Формообразование плоских поверхностей оптоэлектронных элементов при алмазном полировании
На основе физико-статистической модели образования частиц шлама обрабатываемого материала при алмазном полировании проведен анализ производительности съема и точности геометрической формы плоских поверхностей оптоэлектронных элементов из кварца, нитрида алюминия и нитрида галлия. Определены наиболее...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Сверхтвердые материалы |
|---|---|
| Дата: | 2017 |
| Автори: | Филатов, Ю.Д., Сидорко, В.И., Ковалев, С.В., Ветров, А.Г. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2017
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/160109 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Формообразование плоских поверхностей оптоэлектронных элементов при алмазном полировании / Ю.Д. Филатов, В.И. Сидорко, С.В. Ковалев, А.Г. Ветров // Сверхтвердые материалы. — 2017. — № 2. — С. 71-77. — Бібліогр.: 18 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Шероховатость поверхностей оптоэлектронных элементов при механическом полировании
за авторством: Филатов, Ю.Д.
Опубліковано: (2018)
за авторством: Филатов, Ю.Д.
Опубліковано: (2018)
Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов
за авторством: Филатов, Ю.Д.
Опубліковано: (2018)
за авторством: Филатов, Ю.Д.
Опубліковано: (2018)
Шероховатость полированных поверхностей оптико-электронных элементов из монокристаллических материалов
за авторством: Филатов, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Филатов, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2016)
Формообразование прецизионных плоских оптических поверхностей при полировании
за авторством: Филатов, Ю.Д.
Опубліковано: (2007)
за авторством: Филатов, Ю.Д.
Опубліковано: (2007)
Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2017)
Шероховатость поверхностей при финишной алмазно-абразивной обработке
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2009)
Контроль качества поверхностей неметаллических деталей при финишной алмазно-абразивной обработке
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2008)
Производительность полирования анизотропных монокристаллических материалов для оптоэлектроники
за авторством: Филатов, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Филатов, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2016)
Закономерности финишной алмазно-абразивной обработки монокристаллического карбида кремния
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2013)
Точность формообразования плоских поверхностей деталей оптики и микроэлектроники при полировании
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2016)
Полирование прецизионных поверхностей деталей из неметаллических материалов инструментом со связанным полировальным порошком
за авторством: Филатов, Ю.Д.
Опубліковано: (2008)
за авторством: Филатов, Ю.Д.
Опубліковано: (2008)
Корреляционная модель акустической эмиссии при тонком алмазном точении
за авторством: Девин, Л.Н., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Девин, Л.Н., та інші
Опубліковано: (2017)
Влияние рассеяния частиц износа инструмента в контактной зоне на формирование микропрофиля обработанной поверхности при полировании кварца
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2010)
Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2015)
Физико-химия в процессах формирования функциональных поверхностей деталей электронной техники и оптических систем из стекла и сапфира (α-Al₂O₃) при трибохимическом полировании
за авторством: Рогов, В.В.
Опубліковано: (2009)
за авторством: Рогов, В.В.
Опубліковано: (2009)
Оценка шероховатости и отражательной способности поверхностей изделий из природного камня при финишной алмазно-абразивной обработке
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2009)
Алмазное полирование кристаллических материалов для оптоэлектроники
за авторством: Филатов, Ю.Д.
Опубліковано: (2017)
за авторством: Филатов, Ю.Д.
Опубліковано: (2017)
Определение составляющих силы резания при глубинном шлифовании поверхностей вращения ориентированным эльборовым кругом
за авторством: Кальченко, В.И., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Кальченко, В.И., та інші
Опубліковано: (2012)
Исследование состояния поверхностей деталей из сапфира (α-Al2O3) после их финишной обработки
за авторством: Рогов, В.В., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Рогов, В.В., та інші
Опубліковано: (2008)
Влияние содержания оксида кремния в природных камнях на их прочностные свойства, производительность алмазного шлифования и потребляемую мощность
за авторством: Сидорко, В.И., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Сидорко, В.И., та інші
Опубліковано: (2008)
Исследование возможностей эффективного использования минеральных зернистых концентратов в качестве опорных элементов в рабочем слое алмазных кругов
за авторством: Лавриненко, В.И., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Лавриненко, В.И., та інші
Опубліковано: (2012)
Полирование плоских прецизионных поверхностей элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2014)
Підвищення ефективності фінішної обробки виробів з природного каменю інструментом із алмазно-полімерного волокна
за авторством: Курілович, В.Д., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Курілович, В.Д., та інші
Опубліковано: (2014)
Особенности процесса резания на первом и последнем обороте детали при входе и выходе резца
за авторством: Девин, Л.Н., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Девин, Л.Н., та інші
Опубліковано: (2010)
Коэффициент абразивного резания как характеристика, отражающая эксплуатационные показатели процесса шлифования кругами из сверхтвердых материалов
за авторством: Лавриненко, В.И.
Опубліковано: (2016)
за авторством: Лавриненко, В.И.
Опубліковано: (2016)
Шлифование зубчатых колес тарельчатыми кругами из СТМ
за авторством: Рябченко, С.В.
Опубліковано: (2014)
за авторством: Рябченко, С.В.
Опубліковано: (2014)
Исследование изменений силы резания при точении силуминов резцами с круглыми алмазно-твердосплавными пластинами
за авторством: Стахнив, Н.Е., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Стахнив, Н.Е., та інші
Опубліковано: (2010)
Вплив плазмової обробки на зміну елементного складу поверхні робочого шару твердосплавного інструменту, її шорсткості та зносостійкості
за авторством: Лавріненко, В.І., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Лавріненко, В.І., та інші
Опубліковано: (2010)
Экспериментальное исследование влияния инструментального материала и режимов тонкого точения на уровень сигналов акустической эмиссии
за авторством: Девин, Л.Н., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Девин, Л.Н., та інші
Опубліковано: (2016)
О возможности оценки качества поверхностного слоя термопластичных полимерных материалов методом покоящейся капли
за авторством: Титаренко, О.В., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Титаренко, О.В., та інші
Опубліковано: (2010)
Исследование возможностей улучшения эксплуатационных свойств алмазных порошков марки АС20 при изменении их размерных и физико-химических характеристик
за авторством: Лавриненко, В.И., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Лавриненко, В.И., та інші
Опубліковано: (2018)
Исследования трещиностойкости и механизмов разрушения инструментальных твердых сплавов после плазменного поверхностного модифицирования
за авторством: Самотугин, С.С., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Самотугин, С.С., та інші
Опубліковано: (2013)
Термоэлектрические явления в процессах обработки и исследование их функционирования при шлифовании кругами из СТМ
за авторством: Лавриненко, В.И., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Лавриненко, В.И., та інші
Опубліковано: (2015)
Исследование влияния фазового состава режущих пластин из нанокомпозита алмаз–карбид вольфрама на процесс чистового точения сплавов алюминия и латуни
за авторством: Стахнив, Н.Е., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Стахнив, Н.Е., та інші
Опубліковано: (2018)
Динамические явления при чистовом точении закаленных сталей инструментом из композита на основе КНБ
за авторством: Стахнив, Н.Е., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Стахнив, Н.Е., та інші
Опубліковано: (2009)
Повышение окружной скорости детали как способ улучшения эргономики круглого встречного шлифования инструментами из кубического нитрида бора
за авторством: Пташников, В.С.
Опубліковано: (2009)
за авторством: Пташников, В.С.
Опубліковано: (2009)
Temperatures during the dry cutting of titanium alloy using diamond composites with ceramic bonding phases
за авторством: Jaworska, L., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Jaworska, L., та інші
Опубліковано: (2017)
Окислення або оксидні матеріали в зоні обробки кругами з НТМ як чинник впливу на показники процесу шліфування
за авторством: Лавріненко, В.І., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Лавріненко, В.І., та інші
Опубліковано: (2016)
Разрезание заготовок из поликристаллических сверхтвердых материалов струйными методами
за авторством: Саленко, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Саленко, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2016)
Characterization of tool wear when machining Alloy 718 with high pressure cooling using conventional and surface-modified WC–Co tools
за авторством: Hoier, P., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Hoier, P., та інші
Опубліковано: (2017)
Схожі ресурси
-
Шероховатость поверхностей оптоэлектронных элементов при механическом полировании
за авторством: Филатов, Ю.Д.
Опубліковано: (2018) -
Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов
за авторством: Филатов, Ю.Д.
Опубліковано: (2018) -
Шероховатость полированных поверхностей оптико-электронных элементов из монокристаллических материалов
за авторством: Филатов, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2016) -
Формообразование прецизионных плоских оптических поверхностей при полировании
за авторством: Филатов, Ю.Д.
Опубліковано: (2007) -
Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2017)