Влияние высокотемпературного отжига на структуру и механические свойства вакуумно-дуговых покрытий из Мо/(Ti + 6 % (по массе) Si)N
Методами растровой электронной микроскопии с энергодисперсионным элементным микроанализом, рентгеноструктурного анализа и микроиндентирования исследовано влияние условий осаждения в реактивной азотной атмосфере на морфологию роста, фазовый состав, структуру и микротвердость вакуумно-дуговых многосло...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Сверхтвердые материалы |
|---|---|
| Datum: | 2017 |
| Hauptverfasser: | , , , , , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2017
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/160117 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Влияние высокотемпературного отжига на структуру и механические свойства вакуумно-дуговых покрытий из Мо/(Ti + 6 % (по массе) Si)N / В.М. Береснев, С.А. Клименко, О.В. Соболь, С.В. Литовченко, А.Д. Погребняк, П.А. Сребнюк, Д.А. Колесников, А.А. Мейлехов, А.А. Постельник, У.С. Немченко // Сверхтвердые материалы. — 2017. — № 3. — С. 32-38. — Бібліогр.: 23 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-160117 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Береснев, В.М. Клименко, С.А. Соболь, О.В. Литовченко, С.В. Погребняк, А.Д. Сребнюк, П.А. Колесников, Д.А. Мейлехов, А.А. Постельник, А.А. Немченко, У.С. 2019-10-23T18:00:17Z 2019-10-23T18:00:17Z 2017 Влияние высокотемпературного отжига на структуру и механические свойства вакуумно-дуговых покрытий из Мо/(Ti + 6 % (по массе) Si)N / В.М. Береснев, С.А. Клименко, О.В. Соболь, С.В. Литовченко, А.Д. Погребняк, П.А. Сребнюк, Д.А. Колесников, А.А. Мейлехов, А.А. Постельник, У.С. Немченко // Сверхтвердые материалы. — 2017. — № 3. — С. 32-38. — Бібліогр.: 23 назв. — рос. 0203-3119 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/160117 669.295.539.121.537.534 Методами растровой электронной микроскопии с энергодисперсионным элементным микроанализом, рентгеноструктурного анализа и микроиндентирования исследовано влияние условий осаждения в реактивной азотной атмосфере на морфологию роста, фазовый состав, структуру и микротвердость вакуумно-дуговых многослойных покрытий, полученных испарением катодов из Mo и Ti + 6 % (по массе) Si как после их осаждения, так и после высокотемпературного отжига. Установлено, что использование составного катода из Ti и Si позволяет формироваться структурному состоянию, склонному к упорядочению, с образованием при высокотемпературном отжиге двухфазного соединения из TiN и Ti₅Si₃. Твердость покрытия при этом повышается до значения больше 45 ГПа. Методами растрової електронної мікроскопії з енергодісперсійним елементним мікроаналізом, рентгеноструктурного аналізу и мікроіндентування досліджено вплив умов осадження в реактивної азотної атмосфері на морфологію росту, фазовий склад, структуру и мікротвердість вакуумно-дугових багатошарових покриттів, отриманий випарюванням катодів из Mo і Ti + 6 % (за масою) Si як після їх осадженя, так й після високотемпературна відпалу. Встановлено, що використання складного катода з Ti і Si дозволяє формуватися структурному стану, схильному до впорядкування, при високотемпературному відпалі з утворенням двофазної сполуки з TiN і Ti₅Si₃. Твердість покриття при цьому підвищується до значення більше 45 ГПа. By scanning electron microscopy with energy dispersive elemental microanalysis, X-ray analysis and microindentation investigated the influence of the deposition conditions in a reactive nitrogen atmosphere, the growth morphology, phase composition, structure and microhardness of vacuum-arc multilayer coatings obtained by evaporation of Mo and Ti + 6 wt % Si cathode as after deposition and after high temperature annealing. It was found that the use of a composite cathode containing Ti and Si allows forming structural state inclined to ordering to form during high-temperature annealing of the two-phase state of the TiN and Ti₅Si₃ phases. Hardness it increases to a value of > 45 GPa. ru Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України Сверхтвердые материалы Получение, структура, свойства Влияние высокотемпературного отжига на структуру и механические свойства вакуумно-дуговых покрытий из Мо/(Ti + 6 % (по массе) Si)N Influence of the high-temperature annealing on the structure and mechanical properties of vacuum–arc coatings from Mo/(Ti + 6 wt % Si)N Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Влияние высокотемпературного отжига на структуру и механические свойства вакуумно-дуговых покрытий из Мо/(Ti + 6 % (по массе) Si)N |
| spellingShingle |
Влияние высокотемпературного отжига на структуру и механические свойства вакуумно-дуговых покрытий из Мо/(Ti + 6 % (по массе) Si)N Береснев, В.М. Клименко, С.А. Соболь, О.В. Литовченко, С.В. Погребняк, А.Д. Сребнюк, П.А. Колесников, Д.А. Мейлехов, А.А. Постельник, А.А. Немченко, У.С. Получение, структура, свойства |
| title_short |
Влияние высокотемпературного отжига на структуру и механические свойства вакуумно-дуговых покрытий из Мо/(Ti + 6 % (по массе) Si)N |
| title_full |
Влияние высокотемпературного отжига на структуру и механические свойства вакуумно-дуговых покрытий из Мо/(Ti + 6 % (по массе) Si)N |
| title_fullStr |
Влияние высокотемпературного отжига на структуру и механические свойства вакуумно-дуговых покрытий из Мо/(Ti + 6 % (по массе) Si)N |
| title_full_unstemmed |
Влияние высокотемпературного отжига на структуру и механические свойства вакуумно-дуговых покрытий из Мо/(Ti + 6 % (по массе) Si)N |
| title_sort |
влияние высокотемпературного отжига на структуру и механические свойства вакуумно-дуговых покрытий из мо/(ti + 6 % (по массе) si)n |
| author |
Береснев, В.М. Клименко, С.А. Соболь, О.В. Литовченко, С.В. Погребняк, А.Д. Сребнюк, П.А. Колесников, Д.А. Мейлехов, А.А. Постельник, А.А. Немченко, У.С. |
| author_facet |
Береснев, В.М. Клименко, С.А. Соболь, О.В. Литовченко, С.В. Погребняк, А.Д. Сребнюк, П.А. Колесников, Д.А. Мейлехов, А.А. Постельник, А.А. Немченко, У.С. |
| topic |
Получение, структура, свойства |
| topic_facet |
Получение, структура, свойства |
| publishDate |
2017 |
| language |
Russian |
| container_title |
Сверхтвердые материалы |
| publisher |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Influence of the high-temperature annealing on the structure and mechanical properties of vacuum–arc coatings from Mo/(Ti + 6 wt % Si)N |
| description |
Методами растровой электронной микроскопии с энергодисперсионным элементным микроанализом, рентгеноструктурного анализа и микроиндентирования исследовано влияние условий осаждения в реактивной азотной атмосфере на морфологию роста, фазовый состав, структуру и микротвердость вакуумно-дуговых многослойных покрытий, полученных испарением катодов из Mo и Ti + 6 % (по массе) Si как после их осаждения, так и после высокотемпературного отжига. Установлено, что использование составного катода из Ti и Si позволяет формироваться структурному состоянию, склонному к упорядочению, с образованием при высокотемпературном отжиге двухфазного соединения из TiN и Ti₅Si₃. Твердость покрытия при этом повышается до значения больше 45 ГПа.
Методами растрової електронної мікроскопії з енергодісперсійним елементним мікроаналізом, рентгеноструктурного аналізу и мікроіндентування досліджено вплив умов осадження в реактивної азотної атмосфері на морфологію росту, фазовий склад, структуру и мікротвердість вакуумно-дугових багатошарових покриттів, отриманий випарюванням катодів из Mo і Ti + 6 % (за масою) Si як після їх осадженя, так й після високотемпературна відпалу. Встановлено, що використання складного катода з Ti і Si дозволяє формуватися структурному стану, схильному до впорядкування, при високотемпературному відпалі з утворенням двофазної сполуки з TiN і Ti₅Si₃. Твердість покриття при цьому підвищується до значення більше 45 ГПа.
By scanning electron microscopy with energy dispersive elemental microanalysis, X-ray analysis and microindentation investigated the influence of the deposition conditions in a reactive nitrogen atmosphere, the growth morphology, phase composition, structure and microhardness of vacuum-arc multilayer coatings obtained by evaporation of Mo and Ti + 6 wt % Si cathode as after deposition and after high temperature annealing. It was found that the use of a composite cathode containing Ti and Si allows forming structural state inclined to ordering to form during high-temperature annealing of the two-phase state of the TiN and Ti₅Si₃ phases. Hardness it increases to a value of > 45 GPa.
|
| issn |
0203-3119 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/160117 |
| citation_txt |
Влияние высокотемпературного отжига на структуру и механические свойства вакуумно-дуговых покрытий из Мо/(Ti + 6 % (по массе) Si)N / В.М. Береснев, С.А. Клименко, О.В. Соболь, С.В. Литовченко, А.Д. Погребняк, П.А. Сребнюк, Д.А. Колесников, А.А. Мейлехов, А.А. Постельник, У.С. Немченко // Сверхтвердые материалы. — 2017. — № 3. — С. 32-38. — Бібліогр.: 23 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT beresnevvm vliânievysokotemperaturnogootžiganastrukturuimehaničeskiesvoistvavakuumnodugovyhpokrytiiizmoti6pomassesin AT klimenkosa vliânievysokotemperaturnogootžiganastrukturuimehaničeskiesvoistvavakuumnodugovyhpokrytiiizmoti6pomassesin AT sobolʹov vliânievysokotemperaturnogootžiganastrukturuimehaničeskiesvoistvavakuumnodugovyhpokrytiiizmoti6pomassesin AT litovčenkosv vliânievysokotemperaturnogootžiganastrukturuimehaničeskiesvoistvavakuumnodugovyhpokrytiiizmoti6pomassesin AT pogrebnâkad vliânievysokotemperaturnogootžiganastrukturuimehaničeskiesvoistvavakuumnodugovyhpokrytiiizmoti6pomassesin AT srebnûkpa vliânievysokotemperaturnogootžiganastrukturuimehaničeskiesvoistvavakuumnodugovyhpokrytiiizmoti6pomassesin AT kolesnikovda vliânievysokotemperaturnogootžiganastrukturuimehaničeskiesvoistvavakuumnodugovyhpokrytiiizmoti6pomassesin AT meilehovaa vliânievysokotemperaturnogootžiganastrukturuimehaničeskiesvoistvavakuumnodugovyhpokrytiiizmoti6pomassesin AT postelʹnikaa vliânievysokotemperaturnogootžiganastrukturuimehaničeskiesvoistvavakuumnodugovyhpokrytiiizmoti6pomassesin AT nemčenkous vliânievysokotemperaturnogootžiganastrukturuimehaničeskiesvoistvavakuumnodugovyhpokrytiiizmoti6pomassesin AT beresnevvm influenceofthehightemperatureannealingonthestructureandmechanicalpropertiesofvacuumarccoatingsfrommoti6wtsin AT klimenkosa influenceofthehightemperatureannealingonthestructureandmechanicalpropertiesofvacuumarccoatingsfrommoti6wtsin AT sobolʹov influenceofthehightemperatureannealingonthestructureandmechanicalpropertiesofvacuumarccoatingsfrommoti6wtsin AT litovčenkosv influenceofthehightemperatureannealingonthestructureandmechanicalpropertiesofvacuumarccoatingsfrommoti6wtsin AT pogrebnâkad influenceofthehightemperatureannealingonthestructureandmechanicalpropertiesofvacuumarccoatingsfrommoti6wtsin AT srebnûkpa influenceofthehightemperatureannealingonthestructureandmechanicalpropertiesofvacuumarccoatingsfrommoti6wtsin AT kolesnikovda influenceofthehightemperatureannealingonthestructureandmechanicalpropertiesofvacuumarccoatingsfrommoti6wtsin AT meilehovaa influenceofthehightemperatureannealingonthestructureandmechanicalpropertiesofvacuumarccoatingsfrommoti6wtsin AT postelʹnikaa influenceofthehightemperatureannealingonthestructureandmechanicalpropertiesofvacuumarccoatingsfrommoti6wtsin AT nemčenkous influenceofthehightemperatureannealingonthestructureandmechanicalpropertiesofvacuumarccoatingsfrommoti6wtsin |
| first_indexed |
2025-12-07T15:55:38Z |
| last_indexed |
2025-12-07T15:55:38Z |
| _version_ |
1850865549918076928 |