Филатов, Ю., Сидорко, В., Ковалев, С., Филатов, А., & Монтей, Г. (2017). Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники. Сверхтвердые материалы.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Филатов, Ю.Д, В.И Сидорко, С.В Ковалев, А.Ю Филатов, und Г Монтей. "Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники." Сверхтвердые материалы 2017.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Филатов, Ю.Д, et al. "Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники." Сверхтвердые материалы, 2017.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.