Шероховатость поверхностей оптоэлектронных элементов при механическом полировании

• Datum: 2018
• 1. Verfasser: Филатов, Ю.Д.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2018
• Schriftenreihe: Сверхтвердые материалы
• Schlagworte: Исследование процессов обработки
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/160596
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Шероховатость поверхностей оптоэлектронных элементов при механическом полировании / Ю.Д. Филатов // Сверхтвердые материалы. — 2018. — № 1. — С. 68-76. — Бібліогр.: 32 назв. — рос.

В результате исследований закономерностей механического полирования оптоэлектронных элементов из кристаллических материалов установлено, что параметры шероховатости обработанных поверхностей линейно возрастают при увеличении наиболее вероятных значений размеров и площади поверхности частиц шлама, об...