Application of carbon as a barrier layer in Sc/Si multilayer X-ray mirrors
X-ray reflectometry in the hard X-ray region (λ = 0.154 nm) was used to investigate the barrier properties of carbon layers 0.2-1.3 nm thick in Sc/Si multilayer X-ray mirrors (MXMs) deposited by DC magnetron sputtering. Precise measurement of the MXM period makes it possible to record volumetric cha...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Functional Materials |
|---|---|
| Дата: | 2018 |
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
2018
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/157155 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Application of carbon as a barrier layer in Sc/Si multilayer X-ray mirrors / Yu.P. Pershyn, I.Yu. Devizenko, V.S. Chumak, A.Yu. Devizenko, V.V. Kondratenko // Functional Materials. — 2018. — Т. 25, № 3. — С. 505-515. — Бібліогр.: 18 назв. — англ. |