Морфология поверхности и тонкая структура толстых углеродных пленок, полученных электронно-лучевым испарением углерода
Приведены результаты исследования морфологии поверхности и тонкой структуры толстых (25…50 мкм) пленок углерода, полученных из паровой фазы с использованием электронно-лучевой технологии испарения графита и последующей конденсации в вакууме. Исследованы структуры углеродных пленок в широком интервал...
Saved in:
| Published in: | Современная электрометаллургия |
|---|---|
| Date: | 2017 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України
2017
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/160334 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Морфология поверхности и тонкая структура толстых углеродных пленок, полученных электронно-лучевым испарением углерода / Ю.А. Курапов, Л.А. Крушинская, В.В. Борецкий // Современная электрометаллургия. — 2017. — № 2 (127). — С. 53-58. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |