Источник ионов для установки ионно-стимулированного осаждения покрытий АРГО-2
Описаны конструкция и особенности плазменного разряда источника ионов с подогреваемым катодом, предназначенного для использования на технологической установке ионно-стимулированного осаждения покрытий АРГО-2. Приведены зависимости тока пучка от параметров разряда. Описано конструкція та особливості...
Збережено в:
| Дата: | 2010 |
|---|---|
| Автори: | Марченко, Ю.А., Перун, Н.В., Сасса, И.В., Ванжа, А.Ф. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2010
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/15671 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Источник ионов для установки ионно-стимулированного осаждения покрытий АРГО-2 / Ю.А. Марченко, Н.В. Перун, И.В. Сасса, А.Ф. Ванжа // Вопросы атомной науки и техники. — 2010. — № 1. — С. 157-160. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Экспериментальный комплекс для изучения деформации материалов под пучком ионов азота
за авторством: Бомко, В.А., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Бомко, В.А., та інші
Опубліковано: (2008)
Первичные характеристики пучка источника многозарядных ионов для ЭСУ «Сокол»
за авторством: Глазунов, Л.С., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Глазунов, Л.С., та інші
Опубліковано: (2010)
Автоматизированный гониометр для исследования местоположения примесных атомов в монокристаллах методом каналирования ионов
за авторством: Внученко, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Внученко, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)
Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере
за авторством: Батурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Батурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2015)
Распределение химического состава по глубине в пленках Cr-O-N, полученных методом ионно-стимулированного осаждения
за авторством: Стервоедов, А.Н.
Опубліковано: (2009)
за авторством: Стервоедов, А.Н.
Опубліковано: (2009)
Источник многозарядных ионов для установки «Сокол» (стендовые испытания)
за авторством: Карпусь, С.Г.
Опубліковано: (2009)
за авторством: Карпусь, С.Г.
Опубліковано: (2009)
О возможности реализации TG-CVI-процессов при пониженных температурах
за авторством: Гурин, И.В.
Опубліковано: (2015)
за авторством: Гурин, И.В.
Опубліковано: (2015)
Активизация выделения радона при «мокрой» консервации угольных шахт
за авторством: Удалов, И.В.
Опубліковано: (2010)
за авторством: Удалов, И.В.
Опубліковано: (2010)
Характеристика пластичности, определяемая методом индентирования
за авторством: Мильман, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Мильман, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2011)
Использование специальных геохимических барьеров для блокирования распространения тяжелых металлов и радионуклидов подземными техногенными потоками
за авторством: Полевич, О.В., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Полевич, О.В., та інші
Опубліковано: (2017)
Изготовление и проведение радиационных испытаний разгрузочной трубы реактора ВТГР
за авторством: Гурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Гурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2015)
Методы математической обработки импульсных сигналов с выхода первичных преобразователейпри измерении параметров радиационного контроля на АЭС
за авторством: Грибанов, Ю.А., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Грибанов, Ю.А., та інші
Опубліковано: (2008)
Экструзионные сцинтилляционные стрипы для эксперимента OPERA
за авторством: Гринев, Б.В., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Гринев, Б.В., та інші
Опубліковано: (2006)
Многофункциональный оптический комплекс для исследования радиационных превращений на поверхности металлов и сплавов
за авторством: Беляева, А.И., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Беляева, А.И., та інші
Опубліковано: (2014)
Механические характеристики твэльных трубок из сплава Zr1Nb после осаждения ионно-плазменных покрытий
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2013)
Методика и экспериментальные данные облучения конструкционных материалов ионами гелия на линейном ускорителе
за авторством: Анохин, Р.А., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Анохин, Р.А., та інші
Опубліковано: (2012)
Использование методов измерения термоэдс и электросопротивления для исследования фазовых превращений в сплаве Zr1Nb
за авторством: Клименко, С.П., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Клименко, С.П., та інші
Опубліковано: (2007)
Оптимизация диапазона измерения интенсивности аналитической линии в энергодисперсионном рентгенофлуоресцентном анализе
за авторством: Мамалуй, А.А., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Мамалуй, А.А., та інші
Опубліковано: (2015)
Radiation risk groups of NSC KIPT personnel
за авторством: Mazilov, A.V., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Mazilov, A.V., та інші
Опубліковано: (2018)
Деформационное теплообразование при растяжении стальных образцов с конструктивно-технологическими дефектами
за авторством: Мойсейчик, Е.А.
Опубліковано: (2011)
за авторством: Мойсейчик, Е.А.
Опубліковано: (2011)
Аэрогамма-спектрометрическое обследование в Чернобыльской зоне отчуждения на базе БПЛА типа октокоптер
за авторством: Забулонов, Ю.Л., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Забулонов, Ю.Л., та інші
Опубліковано: (2015)
Тепловизионная акустотермографическая дефектоскопия конструкционных материалов
за авторством: Базалеев, Н.И., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Базалеев, Н.И., та інші
Опубліковано: (2011)
Аэродинамическое сопротивление слоев некоторых адсорбентов
за авторством: Колобродов, В.Г., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Колобродов, В.Г., та інші
Опубліковано: (2006)
Методика исследования графитовых материалов в среде кислорода под действием облучения электронами
за авторством: Зеленский, В.Ф., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Зеленский, В.Ф., та інші
Опубліковано: (2011)
Вуглець-вуглецеві електроди для систем ємнісної деіонізації води
за авторством: Кудін, Д.В., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Кудін, Д.В., та інші
Опубліковано: (2016)
Нелинейный акустический отклик композита на импульсное облучение как новый канал информации о процессах разрушения на границах «включение–матрица»
за авторством: Калиниченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Калиниченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2011)
Вакуумная установка для высокотемпературного отжига материалов в магнитном поле
за авторством: Боброва, Н.Б., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Боброва, Н.Б., та інші
Опубліковано: (2015)
Quality estimation the of maximum-likelihood algorithm to the task of space distribution of elements by PIXE
за авторством: Kovalchuk, I.K., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Kovalchuk, I.K., та інші
Опубліковано: (2008)
Оптимизация стратегий управления надежностью энергооборудования систем, важных для безопасности ядерных энергоустановок
за авторством: Чулкин, О.А.
Опубліковано: (2018)
за авторством: Чулкин, О.А.
Опубліковано: (2018)
Изучение зависимости поверхностного импеданса меди от чистоты материала, деформации, температуры отжига при комнатной и азотной температурах
за авторством: Кутовой, В.А., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Кутовой, В.А., та інші
Опубліковано: (2008)
Переохлаждение при кристаллизации частиц легкоплавких металлов в многослойных пленках «углерод-металл-углерод»
за авторством: Петрушенко, С.И., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Петрушенко, С.И., та інші
Опубліковано: (2016)
Поликристаллические органические сцинтилляторы – новый вид эффективных детектирующих материлов для заряженных короткопробежных ионизирующих излучений
за авторством: Галунов, Н.З., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Галунов, Н.З., та інші
Опубліковано: (2006)
Технологія виготовлення та дослідження властивостей нових детекторів трансуранових елементів
за авторством: Андрющєнко, Г.Ю., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Андрющєнко, Г.Ю., та інші
Опубліковано: (2006)
Методика дослідження впливу ультразвукових коливань на механічні властивості конструкційних матеріалів в широкому температурно-швидкісному інтервалі деформації
за авторством: Бакай, С.О., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Бакай, С.О., та інші
Опубліковано: (2007)
Количественное определение прочности сцепления тонких металлических пленок со стеклом
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2006)
Київський скануючий ядерний мікрозонд з методикою прецизійного програмованого опромінення зразка мікропучком іонів
за авторством: Лебедь, С.О., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Лебедь, С.О., та інші
Опубліковано: (2012)
Устройство для моделирования эффектов взаимодействия нейтронных потоков с материалами ядерных реакторов
за авторством: Пермяков, А.В., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Пермяков, А.В., та інші
Опубліковано: (2014)
Application of nanoindentation for investigation of radiation damage in SS316 stainless steel
за авторством: Tolmachova, G.N., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Tolmachova, G.N., та інші
Опубліковано: (2015)
Сквид-магнитометр для структуроскопии конструкционных материалов
за авторством: Федорченко, А.В., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Федорченко, А.В., та інші
Опубліковано: (2010)
Лучевые технологии снижения горючести полимерных материалов
за авторством: Селиванов, С.Е., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Селиванов, С.Е., та інші
Опубліковано: (2008)
Схожі ресурси
-
Экспериментальный комплекс для изучения деформации материалов под пучком ионов азота
за авторством: Бомко, В.А., та інші
Опубліковано: (2008) -
Первичные характеристики пучка источника многозарядных ионов для ЭСУ «Сокол»
за авторством: Глазунов, Л.С., та інші
Опубліковано: (2010) -
Автоматизированный гониометр для исследования местоположения примесных атомов в монокристаллах методом каналирования ионов
за авторством: Внученко, А.А., та інші
Опубліковано: (2013) -
Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере
за авторством: Батурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2015) -
Распределение химического состава по глубине в пленках Cr-O-N, полученных методом ионно-стимулированного осаждения
за авторством: Стервоедов, А.Н.
Опубліковано: (2009)