Возникновение и роль напряжения сжатия при ионном осаждении алмазоподобной пленки
У моделі нелокального термопружного піку описується процес формування механічних напруг у плівках, що осаджуються, при бомбардуванні іонами низької енергії. Отримано аналітичне вираження для напруг стиску, що є узагальненням відомої формули Девіса. Результати теорії застовуються для аналізу напруг у...
Збережено в:
| Дата: | 2009 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Українське матеріалознавче товариство
2009
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/15857 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Возникновение и роль напряжения сжатия при ионном осаждении алмазоподобной пленки / В.Е.Стрельницкий, А.И.Калиниченко, С.С.Перепелкин // Вісник Українського матеріалознавчого товариства. — 2009. — № 1(2). — С. 43-50. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |