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Nano periodic structure forma-tion in 4H–SiC crystal using femtosecond laser double-pulses

The photo-induced periodic nano structure inside 4H–SiC have been induced by a femtosecond double pulse train. The alignment of the periodic structure is in the direction independently from crystal orientation. In particular, FE-SEM analysis revealed that the periodic structure on the fractured surf...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Сверхтвердые материалы
Datum:	2018
Hauptverfasser:	Kim, E., Shimotsuma, Y., Sakakura, M., Miura, K.
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2018
Schlagworte:	Получение, структура, свойства
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/167103
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Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Nano periodic structure forma-tion in 4H–SiC crystal using femtosecond laser double-pulses / E. Kim, Y. Shimotsuma, M. Sakakura, K. Miura // Сверхтвердые материалы. — 2018. — № 4. — С. 41-50. — Бібліогр.: 35 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

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