Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники
Показана возможность in-process мониторинга формы поверхностей оптических деталей непосредственно в процессе полирования с использованием технологии конфокальной хроматической визуализации. Установлено, что существует линейная зависимость между отклонением формы сигнала от прямоугольной и изменением...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Сверхтвердые материалы |
|---|---|
| Дата: | 2017 |
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2017
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/160147 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники / Ю.Д. Филатов, В.И. Сидорко, С.В. Ковалев, А.Ю. Филатов, Г. Монтей // Сверхтвердые материалы. — 2017. — № 4. — С. 80-87. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862550357592244224 |
|---|---|
| author | Филатов, Ю.Д. Сидорко, В.И. Ковалев, С.В. Филатов, А.Ю. Монтей, Г. |
| author_facet | Филатов, Ю.Д. Сидорко, В.И. Ковалев, С.В. Филатов, А.Ю. Монтей, Г. |
| citation_txt | Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники / Ю.Д. Филатов, В.И. Сидорко, С.В. Ковалев, А.Ю. Филатов, Г. Монтей // Сверхтвердые материалы. — 2017. — № 4. — С. 80-87. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Сверхтвердые материалы |
| description | Показана возможность in-process мониторинга формы поверхностей оптических деталей непосредственно в процессе полирования с использованием технологии конфокальной хроматической визуализации. Установлено, что существует линейная зависимость между отклонением формы сигнала от прямоугольной и изменением формы обрабатываемой поверхности.
Показано можливість in-process моніторингу форми поверхонь оптичних деталей безпосередньо в процесі полірування з використанням технології конфокальної хроматичної візуалізації. Встановлено, що існує лінійна залежність між відхиленням форми сигналу від прямокутної та зміною форми оброблюваної поверхні.
The possibility of in-process monitoring form surfaces of optical components directly in the process of polishing using a chromatic confocal imaging technology. It is found that a linear relationship exists between the deviation of form signal from the rectangular waveform and change of shape the machined surface.
|
| first_indexed | 2025-11-25T20:44:35Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-160147 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 0203-3119 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-25T20:44:35Z |
| publishDate | 2017 |
| publisher | Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Филатов, Ю.Д. Сидорко, В.И. Ковалев, С.В. Филатов, А.Ю. Монтей, Г. 2019-10-24T17:22:51Z 2019-10-24T17:22:51Z 2017 Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники / Ю.Д. Филатов, В.И. Сидорко, С.В. Ковалев, А.Ю. Филатов, Г. Монтей // Сверхтвердые материалы. — 2017. — № 4. — С. 80-87. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. 0203-3119 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/160147 621.923 Показана возможность in-process мониторинга формы поверхностей оптических деталей непосредственно в процессе полирования с использованием технологии конфокальной хроматической визуализации. Установлено, что существует линейная зависимость между отклонением формы сигнала от прямоугольной и изменением формы обрабатываемой поверхности. Показано можливість in-process моніторингу форми поверхонь оптичних деталей безпосередньо в процесі полірування з використанням технології конфокальної хроматичної візуалізації. Встановлено, що існує лінійна залежність між відхиленням форми сигналу від прямокутної та зміною форми оброблюваної поверхні. The possibility of in-process monitoring form surfaces of optical components directly in the process of polishing using a chromatic confocal imaging technology. It is found that a linear relationship exists between the deviation of form signal from the rectangular waveform and change of shape the machined surface. ru Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України Сверхтвердые материалы Исследование процессов обработки Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники In-process monitoring of shape accuracy of flat surfaces of optical and microelectronic components in polishing Article published earlier |
| spellingShingle | Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники Филатов, Ю.Д. Сидорко, В.И. Ковалев, С.В. Филатов, А.Ю. Монтей, Г. Исследование процессов обработки |
| title | Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники |
| title_alt | In-process monitoring of shape accuracy of flat surfaces of optical and microelectronic components in polishing |
| title_full | Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники |
| title_fullStr | Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники |
| title_full_unstemmed | Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники |
| title_short | Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники |
| title_sort | мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники |
| topic | Исследование процессов обработки |
| topic_facet | Исследование процессов обработки |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/160147 |
| work_keys_str_mv | AT filatovûd monitoringtočnostiformyploskihpoverhnosteivprocessepolirovaniâdetaleioptikiimikroélektroniki AT sidorkovi monitoringtočnostiformyploskihpoverhnosteivprocessepolirovaniâdetaleioptikiimikroélektroniki AT kovalevsv monitoringtočnostiformyploskihpoverhnosteivprocessepolirovaniâdetaleioptikiimikroélektroniki AT filatovaû monitoringtočnostiformyploskihpoverhnosteivprocessepolirovaniâdetaleioptikiimikroélektroniki AT monteig monitoringtočnostiformyploskihpoverhnosteivprocessepolirovaniâdetaleioptikiimikroélektroniki AT filatovûd inprocessmonitoringofshapeaccuracyofflatsurfacesofopticalandmicroelectroniccomponentsinpolishing AT sidorkovi inprocessmonitoringofshapeaccuracyofflatsurfacesofopticalandmicroelectroniccomponentsinpolishing AT kovalevsv inprocessmonitoringofshapeaccuracyofflatsurfacesofopticalandmicroelectroniccomponentsinpolishing AT filatovaû inprocessmonitoringofshapeaccuracyofflatsurfacesofopticalandmicroelectroniccomponentsinpolishing AT monteig inprocessmonitoringofshapeaccuracyofflatsurfacesofopticalandmicroelectroniccomponentsinpolishing |