Вплив середовища відпалу на швидкість дифузії ніклю до поверхні тонкоплівкової системи Au/Ni
За даними мас-спектрометрії вторинних йонів, електронної Оже-спектроскопії, Рентґенової дифракції, оптичної та атомово-силової мікроскопії досліджено інтенсивність розвитку дифузійних процесів і зміни морфології поверхні в системі Au (120 нм)/Ni (70 нм) за умов відпалу за температури 200 °C впродовж...
Saved in:
| Published in: | Металлофизика и новейшие технологии |
|---|---|
| Date: | 2012 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2012
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/167704 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Вплив середовища відпалу на швидкість дифузії ніклю до поверхні тонкоплівкової системи Au/Ni / С.І. Сидоренко, С.М. Волошко, О.О. Міщук, А.А. Тинькова // Металлофизика и новейшие технологии. — 2012. — Т. 34, № 1. — С. 65-76. — Бібліогр.: 13 назв. — укр. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862540455828258816 |
|---|---|
| author | Сидоренко, С.І. Волошко, С.М. Міщук, О.О. Тинькова, А.А. |
| author_facet | Сидоренко, С.І. Волошко, С.М. Міщук, О.О. Тинькова, А.А. |
| citation_txt | Вплив середовища відпалу на швидкість дифузії ніклю до поверхні тонкоплівкової системи Au/Ni / С.І. Сидоренко, С.М. Волошко, О.О. Міщук, А.А. Тинькова // Металлофизика и новейшие технологии. — 2012. — Т. 34, № 1. — С. 65-76. — Бібліогр.: 13 назв. — укр. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Металлофизика и новейшие технологии |
| description | За даними мас-спектрометрії вторинних йонів, електронної Оже-спектроскопії, Рентґенової дифракції, оптичної та атомово-силової мікроскопії досліджено інтенсивність розвитку дифузійних процесів і зміни морфології поверхні в системі Au (120 нм)/Ni (70 нм) за умов відпалу за температури 200 °C впродовж 20 хв. у вакуумній камері за різних значень тиску залишкової атмосфери (10⁻³ Па і 10⁻⁶ Па) та в середовищі водню під тиском у 5∙10² Па.
По данным масс-спектрометрии вторичных ионов, электронной ожеспектроскопии, рентгеновской дифракции, оптической и атомно-силовой микроскопии исследованы интенсивность развития диффузионных процессов и изменения морфологии поверхности в системе Au (120 нм)/Ni (70 нм) в условиях отжига при температуре 200°C на протяжении 20 мин. в вакуумной камере при различных значениях давления остаточной атмосферы (10⁻³ Па и 10⁻⁶ Па) и в среде водорода при давлении 5∙10² Па.
Development of the interdiffusion processes and surface-morphology changes in Au (120 nm)/Ni (70 nm) system are studied during 20 min heating at 200°C in a vacuum with different residual atmosphere pressure (10⁻³ and 10⁻⁶ Pa) and in the ambient of hydrogen at pressure of 5∙10² Pa according to the data of the secondary ion mass-spectrometry (SIMS), Auger electron spectroscopy (AES), x-ray diffraction, optical and atomic force microscopy.
|
| first_indexed | 2025-11-24T16:10:05Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-167704 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1024-1809 |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2025-11-24T16:10:05Z |
| publishDate | 2012 |
| publisher | Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Сидоренко, С.І. Волошко, С.М. Міщук, О.О. Тинькова, А.А. 2020-04-05T20:11:58Z 2020-04-05T20:11:58Z 2012 Вплив середовища відпалу на швидкість дифузії ніклю до поверхні тонкоплівкової системи Au/Ni / С.І. Сидоренко, С.М. Волошко, О.О. Міщук, А.А. Тинькова // Металлофизика и новейшие технологии. — 2012. — Т. 34, № 1. — С. 65-76. — Бібліогр.: 13 назв. — укр. 1024-1809 PACS numbers: 61.72.Cc, 68.35.Fx,68.37.Ps,68.49.Sf,68.55.jd,82.80.Ms, 82.80.Pv https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/167704 За даними мас-спектрометрії вторинних йонів, електронної Оже-спектроскопії, Рентґенової дифракції, оптичної та атомово-силової мікроскопії досліджено інтенсивність розвитку дифузійних процесів і зміни морфології поверхні в системі Au (120 нм)/Ni (70 нм) за умов відпалу за температури 200 °C впродовж 20 хв. у вакуумній камері за різних значень тиску залишкової атмосфери (10⁻³ Па і 10⁻⁶ Па) та в середовищі водню під тиском у 5∙10² Па. По данным масс-спектрометрии вторичных ионов, электронной ожеспектроскопии, рентгеновской дифракции, оптической и атомно-силовой микроскопии исследованы интенсивность развития диффузионных процессов и изменения морфологии поверхности в системе Au (120 нм)/Ni (70 нм) в условиях отжига при температуре 200°C на протяжении 20 мин. в вакуумной камере при различных значениях давления остаточной атмосферы (10⁻³ Па и 10⁻⁶ Па) и в среде водорода при давлении 5∙10² Па. Development of the interdiffusion processes and surface-morphology changes in Au (120 nm)/Ni (70 nm) system are studied during 20 min heating at 200°C in a vacuum with different residual atmosphere pressure (10⁻³ and 10⁻⁶ Pa) and in the ambient of hydrogen at pressure of 5∙10² Pa according to the data of the secondary ion mass-spectrometry (SIMS), Auger electron spectroscopy (AES), x-ray diffraction, optical and atomic force microscopy. uk Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Металлофизика и новейшие технологии Металлические поверхности и плёнки Вплив середовища відпалу на швидкість дифузії ніклю до поверхні тонкоплівкової системи Au/Ni Влияние среды отжига на скорость диффузии никеля к поверхности тонкоплёночной системы Au/Ni Influence of Annealing Environment on the Ni Diffusion Rate to Surface of the Thin-Film Au/Ni System Article published earlier |
| spellingShingle | Вплив середовища відпалу на швидкість дифузії ніклю до поверхні тонкоплівкової системи Au/Ni Сидоренко, С.І. Волошко, С.М. Міщук, О.О. Тинькова, А.А. Металлические поверхности и плёнки |
| title | Вплив середовища відпалу на швидкість дифузії ніклю до поверхні тонкоплівкової системи Au/Ni |
| title_alt | Влияние среды отжига на скорость диффузии никеля к поверхности тонкоплёночной системы Au/Ni Influence of Annealing Environment on the Ni Diffusion Rate to Surface of the Thin-Film Au/Ni System |
| title_full | Вплив середовища відпалу на швидкість дифузії ніклю до поверхні тонкоплівкової системи Au/Ni |
| title_fullStr | Вплив середовища відпалу на швидкість дифузії ніклю до поверхні тонкоплівкової системи Au/Ni |
| title_full_unstemmed | Вплив середовища відпалу на швидкість дифузії ніклю до поверхні тонкоплівкової системи Au/Ni |
| title_short | Вплив середовища відпалу на швидкість дифузії ніклю до поверхні тонкоплівкової системи Au/Ni |
| title_sort | вплив середовища відпалу на швидкість дифузії ніклю до поверхні тонкоплівкової системи au/ni |
| topic | Металлические поверхности и плёнки |
| topic_facet | Металлические поверхности и плёнки |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/167704 |
| work_keys_str_mv | AT sidorenkosí vplivseredoviŝavídpalunašvidkístʹdifuzííníklûdopoverhnítonkoplívkovoísistemiauni AT vološkosm vplivseredoviŝavídpalunašvidkístʹdifuzííníklûdopoverhnítonkoplívkovoísistemiauni AT míŝukoo vplivseredoviŝavídpalunašvidkístʹdifuzííníklûdopoverhnítonkoplívkovoísistemiauni AT tinʹkovaaa vplivseredoviŝavídpalunašvidkístʹdifuzííníklûdopoverhnítonkoplívkovoísistemiauni AT sidorenkosí vliâniesredyotžiganaskorostʹdiffuziinikelâkpoverhnostitonkoplenočnoisistemyauni AT vološkosm vliâniesredyotžiganaskorostʹdiffuziinikelâkpoverhnostitonkoplenočnoisistemyauni AT míŝukoo vliâniesredyotžiganaskorostʹdiffuziinikelâkpoverhnostitonkoplenočnoisistemyauni AT tinʹkovaaa vliâniesredyotžiganaskorostʹdiffuziinikelâkpoverhnostitonkoplenočnoisistemyauni AT sidorenkosí influenceofannealingenvironmentonthenidiffusionratetosurfaceofthethinfilmaunisystem AT vološkosm influenceofannealingenvironmentonthenidiffusionratetosurfaceofthethinfilmaunisystem AT míŝukoo influenceofannealingenvironmentonthenidiffusionratetosurfaceofthethinfilmaunisystem AT tinʹkovaaa influenceofannealingenvironmentonthenidiffusionratetosurfaceofthethinfilmaunisystem |