате отжига.
The dispersion kinetics of molybdenum nanofilms of 100 nm thickness deposited on the leucosapphire, alumina ceramics or quartz glass substrates and annealed in vacuum at 1200–1600°C for different exposure times at each temperature in the interval of 2–20 min. As determined, the molybdenum film deposited on alumina ceramic is the most stable during annealing, and the least stable one is a film on quartz glass, which begins to intensively disperse and interact with the substrate surface above 1300°C. Based on the results of the investigations, the kinetic curves of films’ dispersion because of annealing are plotted.
uk
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
Металлофизика и новейшие технологии
Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі молібденових наноплівок, нанесених на оксидні матеріяли
Кинетика диспергирования при отжиге в вакууме молибденовых наноплёнок, нанесённых на оксидные материалы
Kinetics of Dispersion of the Molybdenum Nanofilms Deposited on Oxide Materials During Annealing in Vacuum
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі молібденових наноплівок, нанесених на оксидні матеріяли
spellingShingle Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі молібденових наноплівок, нанесених на оксидні матеріяли
Найдіч, Ю.В.
Габ, І.І.
Стецюк, Т.В.
Костюк, Б.Д.
Шахнін, Д.Б.
Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
title_short Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі молібденових наноплівок, нанесених на оксидні матеріяли
title_full Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі молібденових наноплівок, нанесених на оксидні матеріяли
title_fullStr Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі молібденових наноплівок, нанесених на оксидні матеріяли
title_full_unstemmed Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі молібденових наноплівок, нанесених на оксидні матеріяли
title_sort кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі молібденових наноплівок, нанесених на оксидні матеріяли
author Найдіч, Ю.В.
Габ, І.І.
Стецюк, Т.В.
Костюк, Б.Д.
Шахнін, Д.Б.
author_facet Найдіч, Ю.В.
Габ, І.І.
Стецюк, Т.В.
Костюк, Б.Д.
Шахнін, Д.Б.
topic Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
topic_facet Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
publishDate 2018
language Ukrainian
container_title Металлофизика и новейшие технологии
publisher Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
format Article
title_alt Кинетика диспергирования при отжиге в вакууме молибденовых наноплёнок, нанесённых на оксидные материалы
Kinetics of Dispersion of the Molybdenum Nanofilms Deposited on Oxide Materials During Annealing in Vacuum
description Досліджено кінетику дисперґування молібденових наноплівок завтовшки у 100 нм, яких було нанесено на підкладинки з лейкосапфіру, алюмооксидної кераміки, кварцового скла та відпалено у вакуумі за температур 1200–1600°C протягом різного часу (від 2 до 20 хв.) при кожному обраному значенні температури. Встановлено, що з молібденових плівок, нанесених на оксидні матеріяли, найбільш стійкою при відпалі є плівка на алюмооксидній кераміці, а найменш стійкою — пліавка на кварцовому склі, яка починає інтенсивно дисперґувати та взаємодіяти з поверхнею підкладинки вже за 1300°C. За результатами досліджень побудовано кінетичні криві дисперґування плівок в результаті відпалу. Исследована кинетика диспергирования молибденовых наноплёнок толщиной 100 нм, нанесённых на подложки из лейкосапфира, алюмооксидной керамики, кварцевого стекла и отожжённых в вакууме при температурах 1200–1600°C в течение различного времени (от 2 до 20 мин) при каждом выбранном значении температуры. Óстановлено, что из молибденовых плёнок, нанесённых на оксидные материалы, наиболее стойкой при отжиге является плёнка на алюмооксидной керамике, а наименее стойкой — плёнка на кварцевом стекле, которая начинает интенсивно диспергироваться и взаимодействовать с поверхностью подложки уже при 1300°C. По результатам исследований построены кинетические кривые диспергирования плёнок в результате отжига. The dispersion kinetics of molybdenum nanofilms of 100 nm thickness deposited on the leucosapphire, alumina ceramics or quartz glass substrates and annealed in vacuum at 1200–1600°C for different exposure times at each temperature in the interval of 2–20 min. As determined, the molybdenum film deposited on alumina ceramic is the most stable during annealing, and the least stable one is a film on quartz glass, which begins to intensively disperse and interact with the substrate surface above 1300°C. Based on the results of the investigations, the kinetic curves of films’ dispersion because of annealing are plotted.
issn 1024-1809
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/151869
citation_txt Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі молібденових наноплівок, нанесених на оксидні матеріяли / Ю.В. Найдіч, І.І. Габ, Т.В. Стецюк, Б.Д. Костюк, Д.Б. Шахнін // Металлофизика и новейшие технологии. — 2018. — Т. 40, № 10. — С. 1359-1373. — Бібліогр.: 28 назв. — укр.
work_keys_str_mv AT naidíčûv kínetikadisperguvannâprivídpalíuvakuumímolíbdenovihnanoplívoknanesenihnaoksidnímateríâli
AT gabíí kínetikadisperguvannâprivídpalíuvakuumímolíbdenovihnanoplívoknanesenihnaoksidnímateríâli
AT stecûktv kínetikadisperguvannâprivídpalíuvakuumímolíbdenovihnanoplívoknanesenihnaoksidnímateríâli
AT kostûkbd kínetikadisperguvannâprivídpalíuvakuumímolíbdenovihnanoplívoknanesenihnaoksidnímateríâli
AT šahníndb kínetikadisperguvannâprivídpalíuvakuumímolíbdenovihnanoplívoknanesenihnaoksidnímateríâli
AT naidíčûv kinetikadispergirovaniâpriotžigevvakuumemolibdenovyhnanoplenoknanesennyhnaoksidnyematerialy
AT gabíí kinetikadispergirovaniâpriotžigevvakuumemolibdenovyhnanoplenoknanesennyhnaoksidnyematerialy
AT stecûktv kinetikadispergirovaniâpriotžigevvakuumemolibdenovyhnanoplenoknanesennyhnaoksidnyematerialy
AT kostûkbd kinetikadispergirovaniâpriotžigevvakuumemolibdenovyhnanoplenoknanesennyhnaoksidnyematerialy
AT šahníndb kinetikadispergirovaniâpriotžigevvakuumemolibdenovyhnanoplenoknanesennyhnaoksidnyematerialy
AT naidíčûv kineticsofdispersionofthemolybdenumnanofilmsdepositedonoxidematerialsduringannealinginvacuum
AT gabíí kineticsofdispersionofthemolybdenumnanofilmsdepositedonoxidematerialsduringannealinginvacuum
AT stecûktv kineticsofdispersionofthemolybdenumnanofilmsdepositedonoxidematerialsduringannealinginvacuum
AT kostûkbd kineticsofdispersionofthemolybdenumnanofilmsdepositedonoxidematerialsduringannealinginvacuum
AT šahníndb kineticsofdispersionofthemolybdenumnanofilmsdepositedonoxidematerialsduringannealinginvacuum
first_indexed 2025-12-07T19:39:35Z
last_indexed 2025-12-07T19:39:35Z
_version_ 1850879640503058432