Источник ионов для установки ионно-стимулированного осаждения покрытий АРГО-2
Описаны конструкция и особенности плазменного разряда источника ионов с подогреваемым катодом, предназначенного для использования на технологической установке ионно-стимулированного осаждения покрытий АРГО-2. Приведены зависимости тока пучка от параметров разряда. Описано конструкція та особливості...
Saved in:
| Date: | 2010 |
|---|---|
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2010
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/15671 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Источник ионов для установки ионно-стимулированного осаждения покрытий АРГО-2 / Ю.А. Марченко, Н.В. Перун, И.В. Сасса, А.Ф. Ванжа // Вопросы атомной науки и техники. — 2010. — № 1. — С. 157-160. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862596024257740800 |
|---|---|
| author | Марченко, Ю.А. Перун, Н.В. Сасса, И.В. Ванжа, А.Ф. |
| author_facet | Марченко, Ю.А. Перун, Н.В. Сасса, И.В. Ванжа, А.Ф. |
| citation_txt | Источник ионов для установки ионно-стимулированного осаждения покрытий АРГО-2 / Ю.А. Марченко, Н.В. Перун, И.В. Сасса, А.Ф. Ванжа // Вопросы атомной науки и техники. — 2010. — № 1. — С. 157-160. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| description | Описаны конструкция и особенности плазменного разряда источника ионов с подогреваемым катодом, предназначенного для использования на технологической установке ионно-стимулированного осаждения покрытий АРГО-2. Приведены зависимости тока пучка от параметров разряда.
Описано конструкція та особливості плазмового розряду джерела іонів з катодом, що підігрівається, який призначено для використання на технологічній установці іонно-стимулюючого осадження покриттів АРГО-2. Приведені залежності струму пучка від параметрів розряду.
Construction and structural features of plasma discharge of ions source with heated cathode is described. This source intended is used in technological plant ARGO-2 for the ion-stimulated deposition of coatings. Dependences of beam current on the discharge parameters are presented.
|
| first_indexed | 2025-11-27T14:31:00Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-15671 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-27T14:31:00Z |
| publishDate | 2010 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Марченко, Ю.А. Перун, Н.В. Сасса, И.В. Ванжа, А.Ф. 2011-01-31T12:06:17Z 2011-01-31T12:06:17Z 2010 Источник ионов для установки ионно-стимулированного осаждения покрытий АРГО-2 / Ю.А. Марченко, Н.В. Перун, И.В. Сасса, А.Ф. Ванжа // Вопросы атомной науки и техники. — 2010. — № 1. — С. 157-160. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/15671 621.384.6:620.198 Описаны конструкция и особенности плазменного разряда источника ионов с подогреваемым катодом, предназначенного для использования на технологической установке ионно-стимулированного осаждения покрытий АРГО-2. Приведены зависимости тока пучка от параметров разряда. Описано конструкція та особливості плазмового розряду джерела іонів з катодом, що підігрівається, який призначено для використання на технологічній установці іонно-стимулюючого осадження покриттів АРГО-2. Приведені залежності струму пучка від параметрів розряду. Construction and structural features of plasma discharge of ions source with heated cathode is described. This source intended is used in technological plant ARGO-2 for the ion-stimulated deposition of coatings. Dependences of beam current on the discharge parameters are presented. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Диагностика и методы исследований Источник ионов для установки ионно-стимулированного осаждения покрытий АРГО-2 Джерело іонів для установки іонно-стимулюючого осадження покриттів АРГО-2 Ions source for plan ARGO-2 for the ion-stimulated deposition of coatings Article published earlier |
| spellingShingle | Источник ионов для установки ионно-стимулированного осаждения покрытий АРГО-2 Марченко, Ю.А. Перун, Н.В. Сасса, И.В. Ванжа, А.Ф. Диагностика и методы исследований |
| title | Источник ионов для установки ионно-стимулированного осаждения покрытий АРГО-2 |
| title_alt | Джерело іонів для установки іонно-стимулюючого осадження покриттів АРГО-2 Ions source for plan ARGO-2 for the ion-stimulated deposition of coatings |
| title_full | Источник ионов для установки ионно-стимулированного осаждения покрытий АРГО-2 |
| title_fullStr | Источник ионов для установки ионно-стимулированного осаждения покрытий АРГО-2 |
| title_full_unstemmed | Источник ионов для установки ионно-стимулированного осаждения покрытий АРГО-2 |
| title_short | Источник ионов для установки ионно-стимулированного осаждения покрытий АРГО-2 |
| title_sort | источник ионов для установки ионно-стимулированного осаждения покрытий арго-2 |
| topic | Диагностика и методы исследований |
| topic_facet | Диагностика и методы исследований |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/15671 |
| work_keys_str_mv | AT marčenkoûa istočnikionovdlâustanovkiionnostimulirovannogoosaždeniâpokrytiiargo2 AT perunnv istočnikionovdlâustanovkiionnostimulirovannogoosaždeniâpokrytiiargo2 AT sassaiv istočnikionovdlâustanovkiionnostimulirovannogoosaždeniâpokrytiiargo2 AT vanžaaf istočnikionovdlâustanovkiionnostimulirovannogoosaždeniâpokrytiiargo2 AT marčenkoûa džereloíonívdlâustanovkiíonnostimulûûčogoosadžennâpokrittívargo2 AT perunnv džereloíonívdlâustanovkiíonnostimulûûčogoosadžennâpokrittívargo2 AT sassaiv džereloíonívdlâustanovkiíonnostimulûûčogoosadžennâpokrittívargo2 AT vanžaaf džereloíonívdlâustanovkiíonnostimulûûčogoosadžennâpokrittívargo2 AT marčenkoûa ionssourceforplanargo2fortheionstimulateddepositionofcoatings AT perunnv ionssourceforplanargo2fortheionstimulateddepositionofcoatings AT sassaiv ionssourceforplanargo2fortheionstimulateddepositionofcoatings AT vanžaaf ionssourceforplanargo2fortheionstimulateddepositionofcoatings |