Cover Image

Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов

В результате анализа взаимодействия частиц шлама и износа полировального порошка показано, что рассеяние частиц происходит на углы 136,8°–173,2°, а эффективное дифференциальное сечение рассеяния составляет 0,4–1,8 Тб. Траектории движения частиц представляют собой кольца, расположенные у обрабатываем...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Сверхтвердые материалы
Date:2018
ISSN:0203-3119
Main Author: Филатов, Ю.Д.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2018
Subjects:
Исследование процессов обработки
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/167106
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов / Ю.Д. Филатов // Сверхтвердые материалы. — 2018. — № 4. — С. 71-81. — Бібліогр.: 18 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Similar Items

Similar Items