Формообразование плоских поверхностей оптоэлектронных элементов при алмазном полировании

• Published in: Сверхтвердые материалы
• Date: 2017
• Main Authors: Филатов, Ю.Д., Сидорко, В.И., Ковалев, С.В., Ветров, А.Г.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2017
• Subjects: Исследование процессов обработки
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/160109
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Формообразование плоских поверхностей оптоэлектронных элементов при алмазном полировании / Ю.Д. Филатов, В.И. Сидорко, С.В. Ковалев, А.Г. Ветров // Сверхтвердые материалы. — 2017. — № 2. — С. 71-77. — Бібліогр.: 18 назв. — рос.

На основе физико-статистической модели образования частиц шлама обрабатываемого материала при алмазном полировании проведен анализ производительности съема и точности геометрической формы плоских поверхностей оптоэлектронных элементов из кварца, нитрида алюминия и нитрида галлия. Определены наиболее...