Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники

• Published in: Сверхтвердые материалы
• Date: 2017
• Main Authors: Филатов, Ю.Д., Сидорко, В.И., Ковалев, С.В., Филатов, А.Ю., Монтей, Г.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2017
• Subjects: Исследование процессов обработки
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/160147
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники / Ю.Д. Филатов, В.И. Сидорко, С.В. Ковалев, А.Ю. Филатов, Г. Монтей // Сверхтвердые материалы. — 2017. — № 4. — С. 80-87. — Бібліогр.: 17 назв. — рос.

Показана возможность in-process мониторинга формы поверхностей оптических деталей непосредственно в процессе полирования с использованием технологии конфокальной хроматической визуализации. Установлено, что существует линейная зависимость между отклонением формы сигнала от прямоугольной и изменением...