Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов
В результате анализа взаимодействия частиц шлама и износа полировального порошка показано, что рассеяние частиц происходит на углы 136,8°–173,2°, а эффективное дифференциальное сечение рассеяния составляет 0,4–1,8 Тб. Траектории движения частиц представляют собой кольца, расположенные у обрабатываем...
Saved in:
| Published in: | Сверхтвердые материалы |
|---|---|
| Date: | 2018 |
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2018
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/167106 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов / Ю.Д. Филатов // Сверхтвердые материалы. — 2018. — № 4. — С. 71-81. — Бібліогр.: 18 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862635976190328832 |
|---|---|
| author | Филатов, Ю.Д. |
| author_facet | Филатов, Ю.Д. |
| citation_txt | Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов / Ю.Д. Филатов // Сверхтвердые материалы. — 2018. — № 4. — С. 71-81. — Бібліогр.: 18 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Сверхтвердые материалы |
| description | В результате анализа взаимодействия частиц шлама и износа полировального порошка показано, что рассеяние частиц происходит на углы 136,8°–173,2°, а эффективное дифференциальное сечение рассеяния составляет 0,4–1,8 Тб. Траектории движения частиц представляют собой кольца, расположенные у обрабатываемой поверхности в зоне, толщина которой приблизительно равна среднему радиусу зерна полировального порошка.
В результаті аналізу взаємодії частинок шламу та зносу полірувального порошку показано, що розсіювання частинок відбувається на кути 136,8°–173,2°, а ефективний диференційний переріз розсіювання складає 0,4–1,8 Тб. Траєкторії руху частинок являють собою кільця, розташовані поблизу оброблюваної поверхні у зоні, товщина якої приблизно дорівнює середньому радіусу зерна полірувального порошку.
The analysis of interaction between debris particles and polishing powder wear particles has demonstrated that the scattering of particles occurs through angles of 136.8° to 173.2°, and the effective differential scattering cross-section is 0.4 to 1.8 Tb. The trajectories of particles are rings located near the the workpiece surface within a zone whose thickness approximates the mean grain radius of the polishing powder.
|
| first_indexed | 2025-11-30T19:30:32Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-167106 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 0203-3119 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-30T19:30:32Z |
| publishDate | 2018 |
| publisher | Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Филатов, Ю.Д. 2020-03-15T19:22:28Z 2020-03-15T19:22:28Z 2018 Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов / Ю.Д. Филатов // Сверхтвердые материалы. — 2018. — № 4. — С. 71-81. — Бібліогр.: 18 назв. — рос. 0203-3119 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/167106 621.923.7-492.2:621.38 В результате анализа взаимодействия частиц шлама и износа полировального порошка показано, что рассеяние частиц происходит на углы 136,8°–173,2°, а эффективное дифференциальное сечение рассеяния составляет 0,4–1,8 Тб. Траектории движения частиц представляют собой кольца, расположенные у обрабатываемой поверхности в зоне, толщина которой приблизительно равна среднему радиусу зерна полировального порошка. В результаті аналізу взаємодії частинок шламу та зносу полірувального порошку показано, що розсіювання частинок відбувається на кути 136,8°–173,2°, а ефективний диференційний переріз розсіювання складає 0,4–1,8 Тб. Траєкторії руху частинок являють собою кільця, розташовані поблизу оброблюваної поверхні у зоні, товщина якої приблизно дорівнює середньому радіусу зерна полірувального порошку. The analysis of interaction between debris particles and polishing powder wear particles has demonstrated that the scattering of particles occurs through angles of 136.8° to 173.2°, and the effective differential scattering cross-section is 0.4 to 1.8 Tb. The trajectories of particles are rings located near the the workpiece surface within a zone whose thickness approximates the mean grain radius of the polishing powder. ru Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України Сверхтвердые материалы Исследование процессов обработки Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов Article published earlier |
| spellingShingle | Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов Филатов, Ю.Д. Исследование процессов обработки |
| title | Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов |
| title_full | Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов |
| title_fullStr | Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов |
| title_full_unstemmed | Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов |
| title_short | Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов |
| title_sort | взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов |
| topic | Исследование процессов обработки |
| topic_facet | Исследование процессов обработки |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/167106 |
| work_keys_str_mv | AT filatovûd vzaimodeistviečasticšlamasčasticamiiznosapolirovalʹnogoporoškapripolirovaniioptoélektronnyhélementov |