Зображення обкладинки

Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники

Показана возможность in-process мониторинга формы поверхностей оптических деталей непосредственно в процессе полирования с использованием технологии конфокальной хроматической визуализации. Установлено, что существует линейная зависимость между отклонением формы сигнала от прямоугольной и изменением...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Сверхтвердые материалы
Дата:	2017
Автори:	Филатов, Ю.Д., Сидорко, В.И., Ковалев, С.В., Филатов, А.Ю., Монтей, Г.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2017
Теми:	Исследование процессов обработки
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/160147
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники / Ю.Д. Филатов, В.И. Сидорко, С.В. Ковалев, А.Ю. Филатов, Г. Монтей // Сверхтвердые материалы. — 2017. — № 4. — С. 80-87. — Бібліогр.: 17 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Точность формообразования плоских поверхностей деталей оптики и микроэлектроники при полировании
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2016)

Алмазное полирование плоских поверхностей деталей оптических систем и электронной техники из кварца
за авторством: Филатов, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2013)

Производительность полирования анизотропных монокристаллических материалов для оптоэлектроники
за авторством: Филатов, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2016)

Формообразование плоских поверхностей оптоэлектронных элементов при алмазном полировании
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2017)

Полирование прецизионных поверхностей деталей из неметаллических материалов инструментом со связанным полировальным порошком
за авторством: Филатов, Ю.Д.
Опубліковано: (2008)

Контроль качества поверхностей неметаллических деталей при финишной алмазно-абразивной обработке
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2008)

Шероховатость поверхностей при финишной алмазно-абразивной обработке
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2009)

Шероховатость полированных поверхностей оптико-электронных элементов из монокристаллических материалов
за авторством: Филатов, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2016)

Шероховатость поверхностей оптоэлектронных элементов при механическом полировании
за авторством: Филатов, Ю.Д.
Опубліковано: (2018)

Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
за авторством: Белянин, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2006)

Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
за авторством: Belyanin, A. F., та інші
Опубліковано: (2006)

Состояние полированных поверхностей изделий из природного и синтетического камня
за авторством: Сидорко, В.И., та інші
Опубліковано: (2006)

Полирование прецизионных поверхностей сапфировых элементов оптоэлектроники
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2015)

Особенности течения на плоских разрезных ребрах теплоотводящих поверхностей
за авторством: Письменный, Е.Н., та інші
Опубліковано: (2007)

Мировые тенденции развития микроэлектроники и место Республики Беларусь в этом процессе
за авторством: Belous, A. I., та інші
Опубліковано: (2012)

Мировые тенденции развития микроэлектроники и место Республики Беларусь в этом процессе
за авторством: Белоус, А.И., та інші
Опубліковано: (2012)

ПОЛІРУВАННЯ ПЛОСКИХ ПОВЕРХОНЬ ДЕТАЛЕЙ ОПТОТЕХНІКИ З МІДІ І АЛЮМІНІЮ
за авторством: Філатов, Юрій, та інші
Опубліковано: (2025)

Расчет формы плоских суперкаверн при гармонических возмущениях
за авторством: Семененко, В.Н.
Опубліковано: (2000)

Оценка точности в процессе юстировки матрицы идентификации
за авторством: Воронов, В.А., та інші
Опубліковано: (2015)

Собственные формы и частоты плоских колебаний закрепленного упругого кольца
за авторством: Закржевский, А.Е., та інші
Опубліковано: (2010)

Очистка и активация свариваемых поверхностей в процессе сварки взрывом
за авторством: Первухин, Л.Б., та інші
Опубліковано: (2010)

Закономерности финишной алмазно-абразивной обработки монокристаллического карбида кремния
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2013)

Взаимодействие частиц износа инструмента с частицами шлама в зоне контакта при полировании кварца
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2010)

Моделювання процесів релаксаційної оптики
за авторством: Трохимчук, П., та інші
Опубліковано: (2011)

Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов
за авторством: Филатов, Ю.Д.
Опубліковано: (2018)

Алмазное полирование кристаллических материалов для оптоэлектроники
за авторством: Филатов, Ю.Д.
Опубліковано: (2017)

Исследование оптики телескопа Цейс-600
за авторством: Витриченко, Э.А., та інші
Опубліковано: (1991)

Влияние рассеяния частиц износа инструмента в контактной зоне на формирование микропрофиля обработанной поверхности при полировании кварца
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2010)

Обеспечение размерной точности формообразующих поверхностей литейной оснастки, изготовленной с помощью технологий быстрого прототипирования (Rapid pRototyping)
за авторством: Тринева, Т.Л.
Опубліковано: (2009)

Исследование состояния поверхностей деталей из сапфира (α-Al2O3) после их финишной обработки
за авторством: Рогов, В.В., та інші
Опубліковано: (2008)

Датчики ускорений на базе микромеханики и микроэлектроники
за авторством: Голуб, В.С.
Опубліковано: (2001)

Современное сборочное оборудование для микроэлектроники из Беларуси
Опубліковано: (1998)

Программа развития конкурентоспособных направлений микроэлектроники в Украине
за авторством: Падалко, В.Г., та інші
Опубліковано: (1999)

Исследование оптики 60-см телескопа Цейса
за авторством: Витриченко, Э.А.
Опубліковано: (1988)

Особенности криталлизационного рафинирования в процессе выращивания плоских монокристаллов тугоплавких металлов при плазменно-индукционной плавке
за авторством: Шаповалов, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Проблемы и задачи развития технологий микроэлектроники в Украине
за авторством: Перевертайло, В.Л.
Опубліковано: (2007)

Проблемы и задачи развития технологий микроэлектроники в Украине
за авторством: Перевертайло, В.Л.
Опубліковано: (2006)

Усовершенствованный метод выявления «горячих точек» в изделиях микроэлектроники
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2008)

Комплексный подход к получению высокочистых материалов для микроэлектроники
за авторством: Ажажа, В.М., та інші
Опубліковано: (2002)

Усовершенствованный метод выявления «горячих точек» в изделиях микроэлектроники
за авторством: Попов, В.М., та інші
Опубліковано: (2008)