APA (7th ed.) Citation

Филатов, Ю., Сидорко, В., Ковалев, С., Филатов, А., & Монтей, Г. (2017). Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники. Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Филатов, Ю.Д, В.И Сидорко, С.В Ковалев, А.Ю Филатов, and Г Монтей. Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники. Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України, 2017.

MLA (8th ed.) Citation

Филатов, Ю.Д, et al. Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники. Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України, 2017.