Формообразование плоских поверхностей оптоэлектронных элементов при алмазном полировании
На основе физико-статистической модели образования частиц шлама обрабатываемого материала при алмазном полировании проведен анализ производительности съема и точности геометрической формы плоских поверхностей оптоэлектронных элементов из кварца, нитрида алюминия и нитрида галлия. Определены наиболее...
Saved in:
| Published in: | Сверхтвердые материалы |
|---|---|
| Date: | 2017 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2017
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/160109 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Формообразование плоских поверхностей оптоэлектронных элементов при алмазном полировании / Ю.Д. Филатов, В.И. Сидорко, С.В. Ковалев, А.Г. Ветров // Сверхтвердые материалы. — 2017. — № 2. — С. 71-77. — Бібліогр.: 18 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1860010879496486912 |
|---|---|
| author | Филатов, Ю.Д. Сидорко, В.И. Ковалев, С.В. Ветров, А.Г. |
| author_facet | Филатов, Ю.Д. Сидорко, В.И. Ковалев, С.В. Ветров, А.Г. |
| citation_txt | Формообразование плоских поверхностей оптоэлектронных элементов при алмазном полировании / Ю.Д. Филатов, В.И. Сидорко, С.В. Ковалев, А.Г. Ветров // Сверхтвердые материалы. — 2017. — № 2. — С. 71-77. — Бібліогр.: 18 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Сверхтвердые материалы |
| description | На основе физико-статистической модели образования частиц шлама обрабатываемого материала при алмазном полировании проведен анализ производительности съема и точности геометрической формы плоских поверхностей оптоэлектронных элементов из кварца, нитрида алюминия и нитрида галлия. Определены наиболее рациональные значения кинематических параметров настройки станка, при которых достигается требуемая точность формообразования. Приведены результаты экспериментальной проверки данных расчета производительности полирования и отклонения формы обработанных поверхностей.
На основі фізико-статистичної моделі утворення частинок шламу оброблюваного матеріалу при алмазному поліруванні проведено аналіз продуктивності зняття та точності геометричної форми плоских поверхонь оптоелектронних елементів з кварцу, нітриду алюмінію і нітриду галію. Визначені найбільш доцільні значення кінематичних параметрів налагодження верстата, за яких досягається потрібна точність формоутворення. Наведено результати експериментальної перевірки даних розрахунку продуктивності полірування та відхилення форми оброблених поверхонь.
On the basis of physical-statistical models of particle formation of sludge processed material with a diamond polishing the analysis of the performance of removal rate and accuracy of the geometric shape of flat surfaces of the optoelectronic elements of quartz, aluminium nitride and gallium nitride. Defined the most rational values of the kinematic settings of the machine, which achieves the required accuracy of forming. The results of experimental validation data the calculation of performance of polishing and form deviations of machined surfaces.
|
| first_indexed | 2025-12-07T16:41:44Z |
| format | Article |
| fulltext |
ISSN 0203-3119. Сверхтвердые материалы, 2017, № 2 71
Исследование процессов обработки
УДК 621.923
Ю. Д. Филатов*, В. И. Сидорко, С. В. Ковалев,
А. Г. Ветров
Институт сверхтвердых материалов им. В. Н. Бакуля
НАН Украины, г. Киев, Украина
*filatov@ism.kiev.ua
Формообразование плоских поверхностей
оптоэлектронных элементов при алмазном
полировании
На основе физико-статистической модели образования частиц
шлама обрабатываемого материала при алмазном полировании проведен анализ
производительности съема и точности геометрической формы плоских поверх-
ностей оптоэлектронных элементов из кварца, нитрида алюминия и нитрида
галлия. Определены наиболее рациональные значения кинематических парамет-
ров настройки станка, при которых достигается требуемая точность формо-
образования. Приведены результаты экспериментальной проверки данных рас-
чета производительности полирования и отклонения формы обработанных
поверхностей.
Ключевые слова: алмазное полирование, производительность,
отклонение формы.
ВВЕДЕНИЕ
Повышение точности формообразования прецизионных по-
верхностей деталей электронной техники и оптических систем при алмазном
полировании достигается за счет управления кинематическими и режимными
параметрами процесса обработки, выбора функционально-ориентированных
конструкции притира и характеристик полировальной суспензии, моделиро-
вания процесса обработки и применения экспериментально-расчетных мето-
дов определения его показателей. До недавнего времени существующие мо-
дели процессов механической обработки, а также методики расчета интен-
сивности съема материала с обрабатываемой поверхности, износа инстру-
мента и эволюции их формы при механической обработке неметаллических
материалов базировались на уравнении износа Престона (Preston) [1–3] и
применялись при допущениях и ограничениях, правомерных лишь для опре-
деленных условий. В настоящее время для изучения закономерностей фор-
© Ю. Д. ФИЛАТОВ, В. И. СИДОРКО, С. В. КОВАЛЕВ, А. Г. ВЕТРОВ, 2017
www.ism.kiev.ua/stm 72
мообразования полированных поверхностей деталей из неметаллических
материалов, в частности элементов оптико-электронной техники из керамики
(нитрид алюминия AlN), оптических (кварц SiO2, сапфир Al2O3) и полупро-
водниковых (карбид кремния SiC, нитрид галлия GaN) кристаллов, широко
используется обобщенная модель съема обрабатываемого материала, осно-
ванная на кластерной модели износа [4] и физико-статистической модели [5,
6] образования и удаления с обрабатываемой поверхности частиц шлама.
Целью исследования является изучение влияния кинематических пара-
метров настройки станка на точность формообразования плоских поверхно-
стей оптоэлектронных элементов из керамики и полупроводниковых кри-
сталлов, а также определение их наиболее рациональных значений, при кото-
рых достигается требуемая точность геометрической формы полированных
поверхностей.
ЗАКОНОМЕРНОСТИ ФОРМООБРАЗОВАНИЯ ПЛОСКИХ
ПОВЕРХНОСТЕЙ ПРИ АЛМАЗНОМ ПОЛИРОВАНИИ
Интенсивность съема обрабатываемого материала в процессе полирования
суспензией полировального порошка в зависимости от радиуса ρ круговых
зон обрабатываемой поверхности определяется в соответствии с формулой
Q(ρ) = η(ρ) Lт,
где η(ρ) – коэффициент объемного износа [5]). Значения коэффициента η(ρ)
находятся методом компьютерного моделирования [7], исходя из параметров
процесса полирования и характеристик обрабатываемого материала и поли-
ровального порошка. Размеры d(i) и площадь Si поверхности i-й частицы
шлама, их количество N(i) на обрабатываемой поверхности, время tк =
2da/(ω1D1) контакта с поверхностью зерна полировального порошка, средний
размер da зерен полировального порошка, диаметр D1 и угловая скорость ω1
вращения блока деталей, диаметр D2 и угловая скорость ω2 вращения поли-
ровальника, коэффициент теплопроводности обрабатываемого материала λ,
температура в контактной зоне T, номинальное давление pa прижима полиро-
вальника к детали, площадь обрабатываемой поверхности S, средняя длина
Lт = 2πRэ пути трения элемента обрабатываемой поверхности по поверхности
полировальника, эффективный радиус Rэ = (S/π)1/2 блока деталей, скорость
u(ρ) относительного перемещения позволяют найти значения безразмерного
параметра
Sup
TL
)(
)(
a
т
ρ
λ=ρϑ и корни β(ρ,i) системы m трансцендентных урав-
нений
)(
)(
1
)),((
)),(exp(
aт
2
ρϑ=
ρβπ
ρβ−
SdL
SiNierf
i
i
,
а также рассчитать коэффициент объемного износа
= ρβ
=ρη
m
i ti
id
1 к
2
),(4
)(
)( [7].
Плоские поверхности элементов для оптики и микроэлектроники из квар-
ца, нитрида алюминия и нитрида галлия полировали при помощи суспензии
алмазного микропорошка АСМ 2/1 на шлифовально-полировальном станке
мод. 2ШП-200М при следующих режимных и кинематических параметрах:
частота вращения оловянного полировальника диаметром 100 мм –
90 об/мин, усилие прижима блока деталей диаметром 60 мм к полировальни-
ISSN 0203-3119. Сверхтвердые материалы, 2017, № 2 73
ку – 50,5 Н, средняя температура в зоне контакта – 300 K, смещение штриха –
30 мм, длина L ∈ [10, 40] и несимметрия e0 ∈ [30, 50] штриха, время цикла
полирования t = 1 ч. Съем обрабатываемого материала измеряли весовым
методом. Неплоскостность поверхности детали, обработанной в описанных
условиях, измеряли при помощи оптиметра мод. ИКВ-3.
Кристаллы кварца (число элементов на блоке – 4, плотность – 2,65 г/см3,
энергия связи – 5,29 эВ, твердость по Моосу – 7, коэффициент теплопровод-
ности – 10,7 Вт/(м·К), статическая диэлектрическая проницаемость – 4,34,
постоянные решетки a = 0,4913 нм и c = 0,5404 нм, частоты собственных
колебаний молекулярных фрагментов SiО2 – 440, 605, 800 и 1060 см–1 [8, 9])
характеризовались константой Лифшица (12 мэВ), средним значением без-
размерного параметра ϑ ≈ 28 и величиной наиболее вероятного значения
размеров частиц шлама 3,4 нм. Образцы керамики на основе AlN (число эле-
ментов на блоке – 2, плотность – 3,26 г/см3, энергия связи – 6,2 эВ, твердость
по Моосу – 7,5, коэффициент теплопроводности – 200 Вт/(м·К), статическая
диэлектрическая проницаемость – 8,5, постоянные решетки a = 0,3112 нм и
c = 0,4982 нм, частоты собственных колебаний молекулярных фрагментов
AlN – 248,6, 611,0, 657,4, 670,8, 890,0 и 912,0 см–1 [10, 11]) характеризовались
константой Лифшица (9,4 мэВ), средним значением безразмерного параметра
ϑ ≈ 590 и величиной наиболее вероятного значения размеров частиц шлама
2,3 нм. Монокристаллы нитрида галлия GaN (число элементов на блоке – 7,
плотность – 6,15 г/см3, энергия связи – 5,4 эВ, твердость по Моосу – 6, коэф-
фициент теплопроводности – 130 Вт/(м·К), статическая диэлектрическая про-
ницаемость – 9,5, постоянные решетки a = 0,3189 нм и c = 0,5185 нм, частоты
собственных колебаний молекулярных фрагментов GaN – 144,0, 531,8, 558,8,
567,6, 734,0 и 741,0 см–1 [8, 10–13]) характеризовались константой Лифшица
(17,0 мэВ), средним значением безразмерного параметра ϑ ≈ 214 и величиной
наиболее вероятного значения размеров частиц шлама 2,4 нм [14–18].
С учетом того, что скорость относительного перемещения u(ρ) элементар-
ного участка обрабатываемой поверхности, усредненная по координатным
переменным: радиусу круговых зон инструмента ],[ ρ+ρ−∈ llr и расстоя-
нию между центрами полировальника и детали ]2/,2/[ 00 LeLel +−∈ , вы-
ражается формулой
drlrdl
L
u
L
e
L
e
l
l
+
−
ρ+
ρ−
ωω+ρω−ωω−ω
ρ
=ρ
2
2
2
21
2
1
2
212
0
0
))((
2
1
)( ,
рассчитаны значения коэффициентов объемного износа в зависимости от
радиуса круговых зон ρ и показано их незначительное увеличение при пере-
ходе от центральной зоны к периферийной (таблица). На рис. 1 приведены
зависимости интенсивности съема обрабатываемого материала Q(ρ), харак-
терные для полирования кварца, нитридной керамики на основе AlN и полу-
проводниковых кристаллов GaN. При любых значениях кинематических па-
раметров настройки станка по длине и несимметрии штриха в крайних зонах
обрабатываемой поверхности величина съема больше, чем в центральных,
т. е. форма обработанной поверхности – выпуклая (“бугор”), а отклонение от
плоскостности определяется величиной t
S
QDQ )0()2/( 1 =ρ−=δ .
www.ism.kiev.ua/stm 74
Результаты расчета интенсивности съема обрабатываемого
материала и экспериментального определения
их производительности полирования
Обрабатываемый материал Показатель
SiO2 AlN GaN
Площадь обрабатываемой поверхности
S, см2
20,5 26,0 8,1
Коэффициент заполнения блока деталей
K = 4S/πD1
2
0,72 0,92 0,29
Коэффициент объемного износа,
η·1011, м2/с
1,83–1,86 1,32–1,34 2,60–2,66
Интенсивность съема материала
в центральной круговой зоне, м3/с
2,9·10–12 2,4·10–12 2,6·10–12
Экспериментальные значения
производительности съема,
мг/мин
мкм/ч
м3/с
0,4
4,8
2,7·10–12
0,4
3,1
2,2·10–12
1,0
12,0
2,7·10–12
Погрешность расчета, % 8 8 3
0 10 20
2,4
2,6
2,8
Q(ρ)·1012, м3/с
1
2
3
ρ, мм
Рис. 1. Зависимость производительности полирования обрабатываемых материалов от
радиуса круговых зон детали: SiO2 (1), GaN (2), AlN (3).
В результате моделирования процесса формообразования плоских преци-
зионных поверхностей и исследования влияния кинематических параметров
настройки станка (длины L и несимметрии e0 штриха) на производительность
полирования и точность формы обработанных поверхностей оптоэлектрон-
ных элементов установлено, что величина объема удаленного материала дос-
тигает максимального значения при увеличении несимметрии e0 и длины L
штриха, а форма обрабатываемой поверхности остается выпуклой при произ-
вольных настройках по кинематическим параметрам. На рис. 2 приведены
линейно убывающие зависимости максимального и минимального отклоне-
ния от плоскостности обработанных поверхностей от коэффициента заполне-
ния блока деталей при полировании нитрида галлия, кварца и нитрида алю-
миния, из которых следует, что чем больше площадь обрабатываемой по-
ISSN 0203-3119. Сверхтвердые материалы, 2017, № 2 75
верхности по отношению к размерам блока, тем выше точность формообра-
зования элементов.
0,2 0,4 0,6 0,8
0,2
0,4
2
1
K
δ, мкм
Рис. 2. Зависимость максимального (1) и минимального (2) отклонения от плоскостности
обработанной поверхности от коэффициента заполнения блока деталей при полировании
нитрида галлия (�), кварца (�) и нитрида алюминия (�).
При увеличении параметра e0 наблюдается уменьшение отклонения от
плоскостности обрабатываемой поверхности при любых L. На рис. 3 пред-
ставлена зависимость неплоскостности элементов из нитрида галлия, кварца
и нитрида алюминия от несимметрии штриха при L = 10 мм: const0 )( =δ=δ Le .
30 35 40 45 e
0
, мм
0,1
0,4
δ, мкм
1
2
3
Рис. 3. Зависимость отклонения от плоскостности обработанной поверхности от несим-
метрии штриха (L = 10 мм): GaN (1), SiO2 (2), AlN (3).
Зависимость отклонения от плоскостности обрабатываемой поверхности
от длины штриха const0
)( =δ=δ eL – монотонно-возрастающая и лежит в пре-
делах 0,05–0,20 мкм/ч (рис. 4).
Отклонение от плоскостности обработанных поверхностей оптоэлектрон-
ных элементов из нитрида галлия, кварца и нитрида алюминия при различ-
ном заполнении блока деталей при кинематических параметрах e0 = 30–
50 мм, L = 10–50 мм характеризуется значением δ ≈ 0,2 мкм. При этом сред-
нее значение производительности съема обрабатываемого материала состав-
ляет, мкм/ч: 4,8 – для кварца, 3,1 – для нитрида алюминия, 12,0 – для нитрида
www.ism.kiev.ua/stm 76
галлия, что позволяет выполнять операцию механического полирования оп-
тоэлектронных элементов в течение длительного времени при величине от-
клонения от плоскостности, не превышающей 0,25 мкм.
10 20 30 40 L, мм
0
0,1
0,2
δ, мкм
1
2
3
Рис. 4. Зависимость отклонения от плоскостности обработанной поверхности от длины
штриха (e0 = 40 мм): GaN (1), SiO2 (2), AlN (3).
При этом достигается точность формы приблизительно N = 1 (интерфе-
ренционных колец), соответствующая требованиям, предъявляемым к опти-
ческим поверхностям высокой и средней точности.
ВЫВОДЫ
Исследованы закономерности образования формы обрабатываемой пло-
ской поверхности прецизионных оптоэлектронных элементов из кварца, нит-
ридной керамики на основе AlN и полупроводниковых кристаллов GaN при
алмазном полировании по традиционной технологии. На основе физико-
статистической модели образования и удаления частиц шлама, расчета отно-
сительной скорости перемещения, усредненной по несимметрии e0 и длине L
штриха, получены координатные зависимости величины съема обрабатывае-
мого материала, характеризующие эволюцию формы полированной поверх-
ности и величину отклонения от плоскостности. Результаты исследования
влияния кинематических параметров настройки по несимметрии и длине
штриха на точность геометрической формы обрабатываемой поверхности
позволили определить их наиболее рациональные значения, при которых
достигается требуемая точность формообразования плоских прецизионных
поверхностей элементов из SiO2, AlN и GaN при алмазном полировании. Ре-
зультаты теоретического анализа формы поверхностей оптоэлектронных
элементов подтверждены экспериментальными данными.
На основі фізико-статистичної моделі утворення частинок шламу об-
роблюваного матеріалу при алмазному поліруванні проведено аналіз продуктивності
зняття та точності геометричної форми плоских поверхонь оптоелектронних елементів
з кварцу, нітриду алюмінію і нітриду галію. Визначені найбільш доцільні значення кінема-
тичних параметрів налагодження верстата, за яких досягається потрібна точність
формоутворення. Наведено результати експериментальної перевірки даних розрахунку
продуктивності полірування та відхилення форми оброблених поверхонь.
Ключові слова: алмазне полірування, продуктивність, відхилення фор-
ми.
ISSN 0203-3119. Сверхтвердые материалы, 2017, № 2 77
On the basis of physical-statistical models of particle formation of sludge
processed material with a diamond polishing the analysis of the performance of removal rate
and accuracy of the geometric shape of flat surfaces of the optoelectronic elements of quartz,
aluminium nitride and gallium nitride. Defined the most rational values of the kinematic settings
of the machine, which achieves the required accuracy of forming. The results of experimental
validation data the calculation of performance of polishing and form deviations of machined
surfaces.
Keywords: diamond polishing, performance, form deviation.
1. Fahnle O. W., Wons T., Koch E. et al. ITIRM as a tool for qualifying polishing processes //
Appl. Optics. – 2002. – 41, N 19/1. – P. 4036–4038.
2. Ouma D. O., Boning D. S., Chung J. E. et al. Characterization and modeling of oxide chemi-
cal-mechanical polishing using planarization length and pattern density concepts // IEEE
Transactions on Semiconductor Manufacturing. – 2002. – 15, N 2. – P. 232–243.
3. Vukkadala P., Turner K. T., Sinha J. K. Impact of wafer geometry on CMP for advanced
nodes // J. Electrochem. Soc. – 2011. – 158, N 10. – P. 1002–1009.
4. Filatov Yu. D., Filatov O. Yu., Monteil G. et al. Bound-abrasive grinding and polishing of
surfaces of optical materials // Optical Eng. – 2011. – 50, N 6, art. 063401.
5. Филатов Ю. Д., Сидорко В. И. Статистический подход к износу поверхностей деталей
из неметаллических материалов при полировании / Сверхтв. материалы. – 2005. – № 1.
– С. 58–66.
6. Filatov Yu., Sidorko V., Formation of flat optical surfaces in polishing // Jemna Mechanika a
Optika. – 2009. – N 9. – P. 239–243.
7. Филатов А. Ю., Сидорко В. И., Ковалев С. В. и др. Производительность полирования
анизотропных монокристаллических материалов для оптоэлектроники // Сверхтв. ма-
териалы. – 2016. – № 2. – С. 65–76.
8. Galashev A. Y. Computer study of the Raman spectra and infrared optical properties of gallium
nitride and gallium arsenic nanoparticles with SiO2 core and shell // J. Nanopart. Res. – 2014.
– N 16. – P. 2351–2368.
9. Crystal quartz // Almaz Optics, Inc. (Quartz, crystal quartz, crystalline quartz). –
http://www.almazoptics.com/Quartz.htm
10. Properties of the III-nitride semiconductors // The semiconductors-information. –
http://www.semiconductors.co.uk/nitrides.htm
11. Davydov V. Yu., Kitaev Yu. E., Goncharuk I. N. et al. Phonon dispersion and Raman scatter-
ing in hexagonal GaN and AlN // Phys. Rev. B. – 1998. – 58, N 19. – P. 12899–12907.
12. Harima H. Properties of GaN and related compounds studied by means of Raman scattering
// J. Phys.: Condens. Matter. – 2002. – 14. – P. 967–993.
13. Куэй Р. Электроника на основе нитрида галлия. – М.: Техносфера, 2011. – 592 с.
14. Филатов А. Ю., Ветров А. Г., Сидорко В. И. и др. Закономерности финишной алмазно-
абразивной обработки монокристаллического карбида кремния // Сверхтв. материалы. –
2013. – № 5. – С. 63–71.
15. Филатов Ю. Д., Ветров А. Г., Сидорко В. И. и др. Полирование элементов оптико-
электронной техники из монокристаллического карбида кремния // Там же. – 2015. –
№ 1. – С. 63–74.
16. Filatov Yu. D., Filatov O. Yu., Monteil G. et al. Bound-abrasive grinding and polishing of
surfaces of optical materials // Proc. SPIE. – 2010. – 7786, art. 778613.
17. Филатов Ю. Д., Рогов В. В. Кластерная модель механизма усталостного износа SiO2-
содержащих материалов при их полировании инструментом со связанным поли-
ровальным порошком на основе диоксида церия. Часть 1 // Сверхтв. материалы. – 1994.
– № 3. – С. 40–43.
18. Филатов Ю. Д. Механизм образования микрорельефа поверхности при обработке
стекла // Там же. – 1991. – № 5. – С. 61–65.
Поступила 12.04.16
<<
/ASCII85EncodePages false
/AllowTransparency false
/AutoPositionEPSFiles true
/AutoRotatePages /None
/Binding /Left
/CalGrayProfile (Dot Gain 20%)
/CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2)
/sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CannotEmbedFontPolicy /Warning
/CompatibilityLevel 1.4
/CompressObjects /Off
/CompressPages true
/ConvertImagesToIndexed true
/PassThroughJPEGImages true
/CreateJobTicket false
/DefaultRenderingIntent /Default
/DetectBlends true
/DetectCurves 0.1000
/ColorConversionStrategy /LeaveColorUnchanged
/DoThumbnails true
/EmbedAllFonts true
/EmbedOpenType false
/ParseICCProfilesInComments true
/EmbedJobOptions true
/DSCReportingLevel 0
/EmitDSCWarnings false
/EndPage -1
/ImageMemory 1048576
/LockDistillerParams true
/MaxSubsetPct 100
/Optimize false
/OPM 1
/ParseDSCComments true
/ParseDSCCommentsForDocInfo true
/PreserveCopyPage true
/PreserveDICMYKValues true
/PreserveEPSInfo true
/PreserveFlatness true
/PreserveHalftoneInfo false
/PreserveOPIComments false
/PreserveOverprintSettings true
/StartPage 1
/SubsetFonts true
/TransferFunctionInfo /Remove
/UCRandBGInfo /Preserve
/UsePrologue false
/ColorSettingsFile ()
/AlwaysEmbed [ true
]
/NeverEmbed [ true
]
/AntiAliasColorImages false
/CropColorImages true
/ColorImageMinResolution 300
/ColorImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleColorImages false
/ColorImageDownsampleType /Bicubic
/ColorImageResolution 300
/ColorImageDepth 8
/ColorImageMinDownsampleDepth 1
/ColorImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeColorImages true
/ColorImageFilter /FlateEncode
/AutoFilterColorImages false
/ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG
/ColorACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/ColorImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000ColorACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000ColorImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasGrayImages false
/CropGrayImages true
/GrayImageMinResolution 300
/GrayImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleGrayImages false
/GrayImageDownsampleType /Bicubic
/GrayImageResolution 300
/GrayImageDepth 8
/GrayImageMinDownsampleDepth 2
/GrayImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeGrayImages true
/GrayImageFilter /FlateEncode
/AutoFilterGrayImages false
/GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG
/GrayACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/GrayImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000GrayACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000GrayImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasMonoImages false
/CropMonoImages true
/MonoImageMinResolution 1200
/MonoImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleMonoImages false
/MonoImageDownsampleType /Bicubic
/MonoImageResolution 1200
/MonoImageDepth -1
/MonoImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeMonoImages true
/MonoImageFilter /CCITTFaxEncode
/MonoImageDict <<
/K -1
>>
/AllowPSXObjects false
/CheckCompliance [
/None
]
/PDFX1aCheck false
/PDFX3Check false
/PDFXCompliantPDFOnly false
/PDFXNoTrimBoxError true
/PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXSetBleedBoxToMediaBox true
/PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXOutputIntentProfile (None)
/PDFXOutputConditionIdentifier ()
/PDFXOutputCondition ()
/PDFXRegistryName ()
/PDFXTrapped /False
/CreateJDFFile false
/Description <<
/CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000500044004600206587686353ef901a8fc7684c976262535370673a548c002000700072006f006f00660065007200208fdb884c9ad88d2891cf62535370300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002>
/CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef653ef5728684c9762537088686a5f548c002000700072006f006f00660065007200204e0a73725f979ad854c18cea7684521753706548679c300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002>
/DAN <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>
/DEU <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>
/ESP <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>
/FRA <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>
/ITA <FEFF005500740069006c0069007a007a006100720065002000710075006500730074006500200069006d0070006f007300740061007a0069006f006e00690020007000650072002000630072006500610072006500200064006f00630075006d0065006e00740069002000410064006f006200650020005000440046002000700065007200200075006e00610020007300740061006d007000610020006400690020007100750061006c0069007400e00020007300750020007300740061006d00700061006e0074006900200065002000700072006f006f0066006500720020006400650073006b0074006f0070002e0020004900200064006f00630075006d0065006e007400690020005000440046002000630072006500610074006900200070006f00730073006f006e006f0020006500730073006500720065002000610070006500720074006900200063006f006e0020004100630072006f00620061007400200065002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000200065002000760065007200730069006f006e006900200073007500630063006500730073006900760065002e>
/JPN <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>
/KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020b370c2a4d06cd0d10020d504b9b0d1300020bc0f0020ad50c815ae30c5d0c11c0020ace0d488c9c8b85c0020c778c1c4d560002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e>
/NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken voor kwaliteitsafdrukken op desktopprinters en proofers. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.)
/NOR <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>
/PTB <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>
/SUO <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>
/SVE <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>
/ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents for quality printing on desktop printers and proofers. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.)
/RUS ()
>>
/Namespace [
(Adobe)
(Common)
(1.0)
]
/OtherNamespaces [
<<
/AsReaderSpreads false
/CropImagesToFrames true
/ErrorControl /WarnAndContinue
/FlattenerIgnoreSpreadOverrides false
/IncludeGuidesGrids false
/IncludeNonPrinting false
/IncludeSlug false
/Namespace [
(Adobe)
(InDesign)
(4.0)
]
/OmitPlacedBitmaps false
/OmitPlacedEPS false
/OmitPlacedPDF false
/SimulateOverprint /Legacy
>>
<<
/AddBleedMarks false
/AddColorBars false
/AddCropMarks false
/AddPageInfo false
/AddRegMarks false
/ConvertColors /NoConversion
/DestinationProfileName ()
/DestinationProfileSelector /NA
/Downsample16BitImages true
/FlattenerPreset <<
/PresetSelector /MediumResolution
>>
/FormElements false
/GenerateStructure true
/IncludeBookmarks false
/IncludeHyperlinks false
/IncludeInteractive false
/IncludeLayers false
/IncludeProfiles true
/MultimediaHandling /UseObjectSettings
/Namespace [
(Adobe)
(CreativeSuite)
(2.0)
]
/PDFXOutputIntentProfileSelector /NA
/PreserveEditing true
/UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged
/UntaggedRGBHandling /LeaveUntagged
/UseDocumentBleed false
>>
]
>> setdistillerparams
<<
/HWResolution [2400 2400]
/PageSize [612.000 792.000]
>> setpagedevice
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-160109 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 0203-3119 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T16:41:44Z |
| publishDate | 2017 |
| publisher | Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Филатов, Ю.Д. Сидорко, В.И. Ковалев, С.В. Ветров, А.Г. 2019-10-22T20:12:24Z 2019-10-22T20:12:24Z 2017 Формообразование плоских поверхностей оптоэлектронных элементов при алмазном полировании / Ю.Д. Филатов, В.И. Сидорко, С.В. Ковалев, А.Г. Ветров // Сверхтвердые материалы. — 2017. — № 2. — С. 71-77. — Бібліогр.: 18 назв. — рос. 0203-3119 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/160109 621.923 На основе физико-статистической модели образования частиц шлама обрабатываемого материала при алмазном полировании проведен анализ производительности съема и точности геометрической формы плоских поверхностей оптоэлектронных элементов из кварца, нитрида алюминия и нитрида галлия. Определены наиболее рациональные значения кинематических параметров настройки станка, при которых достигается требуемая точность формообразования. Приведены результаты экспериментальной проверки данных расчета производительности полирования и отклонения формы обработанных поверхностей. На основі фізико-статистичної моделі утворення частинок шламу оброблюваного матеріалу при алмазному поліруванні проведено аналіз продуктивності зняття та точності геометричної форми плоских поверхонь оптоелектронних елементів з кварцу, нітриду алюмінію і нітриду галію. Визначені найбільш доцільні значення кінематичних параметрів налагодження верстата, за яких досягається потрібна точність формоутворення. Наведено результати експериментальної перевірки даних розрахунку продуктивності полірування та відхилення форми оброблених поверхонь. On the basis of physical-statistical models of particle formation of sludge processed material with a diamond polishing the analysis of the performance of removal rate and accuracy of the geometric shape of flat surfaces of the optoelectronic elements of quartz, aluminium nitride and gallium nitride. Defined the most rational values of the kinematic settings of the machine, which achieves the required accuracy of forming. The results of experimental validation data the calculation of performance of polishing and form deviations of machined surfaces. ru Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України Сверхтвердые материалы Исследование процессов обработки Формообразование плоских поверхностей оптоэлектронных элементов при алмазном полировании Article published earlier |
| spellingShingle | Формообразование плоских поверхностей оптоэлектронных элементов при алмазном полировании Филатов, Ю.Д. Сидорко, В.И. Ковалев, С.В. Ветров, А.Г. Исследование процессов обработки |
| title | Формообразование плоских поверхностей оптоэлектронных элементов при алмазном полировании |
| title_full | Формообразование плоских поверхностей оптоэлектронных элементов при алмазном полировании |
| title_fullStr | Формообразование плоских поверхностей оптоэлектронных элементов при алмазном полировании |
| title_full_unstemmed | Формообразование плоских поверхностей оптоэлектронных элементов при алмазном полировании |
| title_short | Формообразование плоских поверхностей оптоэлектронных элементов при алмазном полировании |
| title_sort | формообразование плоских поверхностей оптоэлектронных элементов при алмазном полировании |
| topic | Исследование процессов обработки |
| topic_facet | Исследование процессов обработки |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/160109 |
| work_keys_str_mv | AT filatovûd formoobrazovanieploskihpoverhnosteioptoélektronnyhélementovprialmaznompolirovanii AT sidorkovi formoobrazovanieploskihpoverhnosteioptoélektronnyhélementovprialmaznompolirovanii AT kovalevsv formoobrazovanieploskihpoverhnosteioptoélektronnyhélementovprialmaznompolirovanii AT vetrovag formoobrazovanieploskihpoverhnosteioptoélektronnyhélementovprialmaznompolirovanii |