Kinetics of crystals growth under electron-beam crystallization of amorphous films of hafnium dioxide
Amorphous films of HfO₂ are prepared by laser ablation of Hf target in an oxygen atmosphere. Its crystallization was performed under the electron beam impact in a column of electron microscope. Formation and growth of HfO₂ crystals are investigated in situ. The transformation kinetic curves are plot...
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| Veröffentlicht in: | Functional Materials |
|---|---|
| Datum: | 2018 |
| Hauptverfasser: | Bagmut, A.G., Bagmut, I.A. |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
2018
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/157169 |
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| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Kinetics of crystals growth under electron-beam crystallization of amorphous films of hafnium dioxide / A.G. Bagmut, I.A. Bagmut // Functional Materials. — 2018. — Т. 25, № 3. — С. 525-533. — Бібліогр.: 20 назв. — англ. |
Institution
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