Cover Image

Плазмохімічне устаткування для осадження нанокомпозитних наношаруватих плівок

Приведено основні принципи створення на базі вакуумного універсального поста ВУП-5(М) та подальшого використання плазмохімічного устаткування для осадження тонкоплівкових, у тому числі наношарових, матеріалів із парів зазвичай рідких прекурсорів. Метод можна класифікувати як осадження в газовому сер...

Full description

Saved in:

Bibliographic Details
Published in:	Сверхтвердые материалы
Date:	2019
ISSN:	0203-3119
Main Authors:	Порада, О.К., Іващенко, В.І., Іващенко, Л.А., Козак, А.О., Ситіков, О.О.
Format:	Article
Language:	Ukrainian
Published:	Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2019
Subjects:	Одержання, структура, властивості
Online Access:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/167289
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:	Плазмохімічне устаткування для осадження нанокомпозитних наношаруватих плівок / О.К. Порада, В.І. Іващенко, Л.А. Іващенко, А.О. Козак, О.О. Ситіков // Надтверді матеріали. — 2019. — № 1 (237). — С. 42-50. — Бібліогр.: 26 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Similar Items

Відновлення адсорбційних властивостей шунгіту
by: Діюк, В.Е., et al.
Published: (2019)

Особливості впливу умов спікання дрібнозернистого твердого сплаву WC–10Co на його структуру, фізико-механічні та експлуатаційні характеристики
by: Прокопів, М.М., et al.
Published: (2019)

Исследование процесса электрохимического осаждения золота в лимоннокислом и фосфорнокислом электролите в присутствии модифицированных детонационных наноалмазов
by: Долматов, В.Ю., et al.
Published: (2019)

Іскро-плазмове спікання металокерамічного композита Cu–(LaB6–TiB2) та його фізико- механічні властивості
by: Соловйова, Т.О., et al.
Published: (2019)

Влияние in situ образованных боридов TiВ₂–VB₂ на структуру и свойства горячепрессованной керамической системы B₄C–(TiH₂–VC)
by: Кайдаш, О.Н., et al.
Published: (2018)

Люминесцентные и радиационные характеристики монокристаллических алмазных порошков
by: Лысенко, О.Г., et al.
Published: (2019)

Вплив умов отримання на мікроструктуру, фазовий склад та властивості евтектичного сплаву системи WC–W₂C
by: Троснікова, І.Ю., et al.
Published: (2019)

Разработка процесса электрохимического осаждения никель-алмазного покрытия с модифицированными фосфором ДНА
by: Долматов, В.Ю., et al.
Published: (2019)

A molecular dynamics based comparison of the mechanical properties of three polytypes of cubic BC₃
by: Kishor, E., et al.
Published: (2019)

Effect of different binder phases on the Σ2 grain boundary plane distribution in cemented carbides
by: Xiaokun Yuan
Published: (2019)

Об устойчивости изолированных пор в спеченных твердых сплавах (Ti,W)C–WC–Co
by: Давиденко, С.А.
Published: (2019)

Mechanical properties of boron phosphides
by: Solozhenko, V.L., et al.
Published: (2019)

Критериальная оценка повышения эксплуатационных характеристик деталей авиаконструкций с газотермическими покрытиями
by: Бычков, А.С., et al.
Published: (2019)

Low temperature thermal conductivity of heavily boron-doped synthetic diamond: Influence of boron-related structure defects
by: Prikhodko, D., et al.
Published: (2019)

Effect of graphite addition on impregnated diamond bit properties
by: Lanlan Xie, et al.
Published: (2019)

The effect of sintering temperature on wear resistance of alloys produced by using hot isostatic pressing method
by: Tülay Yıldız, et al.
Published: (2019)

Chemical synthesis of niobium diboride nanosheets by a solid-state reaction route
by: Wang Liangbiao, et al.
Published: (2018)

Friction-wear behaviors of chemical vapor deposited diamond films at high temperatures
by: Kong Dejun, et al.
Published: (2019)

Влияние безводородного ионного азотирования на физико-механические и эксплуатационные характеристики твердых сплавов Т5К10, Т15К6
by: Каплун, П.В., et al.
Published: (2018)

Theoretical and experimental evidence for a post-cotunnite phase transition in hafnia at high pressures
by: Al-Khatatbeh Yahya, et al.
Published: (2018)

Формування шарової структури WC–(Cо,Ni,Al) на поверхні різальної пластини з твердого сплаву WC–7(W, Ti)С–10Cо у зоні контакту з розплавом Ni₃Al
by: Прокопів, М.М.
Published: (2019)

Получение и физико-механические свойства высокоэнтропийного оксида на основе эквиатомного сплава CrFe-CoNiMn
by: Горбань, В.Ф., et al.
Published: (2019)

Tungsten heavy alloys with molybdenum, Y₂O₃ and lanthanum. A review
by: Lakshmi Prasad, B.S., et al.
Published: (2019)

HFCVD synthesis of boron-doped microcrystalline diamonds
by: Tao Zhang, et al.
Published: (2019)

Deposition and characterization of thin Si–B–C–N films by dc reactive magnetron sputtering of composed Si/B₄C target
by: Onoprienko, A.A., et al.
Published: (2019)

Вплив умов осадження і відпалу на нанотвердість аморфних Si–C–N-плівок
by: Порада, О.К.
Published: (2015)

Вплив потоку азоту на властивості тонких аморфних Si–C–N-плівок, отриманих магнетронним розпиленням
by: Козак, А.О., et al.
Published: (2015)

Порівняльні дослідження плазмохемічних плівок SіCN, одержаних із різних прекурсорів
by: Іващенко, Л.А., et al.
Published: (2009)

Тверді плазмохімічні a-SiCN-покриття
by: Порада, О.К., et al.
Published: (2016)

Структурні та морфологічні особливості матричних полімерних мембран, синтезованих за принципом ВПС
by: Карабанова, Л.В., et al.
Published: (2008)

Властивості тонких плівок оксиду цинку, одержаних електрохімічним методом
by: Горбик, П.П., et al.
Published: (2004)

Антифрикційні властивості полікомпонентних композицій на основі хімічно-модифікованої ріпакової оливи під час мащення пари ароматичний поліамід – сталь
by: Сіренко, Г.О., et al.
Published: (2008)

Мікрогетерогенна структура композитів на основі епоксидної смоли та оксиду Fe(ІІІ) або Аl(III).
by: Штомпель, В.І., et al.
Published: (2008)

Структурна організація бінарних сумішей карбоксиметилцелюлози і полі(диметиламіноетил)-метакрилату
by: Штомпель, В.І., et al.
Published: (2008)

Вплив постійного магнітного поля на структуру композитів на основі епоксидного полімеру та оксиду Fe(III) або Al(III)
by: Демченко, В.Л., et al.
Published: (2008)

Кінетичні закономірності затверднення епоксидного олігомеру мета-фенілендіаміном у мікрохвильовому полі
by: Білогубка, О.Р., et al.
Published: (2008)

Фізико-технологічні основи осадження тонких ВТНП-плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ
by: Фліс, В.С., et al.
Published: (2006)

Структура та властивості сітчастого полі(бісфенол А) ціанурату, модифікованого олігоізопрендіацилгідразоном метилетилкетону
by: Файнлейб, О.М., et al.
Published: (2008)

Фазові перетворення в ланцюгових молекулярних полікристалах деяких жирних кислот
by: Алєксєєв, О.М., et al.
Published: (2008)

Осадження металічних плівок на мікрочастинки у пастці ВЧ магнетронного розряду
by: Pal, A.F., et al.
Published: (2022)