Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі молібденових наноплівок, нанесених на оксидні матеріяли
Досліджено кінетику дисперґування молібденових наноплівок завтовшки у 100 нм, яких було нанесено на підкладинки з лейкосапфіру, алюмооксидної кераміки, кварцового скла та відпалено у вакуумі за температур 1200–1600°C протягом різного часу (від 2 до 20 хв.) при кожному обраному значенні температури....
Saved in:
| Published in: | Металлофизика и новейшие технологии |
|---|---|
| Date: | 2018 |
| Main Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2018
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/151869 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі молібденових наноплівок, нанесених на оксидні матеріяли / Ю.В. Найдіч, І.І. Габ, Т.В. Стецюк, Б.Д. Костюк, Д.Б. Шахнін // Металлофизика и новейшие технологии. — 2018. — Т. 40, № 10. — С. 1359-1373. — Бібліогр.: 28 назв. — укр. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862733854791434240 |
|---|---|
| author | Найдіч, Ю.В. Габ, І.І. Стецюк, Т.В. Костюк, Б.Д. Шахнін, Д.Б. |
| author_facet | Найдіч, Ю.В. Габ, І.І. Стецюк, Т.В. Костюк, Б.Д. Шахнін, Д.Б. |
| citation_txt | Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі молібденових наноплівок, нанесених на оксидні матеріяли / Ю.В. Найдіч, І.І. Габ, Т.В. Стецюк, Б.Д. Костюк, Д.Б. Шахнін // Металлофизика и новейшие технологии. — 2018. — Т. 40, № 10. — С. 1359-1373. — Бібліогр.: 28 назв. — укр. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Металлофизика и новейшие технологии |
| description | Досліджено кінетику дисперґування молібденових наноплівок завтовшки у 100 нм, яких було нанесено на підкладинки з лейкосапфіру, алюмооксидної кераміки, кварцового скла та відпалено у вакуумі за температур 1200–1600°C протягом різного часу (від 2 до 20 хв.) при кожному обраному значенні температури. Встановлено, що з молібденових плівок, нанесених на оксидні матеріяли, найбільш стійкою при відпалі є плівка на алюмооксидній кераміці, а найменш стійкою — пліавка на кварцовому склі, яка починає інтенсивно дисперґувати та взаємодіяти з поверхнею підкладинки вже за 1300°C. За результатами досліджень побудовано кінетичні криві дисперґування плівок в результаті відпалу.
Исследована кинетика диспергирования молибденовых наноплёнок толщиной 100 нм, нанесённых на подложки из лейкосапфира, алюмооксидной керамики, кварцевого стекла и отожжённых в вакууме при температурах 1200–1600°C в течение различного времени (от 2 до 20 мин) при каждом выбранном значении температуры. Óстановлено, что из молибденовых плёнок, нанесённых на оксидные материалы, наиболее стойкой при отжиге является плёнка на алюмооксидной керамике, а наименее стойкой — плёнка на кварцевом стекле, которая начинает интенсивно диспергироваться и взаимодействовать с поверхностью подложки уже при 1300°C. По результатам исследований построены кинетические кривые диспергирования плёнок в результате отжига.
The dispersion kinetics of molybdenum nanofilms of 100 nm thickness deposited on the leucosapphire, alumina ceramics or quartz glass substrates and annealed in vacuum at 1200–1600°C for different exposure times at each temperature in the interval of 2–20 min. As determined, the molybdenum film deposited on alumina ceramic is the most stable during annealing, and the least stable one is a film on quartz glass, which begins to intensively disperse and interact with the substrate surface above 1300°C. Based on the results of the investigations, the kinetic curves of films’ dispersion because of annealing are plotted.
|
| first_indexed | 2025-12-07T19:39:35Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-151869 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1024-1809 |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2025-12-07T19:39:35Z |
| publishDate | 2018 |
| publisher | Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Найдіч, Ю.В. Габ, І.І. Стецюк, Т.В. Костюк, Б.Д. Шахнін, Д.Б. 2019-05-24T18:07:03Z 2019-05-24T18:07:03Z 2018 Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі молібденових наноплівок, нанесених на оксидні матеріяли / Ю.В. Найдіч, І.І. Габ, Т.В. Стецюк, Б.Д. Костюк, Д.Б. Шахнін // Металлофизика и новейшие технологии. — 2018. — Т. 40, № 10. — С. 1359-1373. — Бібліогр.: 28 назв. — укр. 1024-1809 PACS: 68.35.-p, 68.37.Hk, 68.37.Ps, 68.55.-a, 68.60.Dv, 81.20.Vj, 81.40.Ef DOI: 10.15407/mfint.40.10.1359 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/151869 Досліджено кінетику дисперґування молібденових наноплівок завтовшки у 100 нм, яких було нанесено на підкладинки з лейкосапфіру, алюмооксидної кераміки, кварцового скла та відпалено у вакуумі за температур 1200–1600°C протягом різного часу (від 2 до 20 хв.) при кожному обраному значенні температури. Встановлено, що з молібденових плівок, нанесених на оксидні матеріяли, найбільш стійкою при відпалі є плівка на алюмооксидній кераміці, а найменш стійкою — пліавка на кварцовому склі, яка починає інтенсивно дисперґувати та взаємодіяти з поверхнею підкладинки вже за 1300°C. За результатами досліджень побудовано кінетичні криві дисперґування плівок в результаті відпалу. Исследована кинетика диспергирования молибденовых наноплёнок толщиной 100 нм, нанесённых на подложки из лейкосапфира, алюмооксидной керамики, кварцевого стекла и отожжённых в вакууме при температурах 1200–1600°C в течение различного времени (от 2 до 20 мин) при каждом выбранном значении температуры. Óстановлено, что из молибденовых плёнок, нанесённых на оксидные материалы, наиболее стойкой при отжиге является плёнка на алюмооксидной керамике, а наименее стойкой — плёнка на кварцевом стекле, которая начинает интенсивно диспергироваться и взаимодействовать с поверхностью подложки уже при 1300°C. По результатам исследований построены кинетические кривые диспергирования плёнок в результате отжига. The dispersion kinetics of molybdenum nanofilms of 100 nm thickness deposited on the leucosapphire, alumina ceramics or quartz glass substrates and annealed in vacuum at 1200–1600°C for different exposure times at each temperature in the interval of 2–20 min. As determined, the molybdenum film deposited on alumina ceramic is the most stable during annealing, and the least stable one is a film on quartz glass, which begins to intensively disperse and interact with the substrate surface above 1300°C. Based on the results of the investigations, the kinetic curves of films’ dispersion because of annealing are plotted. uk Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Металлофизика и новейшие технологии Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі молібденових наноплівок, нанесених на оксидні матеріяли Кинетика диспергирования при отжиге в вакууме молибденовых наноплёнок, нанесённых на оксидные материалы Kinetics of Dispersion of the Molybdenum Nanofilms Deposited on Oxide Materials During Annealing in Vacuum Article published earlier |
| spellingShingle | Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі молібденових наноплівок, нанесених на оксидні матеріяли Найдіч, Ю.В. Габ, І.І. Стецюк, Т.В. Костюк, Б.Д. Шахнін, Д.Б. Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов |
| title | Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі молібденових наноплівок, нанесених на оксидні матеріяли |
| title_alt | Кинетика диспергирования при отжиге в вакууме молибденовых наноплёнок, нанесённых на оксидные материалы Kinetics of Dispersion of the Molybdenum Nanofilms Deposited on Oxide Materials During Annealing in Vacuum |
| title_full | Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі молібденових наноплівок, нанесених на оксидні матеріяли |
| title_fullStr | Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі молібденових наноплівок, нанесених на оксидні матеріяли |
| title_full_unstemmed | Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі молібденових наноплівок, нанесених на оксидні матеріяли |
| title_short | Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі молібденових наноплівок, нанесених на оксидні матеріяли |
| title_sort | кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі молібденових наноплівок, нанесених на оксидні матеріяли |
| topic | Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов |
| topic_facet | Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/151869 |
| work_keys_str_mv | AT naidíčûv kínetikadisperguvannâprivídpalíuvakuumímolíbdenovihnanoplívoknanesenihnaoksidnímateríâli AT gabíí kínetikadisperguvannâprivídpalíuvakuumímolíbdenovihnanoplívoknanesenihnaoksidnímateríâli AT stecûktv kínetikadisperguvannâprivídpalíuvakuumímolíbdenovihnanoplívoknanesenihnaoksidnímateríâli AT kostûkbd kínetikadisperguvannâprivídpalíuvakuumímolíbdenovihnanoplívoknanesenihnaoksidnímateríâli AT šahníndb kínetikadisperguvannâprivídpalíuvakuumímolíbdenovihnanoplívoknanesenihnaoksidnímateríâli AT naidíčûv kinetikadispergirovaniâpriotžigevvakuumemolibdenovyhnanoplenoknanesennyhnaoksidnyematerialy AT gabíí kinetikadispergirovaniâpriotžigevvakuumemolibdenovyhnanoplenoknanesennyhnaoksidnyematerialy AT stecûktv kinetikadispergirovaniâpriotžigevvakuumemolibdenovyhnanoplenoknanesennyhnaoksidnyematerialy AT kostûkbd kinetikadispergirovaniâpriotžigevvakuumemolibdenovyhnanoplenoknanesennyhnaoksidnyematerialy AT šahníndb kinetikadispergirovaniâpriotžigevvakuumemolibdenovyhnanoplenoknanesennyhnaoksidnyematerialy AT naidíčûv kineticsofdispersionofthemolybdenumnanofilmsdepositedonoxidematerialsduringannealinginvacuum AT gabíí kineticsofdispersionofthemolybdenumnanofilmsdepositedonoxidematerialsduringannealinginvacuum AT stecûktv kineticsofdispersionofthemolybdenumnanofilmsdepositedonoxidematerialsduringannealinginvacuum AT kostûkbd kineticsofdispersionofthemolybdenumnanofilmsdepositedonoxidematerialsduringannealinginvacuum AT šahníndb kineticsofdispersionofthemolybdenumnanofilmsdepositedonoxidematerialsduringannealinginvacuum |