Формообразование плоских поверхностей оптоэлектронных элементов при алмазном полировании
На основе физико-статистической модели образования частиц шлама обрабатываемого материала при алмазном полировании проведен анализ производительности съема и точности геометрической формы плоских поверхностей оптоэлектронных элементов из кварца, нитрида алюминия и нитрида галлия. Определены наиболее...
Saved in:
| Published in: | Сверхтвердые материалы |
|---|---|
| Date: | 2017 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2017
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/160109 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Формообразование плоских поверхностей оптоэлектронных элементов при алмазном полировании / Ю.Д. Филатов, В.И. Сидорко, С.В. Ковалев, А.Г. Ветров // Сверхтвердые материалы. — 2017. — № 2. — С. 71-77. — Бібліогр.: 18 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-160109 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Филатов, Ю.Д. Сидорко, В.И. Ковалев, С.В. Ветров, А.Г. 2019-10-22T20:12:24Z 2019-10-22T20:12:24Z 2017 Формообразование плоских поверхностей оптоэлектронных элементов при алмазном полировании / Ю.Д. Филатов, В.И. Сидорко, С.В. Ковалев, А.Г. Ветров // Сверхтвердые материалы. — 2017. — № 2. — С. 71-77. — Бібліогр.: 18 назв. — рос. 0203-3119 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/160109 621.923 На основе физико-статистической модели образования частиц шлама обрабатываемого материала при алмазном полировании проведен анализ производительности съема и точности геометрической формы плоских поверхностей оптоэлектронных элементов из кварца, нитрида алюминия и нитрида галлия. Определены наиболее рациональные значения кинематических параметров настройки станка, при которых достигается требуемая точность формообразования. Приведены результаты экспериментальной проверки данных расчета производительности полирования и отклонения формы обработанных поверхностей. На основі фізико-статистичної моделі утворення частинок шламу оброблюваного матеріалу при алмазному поліруванні проведено аналіз продуктивності зняття та точності геометричної форми плоских поверхонь оптоелектронних елементів з кварцу, нітриду алюмінію і нітриду галію. Визначені найбільш доцільні значення кінематичних параметрів налагодження верстата, за яких досягається потрібна точність формоутворення. Наведено результати експериментальної перевірки даних розрахунку продуктивності полірування та відхилення форми оброблених поверхонь. On the basis of physical-statistical models of particle formation of sludge processed material with a diamond polishing the analysis of the performance of removal rate and accuracy of the geometric shape of flat surfaces of the optoelectronic elements of quartz, aluminium nitride and gallium nitride. Defined the most rational values of the kinematic settings of the machine, which achieves the required accuracy of forming. The results of experimental validation data the calculation of performance of polishing and form deviations of machined surfaces. ru Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України Сверхтвердые материалы Исследование процессов обработки Формообразование плоских поверхностей оптоэлектронных элементов при алмазном полировании Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Формообразование плоских поверхностей оптоэлектронных элементов при алмазном полировании |
| spellingShingle |
Формообразование плоских поверхностей оптоэлектронных элементов при алмазном полировании Филатов, Ю.Д. Сидорко, В.И. Ковалев, С.В. Ветров, А.Г. Исследование процессов обработки |
| title_short |
Формообразование плоских поверхностей оптоэлектронных элементов при алмазном полировании |
| title_full |
Формообразование плоских поверхностей оптоэлектронных элементов при алмазном полировании |
| title_fullStr |
Формообразование плоских поверхностей оптоэлектронных элементов при алмазном полировании |
| title_full_unstemmed |
Формообразование плоских поверхностей оптоэлектронных элементов при алмазном полировании |
| title_sort |
формообразование плоских поверхностей оптоэлектронных элементов при алмазном полировании |
| author |
Филатов, Ю.Д. Сидорко, В.И. Ковалев, С.В. Ветров, А.Г. |
| author_facet |
Филатов, Ю.Д. Сидорко, В.И. Ковалев, С.В. Ветров, А.Г. |
| topic |
Исследование процессов обработки |
| topic_facet |
Исследование процессов обработки |
| publishDate |
2017 |
| language |
Russian |
| container_title |
Сверхтвердые материалы |
| publisher |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України |
| format |
Article |
| description |
На основе физико-статистической модели образования частиц шлама обрабатываемого материала при алмазном полировании проведен анализ производительности съема и точности геометрической формы плоских поверхностей оптоэлектронных элементов из кварца, нитрида алюминия и нитрида галлия. Определены наиболее рациональные значения кинематических параметров настройки станка, при которых достигается требуемая точность формообразования. Приведены результаты экспериментальной проверки данных расчета производительности полирования и отклонения формы обработанных поверхностей.
На основі фізико-статистичної моделі утворення частинок шламу оброблюваного матеріалу при алмазному поліруванні проведено аналіз продуктивності зняття та точності геометричної форми плоских поверхонь оптоелектронних елементів з кварцу, нітриду алюмінію і нітриду галію. Визначені найбільш доцільні значення кінематичних параметрів налагодження верстата, за яких досягається потрібна точність формоутворення. Наведено результати експериментальної перевірки даних розрахунку продуктивності полірування та відхилення форми оброблених поверхонь.
On the basis of physical-statistical models of particle formation of sludge processed material with a diamond polishing the analysis of the performance of removal rate and accuracy of the geometric shape of flat surfaces of the optoelectronic elements of quartz, aluminium nitride and gallium nitride. Defined the most rational values of the kinematic settings of the machine, which achieves the required accuracy of forming. The results of experimental validation data the calculation of performance of polishing and form deviations of machined surfaces.
|
| issn |
0203-3119 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/160109 |
| citation_txt |
Формообразование плоских поверхностей оптоэлектронных элементов при алмазном полировании / Ю.Д. Филатов, В.И. Сидорко, С.В. Ковалев, А.Г. Ветров // Сверхтвердые материалы. — 2017. — № 2. — С. 71-77. — Бібліогр.: 18 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT filatovûd formoobrazovanieploskihpoverhnosteioptoélektronnyhélementovprialmaznompolirovanii AT sidorkovi formoobrazovanieploskihpoverhnosteioptoélektronnyhélementovprialmaznompolirovanii AT kovalevsv formoobrazovanieploskihpoverhnosteioptoélektronnyhélementovprialmaznompolirovanii AT vetrovag formoobrazovanieploskihpoverhnosteioptoélektronnyhélementovprialmaznompolirovanii |
| first_indexed |
2025-12-07T16:41:44Z |
| last_indexed |
2025-12-07T16:41:44Z |
| _version_ |
1850868450652585984 |