Nano periodic structure forma-tion in 4H–SiC crystal using femtosecond laser double-pulses

• Опубліковано в: : Сверхтвердые материалы
• Дата: 2018
• Автори: Kim, E., Shimotsuma, Y., Sakakura, M., Miura, K.
• Формат: Стаття
• Мова: English
• Опубліковано: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2018
• Теми: Получение, структура, свойства
• Онлайн доступ: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/167103
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Nano periodic structure forma-tion in 4H–SiC crystal using femtosecond laser double-pulses / E. Kim, Y. Shimotsuma, M. Sakakura, K. Miura // Сверхтвердые материалы. — 2018. — № 4. — С. 41-50. — Бібліогр.: 35 назв. — англ.

The photo-induced periodic nano structure inside 4H–SiC have been induced by a femtosecond double pulse train. The alignment of the periodic structure is in the direction independently from crystal orientation. In particular, FE-SEM analysis revealed that the periodic structure on the fractured surface can be classified into two categories of the polarization-dependent and polarization-independent. Фотоіндукована періодична наноструктура всередині 4H–SiC була індукована фемтосекундним подвійним імпульсом. Вирівнювання періодичної структури відбувалося в напрямку, незалежному від орієнтації кристала. Зокрема, аналіз FE-SEM показав, що періодичну структуру на тріщинуватій поверхні можна розділити на дві категорії: поляризаційно-залежної та незалежної від поляризації. Фотоиндуцированная периодическая наноструктура внутри 4H–SiC была индуцированна фемтосекундным двойным импульсом. Выравнивание периодической структуры происходило в направлении, независимом от ориентации кристалла. В частности, анализ FE-SEM показал, что периодическую структуру на трещиноватой поверхности можно разделить на две категории: поляризационно-зависимой и независимой от поляризации.