Возникновение и роль напряжения сжатия при ионном осаждении алмазоподобной пленки

• Datum: 2009
• Hauptverfasser: Стрельницкий, В.Е., Калиниченко, А.И., Перепелкин, С.С.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Українське матеріалознавче товариство 2009
• Schlagworte: Доповіді учасників V Міжнародної конференції
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/15857
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Возникновение и роль напряжения сжатия при ионном осаждении алмазоподобной пленки / В.Е.Стрельницкий, А.И.Калиниченко, С.С.Перепелкин // Вісник Українського матеріалознавчого товариства. — 2009. — № 1(2). — С. 43-50. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.

У моделі нелокального термопружного піку описується процес формування механічних напруг у плівках, що осаджуються, при бомбардуванні іонами низької енергії. Отримано аналітичне вираження для напруг стиску, що є узагальненням відомої формули Девіса. Результати теорії застовуються для аналізу напруг у...