Cover Image

Плазмохімічне устаткування для осадження нанокомпозитних наношаруватих плівок

Приведено основні принципи створення на базі вакуумного універсального поста ВУП-5(М) та подальшого використання плазмохімічного устаткування для осадження тонкоплівкових, у тому числі наношарових, матеріалів із парів зазвичай рідких прекурсорів. Метод можна класифікувати як осадження в газовому сер...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Сверхтвердые материалы
Date:2019
Main Authors: Порада, О.К., Іващенко, В.І., Іващенко, Л.А., Козак, А.О., Ситіков, О.О.
Format: Article
Language:Ukrainian
Published: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2019
Subjects:
Одержання, структура, властивості
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/167289
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Плазмохімічне устаткування для осадження нанокомпозитних наношаруватих плівок / О.К. Порада, В.І. Іващенко, Л.А. Іващенко, А.О. Козак, О.О. Ситіков // Надтверді матеріали. — 2019. — № 1 (237). — С. 42-50. — Бібліогр.: 26 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Similar Items

Similar Items