Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов

• Published in: Сверхтвердые материалы
• Date: 2018
• Main Author: Филатов, Ю.Д.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2018
• Subjects: Исследование процессов обработки
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/167106
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов / Ю.Д. Филатов // Сверхтвердые материалы. — 2018. — № 4. — С. 71-81. — Бібліогр.: 18 назв. — рос.

В результате анализа взаимодействия частиц шлама и износа полировального порошка показано, что рассеяние частиц происходит на углы 136,8°–173,2°, а эффективное дифференциальное сечение рассеяния составляет 0,4–1,8 Тб. Траектории движения частиц представляют собой кольца, расположенные у обрабатываем...