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Application of carbon as a barrier layer in Sc/Si multilayer X-ray mirrors

X-ray reflectometry in the hard X-ray region (λ = 0.154 nm) was used to investigate the barrier properties of carbon layers 0.2-1.3 nm thick in Sc/Si multilayer X-ray mirrors (MXMs) deposited by DC magnetron sputtering. Precise measurement of the MXM period makes it possible to record volumetric cha...

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Veröffentlicht in:	Functional Materials
Datum:	2018
ISSN:	1027-5495
Hauptverfasser:	Pershyn, Yu.P., Devizenko, I.Yu., Chumak, V.S., Devizenko, A.Yu., Kondratenko, V.V.
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	НТК «Інститут монокристалів» НАН України 2018
Schlagworte:	Characterization and properties
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/157155
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Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Application of carbon as a barrier layer in Sc/Si multilayer X-ray mirrors / Yu.P. Pershyn, I.Yu. Devizenko, V.S. Chumak, A.Yu. Devizenko, V.V. Kondratenko // Functional Materials. — 2018. — Т. 25, № 3. — С. 505-515. — Бібліогр.: 18 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

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