Источник ионов для установки ионно-стимулированного осаждения покрытий АРГО-2

• Date: 2010
• Main Authors: Марченко, Ю.А., Перун, Н.В., Сасса, И.В., Ванжа, А.Ф.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2010
• Subjects: Диагностика и методы исследований
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/15671
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Источник ионов для установки ионно-стимулированного осаждения покрытий АРГО-2 / Ю.А. Марченко, Н.В. Перун, И.В. Сасса, А.Ф. Ванжа // Вопросы атомной науки и техники. — 2010. — № 1. — С. 157-160. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.

Описаны конструкция и особенности плазменного разряда источника ионов с подогреваемым катодом, предназначенного для использования на технологической установке ионно-стимулированного осаждения покрытий АРГО-2. Приведены зависимости тока пучка от параметров разряда. Описано конструкція та особливості...