Buchumschlag

Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники

Показана возможность in-process мониторинга формы поверхностей оптических деталей непосредственно в процессе полирования с использованием технологии конфокальной хроматической визуализации. Установлено, что существует линейная зависимость между отклонением формы сигнала от прямоугольной и изменением...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Сверхтвердые материалы
Datum:	2017
Hauptverfasser:	Филатов, Ю.Д., Сидорко, В.И., Ковалев, С.В., Филатов, А.Ю., Монтей, Г.
Format:	Artikel
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2017
Schlagworte:	Исследование процессов обработки
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/160147
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники / Ю.Д. Филатов, В.И. Сидорко, С.В. Ковалев, А.Ю. Филатов, Г. Монтей // Сверхтвердые материалы. — 2017. — № 4. — С. 80-87. — Бібліогр.: 17 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Точность формообразования плоских поверхностей деталей оптики и микроэлектроники при полировании
von: Филатов, Ю.Д., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Алмазное полирование плоских поверхностей деталей оптических систем и электронной техники из кварца
von: Филатов, А.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Производительность полирования анизотропных монокристаллических материалов для оптоэлектроники
von: Филатов, А.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Формообразование плоских поверхностей оптоэлектронных элементов при алмазном полировании
von: Филатов, Ю.Д., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Полирование прецизионных поверхностей деталей из неметаллических материалов инструментом со связанным полировальным порошком
von: Филатов, Ю.Д.
Veröffentlicht: (2008)

Контроль качества поверхностей неметаллических деталей при финишной алмазно-абразивной обработке
von: Филатов, Ю.Д., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Шероховатость поверхностей при финишной алмазно-абразивной обработке
von: Филатов, Ю.Д., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Шероховатость полированных поверхностей оптико-электронных элементов из монокристаллических материалов
von: Филатов, А.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Шероховатость поверхностей оптоэлектронных элементов при механическом полировании
von: Филатов, Ю.Д.
Veröffentlicht: (2018)

Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
von: Белянин, А.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
von: Belyanin, A. F., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Состояние полированных поверхностей изделий из природного и синтетического камня
von: Сидорко, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Полирование прецизионных поверхностей сапфировых элементов оптоэлектроники
von: Филатов, Ю.Д., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Особенности течения на плоских разрезных ребрах теплоотводящих поверхностей
von: Письменный, Е.Н., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Мировые тенденции развития микроэлектроники и место Республики Беларусь в этом процессе
von: Belous, A. I., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Мировые тенденции развития микроэлектроники и место Республики Беларусь в этом процессе
von: Белоус, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2012)

ПОЛІРУВАННЯ ПЛОСКИХ ПОВЕРХОНЬ ДЕТАЛЕЙ ОПТОТЕХНІКИ З МІДІ І АЛЮМІНІЮ
von: Філатов, Юрій, et al.
Veröffentlicht: (2025)

Расчет формы плоских суперкаверн при гармонических возмущениях
von: Семененко, В.Н.
Veröffentlicht: (2000)

Оценка точности в процессе юстировки матрицы идентификации
von: Воронов, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Собственные формы и частоты плоских колебаний закрепленного упругого кольца
von: Закржевский, А.Е., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Очистка и активация свариваемых поверхностей в процессе сварки взрывом
von: Первухин, Л.Б., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Закономерности финишной алмазно-абразивной обработки монокристаллического карбида кремния
von: Филатов, Ю.Д., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Взаимодействие частиц износа инструмента с частицами шлама в зоне контакта при полировании кварца
von: Филатов, Ю.Д., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Моделювання процесів релаксаційної оптики
von: Трохимчук, П., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов
von: Филатов, Ю.Д.
Veröffentlicht: (2018)

Алмазное полирование кристаллических материалов для оптоэлектроники
von: Филатов, Ю.Д.
Veröffentlicht: (2017)

Исследование оптики телескопа Цейс-600
von: Витриченко, Э.А., et al.
Veröffentlicht: (1991)

Влияние рассеяния частиц износа инструмента в контактной зоне на формирование микропрофиля обработанной поверхности при полировании кварца
von: Филатов, Ю.Д., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Обеспечение размерной точности формообразующих поверхностей литейной оснастки, изготовленной с помощью технологий быстрого прототипирования (Rapid pRototyping)
von: Тринева, Т.Л.
Veröffentlicht: (2009)

Исследование состояния поверхностей деталей из сапфира (α-Al2O3) после их финишной обработки
von: Рогов, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Датчики ускорений на базе микромеханики и микроэлектроники
von: Голуб, В.С.
Veröffentlicht: (2001)

Современное сборочное оборудование для микроэлектроники из Беларуси
Veröffentlicht: (1998)

Программа развития конкурентоспособных направлений микроэлектроники в Украине
von: Падалко, В.Г., et al.
Veröffentlicht: (1999)

Исследование оптики 60-см телескопа Цейса
von: Витриченко, Э.А.
Veröffentlicht: (1988)

Особенности криталлизационного рафинирования в процессе выращивания плоских монокристаллов тугоплавких металлов при плазменно-индукционной плавке
von: Шаповалов, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Проблемы и задачи развития технологий микроэлектроники в Украине
von: Перевертайло, В.Л.
Veröffentlicht: (2007)

Проблемы и задачи развития технологий микроэлектроники в Украине
von: Перевертайло, В.Л.
Veröffentlicht: (2006)

Усовершенствованный метод выявления «горячих точек» в изделиях микроэлектроники
von: Popov, V. M., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Комплексный подход к получению высокочистых материалов для микроэлектроники
von: Ажажа, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Усовершенствованный метод выявления «горячих точек» в изделиях микроэлектроники
von: Попов, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2008)