Статистический анализ структуры металлических конденсатов, полученных распылением при фазовом равновесии
На примере квазиравновесной стационарной конденсации меди в ионно-плазменном распылителе исследован новый механизм образования фазы. Показано, что при малой плотности центров кристаллизации на подложке образуется сетчатая структура, являющаяся результатом иерархической конденсации, в ходе которой сн...
Saved in:
| Published in: | Металлофизика и новейшие технологии |
|---|---|
| Date: | 2012 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2012
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/167706 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Статистический анализ структуры металлических конденсатов, полученных распылением при фазовом равновесии / А.И. Олемской, В.Н. Борисюк, О.В. Ющенко, Т.И. Жиленко // Металлофизика и новейшие технологии. — 2012. — Т. 34, № 1. — С. 87-97. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1860184120517197824 |
|---|---|
| author | Олемской, А.И. Борисюк, В.Н. Ющенко, О.В. Жиленко, Т.И. |
| author_facet | Олемской, А.И. Борисюк, В.Н. Ющенко, О.В. Жиленко, Т.И. |
| citation_txt | Статистический анализ структуры металлических конденсатов, полученных распылением при фазовом равновесии / А.И. Олемской, В.Н. Борисюк, О.В. Ющенко, Т.И. Жиленко // Металлофизика и новейшие технологии. — 2012. — Т. 34, № 1. — С. 87-97. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Металлофизика и новейшие технологии |
| description | На примере квазиравновесной стационарной конденсации меди в ионно-плазменном распылителе исследован новый механизм образования фазы. Показано, что при малой плотности центров кристаллизации на подложке образуется сетчатая структура, являющаяся результатом иерархической конденсации, в ходе которой сначала образуются малые кластеры зародышей фазы, затем на их границе происходит вторичная конденсация, многократно повторяющаяся далее. С использованием численных методов обработки изображений проведён анализ параметров исследуемой сетчатой структуры.
На прикладі квазирівноважної стаціонарної конденсації міді у йонно-плазмовому розпорошувачі досліджено новий механізм утворення фази. Показано, що за малої густини центрів кристалізації на підложжі утворюється сітчаста структура, що є результатом ієрархічної конденсації, під час якої спочатку утворюються малі кластери зародків фази, а потім на їх межі відбувається вторинна конденсація, яка багаторазово повторюється надалі. З використанням чисельних метод оброблення зображень виконано аналізу параметрів досліджуваної сітчастої структури.
Copper condensates are fabricated to demonstrate that specific network structure is formed as a result of self-assembly in the course of deposition. As shown, at the low density of crystallization centres, condensate forms a branching structure as a result of hierarchical condensation. During such a process, condensation starts with small nuclei clusters of a new phase, and it is continuing repeatedly on the boundaries of primary formed clusters. For statistical analysis of the obtained branching structure, numerical methods are used.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:03:13Z |
| format | Article |
| fulltext |
87
PACS numbers:05.45.Df, 05.65.+b,61.43.Hv,64.75.Yz,81.15.Aa,81.15.Cd, 81.16.Dn
Статистический анализ структуры металлических конденсатов,
полученных распылением при фазовом равновесии
А. И. Олемской
*, **, В. Н. Борисюк
*, О. В. Ющенко*, Т. И. Жиленко*
*Сумской государственный университет,
ул. Римского-Корсакова, 2,
40007 Сумы, Украина
**Институт прикладной физики НАН Украины,
ул. Петропавловская, 58,
40030 Сумы, Украина
На примере квазиравновесной стационарной конденсации меди в ионно-
плазменном распылителе исследован новый механизм образования фазы.
Показано, что при малой плотности центров кристаллизации на подложке
образуется сетчатая структура, являющаяся результатом иерархической
конденсации, в ходе которой сначала образуются малые кластеры зароды-
шей фазы, затем на их границе происходит вторичная конденсация, много-
кратно повторяющаяся далее. С использованием численных методов обра-
ботки изображений проведён анализ параметров исследуемой сетчатой
структуры.
На прикладі квазирівноважної стаціонарної конденсації міді у йонно-
плазмовому розпорошувачі досліджено новий механізм утворення фази.
Показано, що за малої густини центрів кристалізації на підложжі утворю-
ється сітчаста структура, що є результатом ієрархічної конденсації, під час
якої спочатку утворюються малі кластери зародків фази, а потім на їх межі
відбувається вторинна конденсація, яка багаторазово повторюється надалі.
З використанням чисельних метод оброблення зображень виконано аналізу
параметрів досліджуваної сітчастої структури.
Copper condensates are fabricated to demonstrate that specific network struc-
ture is formed as a result of self-assembly in the course of deposition. As shown,
at the low density of crystallization centres, condensate forms a branching
structure as a result of hierarchical condensation. During such a process, con-
densation starts with small nuclei clusters of a new phase, and it is continuing
repeatedly on the boundaries of primary formed clusters. For statistical analy-
sis of the obtained branching structure, numerical methods are used.
Ключевые слова: иерархическая конденсация, сетчатая структура, ко-
Металлофиз. новейшие технол. / Metallofiz. Noveishie Tekhnol.
2012, т. 34, № 1, сс. 87—97
Оттиски доступны непосредственно от издателя
Фотокопирование разрешено только
в соответствии с лицензией
© 2012 ИМФ (Институт металлофизики
им. Г. В. Курдюмова НАН Украины)
Напечатано в Украине.
88 А. И. ОЛЕМСКОЙ, В. Н. БОРИСЮК, О. В. ЮЩЕНКО, Т. И. ЖИЛЕНКО
эффициент кластеризации, DLA-модель.
(Получено 25 июня 2011 г.)
1. ВВЕДЕНИЕ
Будучи фазовым переходом первого рода, процесс конденсации
может развиваться согласно двум механизмам [1, 2]. В случае спи-
нодального механизма осаждаемый пар термодинамически не-
устойчив, и конденсат образуется за счёт увеличения амплитуды
гомогенных флуктуаций. Для бинодального механизма, когда воз-
можно сосуществование пара и конденсата, эволюция системы сво-
дится к росту размера гетерогенных флуктуаций, представляющих
зародыши конденсируемой фазы. В реальных условиях экспери-
мента центры конденсации образуются в виде моноизгибов на сту-
пеньках поверхности роста, неоднородностей атомно-шероховатой
поверхности, мест сращивания кристаллитов и т.п. В результате
спинодальный механизм гомогенной конденсации оказывается,
как правило, невозможным, и реализуется второй сценарий, из-
вестный как классический механизм зарождения и роста новой фа-
зы.
В общем случае этот сценарий сводится к следующим стадиям
[3].
Сначала происходит флуктуационное образование зародышей, в
ходе которого они преодолевают критический размер Rc ≅ σ/Δf,
определяемый коэффициентом поверхностного натяжения σ и при-
ходящейся на единицу объёма разностью свободных энергий фаз
Δf ∝ n − ne, задаваемой концентрацией осаждаемых атомов n по от-
ношению к равновесному значению ne.
В том случае, если начальная концентрация nin настолько вели-
ка, что nin ≅ ne, то, несмотря на постоянный дрейф зародышей в за-
критическую область R > Rc, рост выделений протекает при концен-
трации n(t) ≅ nin, практически не отличающейся от начального зна-
чения.
В ходе дальнейшей конденсации наступает истощение осаждае-
мого пара, при котором его концентрация n становится сравнимой с
равновесным значением ne. Это обеспечивает экспоненциально
быстрое спадание пересыщения n − ne, в результате чего критиче-
ский радиус Rc ∝ (n − ne)
−1
достигает предельного размера Rg обла-
сти, приходящейся на одно выделение. На этой стадии большинство
зародышей имеет закритические размеры R > Rc, а их число остаёт-
ся практически неизменным.
При условии Rc(t) ≅ Rg, выделения начинают возвращаться из су-
перкритической области R > Rc в субкритическую R < Rc согласно
механизму коалесценции Лифшица—Слёзова, когда большие выде-
СТАТИСТИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ СТРУКТУРЫ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ КОНДЕНСАТОВ 89
ления растут за счёт малых [4]. При этом критический радиус воз-
растает по степенному закону tRp ∝c с показателем p = 2, 3, 4, вели-
чины которого определяются механизмами переноса атомов между
выделениями [5].
Указанная картина проявляется при формировании различных
наносистем в процессе конденсации, который достигается благода-
ря широкому использованию современных технологий типа моле-
кулярно-лучевой эпитаксии, электролитического осаждения, жид-
кофазной эпитаксии и т.д. [6]. Использование данных технологий
обеспечивает стационарное течение процесса конденсации при пе-
ресыщениях, низкие значения которых означают близость системы
плазма—конденсат к фазовому равновесию. В результате критиче-
ский радиус Rc ∝ (n − ne)
−1
оказывается настолько большим, что
флуктуационное образование зародышей практически невозможно.
Среди указанных технологий следует выделить эксперименталь-
ную методику [7—11], в рамках которой квазиравновесные условия
конденсации достигаются самоорганизованным образом. При этом
адсорбированные атомы закрепляются на ростовой поверхности
только в том случае, если они реализуют наиболее сильные химиче-
ские связи. В отличие от методик [6—11] здесь мы исследуем про-
цесс квазиравновесной поверхностной конденсации, реализуемый в
рамках стандартных плазменных технологий [12]. Здесь близость к
фазовому равновесию системы пар—конденсат достигается благода-
ря предельному ослаблению осаждаемого потока в сочетании с по-
вышенной температурой напыляемой поверхности и высоким дав-
лением предварительно очищенного рабочего газа. В результате ре-
ализуется процесс иерархической конденсации, при котором кар-
тина роста фазы напоминает формирование перколяционного кла-
стера при течении жидкости в среде со случайной структурой [13].
Настоящая работа посвящена исследованию иерархической кон-
денсации в рамках классического механизма зарождения и роста
новой фазы. В разделе 2 приводится описание экспериментальных
условий, использование которых позволило реализовать данный
процесс. Показано, что при малой плотности центров конденсации
на подложке образуется сетчатая структура, являющаяся результа-
том иерархической конденсации. В разделе 3 эта структуры имити-
руется сложной сетью кружков, покрывающих кластеры выделе-
ний, после чего проводится анализ параметров такой сети. Раздел 4
содержит результаты численного моделирования процесса поверх-
ностного роста конденсатов и сравнение полученных результатов с
реальными структурами.
2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ
Исследовались высокодисперсные конденсаты меди, напыление
90 А. И. ОЛЕМСКОЙ, В. Н. БОРИСЮК, О. В. ЮЩЕНКО, Т. И. ЖИЛЕНКО
которых выполнялось в планарном магнетронном распылителе по-
стоянного тока с мощностью разряда, пониженной от обычных зна-
чений 50—100 Вт до 2,5—4 Вт. Такое понижение позволило умень-
шить осаждаемый поток до предельных значений, которые обеспе-
чивают формирование конденсата. В качестве рабочего газа исполь-
зовался аргон, давление которого повышалось от 1 до 10 Па. Ваку-
умная камера была снабжена масс-анализатором MX7304A, обла-
дающим чувствительностью до 10
−12
Па. Парциальное давление хи-
мически активных остаточных газов понижалось до 8⋅10
−8
Па за
счёт распыления титана из вспомогательных магнетронов, поме-
щённых сверху вакуумной камеры [14]. В ином случае увеличение
давления рабочего газа приводит к усилению столкновений частиц
плазмы, что сужает разброс их энергий [15] и способствует равно-
мерному распределению напыляемого вещества на различные фа-
сетки ростовой поверхности кристалла. Использование описанного
устройства позволило обеспечить устойчивый режим квазиравно-
весного напыления.
Конденсация протекала в режиме Фольмера—Вебера на свеже-
сколотых фасетированных поверхностях (001) подложек KCl. Как
указывалось ранее, вблизи фазового равновесия процесс конденса-
ции возможен только при наличии активных центров кристаллиза-
ции, обладающих повышенными энергиями химической связи. На
подложке KCl роль таких центров играют вакансии Cl
−
, образован-
ные благодаря воздействию потока вторичных электронов, испус-
каемых магнетронным распылителем [12]. Закрепление конденса-
тов меди обеспечивалось нанесением аморфных слоёв углерода, по-
сле чего подложки KCl смывались потоком воды. Структура и фазо-
вый состав определялись электронографически и на основе микро-
дифракции высокоэнергетических электронов.
Электронно-микроскопические изображения конденсатов меди,
приведенные на рис. 1, представляют эволюцию их кластерной
а б в
Рис. 1. Электронно-микроскопические изображения конденсатов меди,
выращенных ex-situ в течение напыления 10, 12 и 14 минут (поля а, б и в
соответственно).
СТАТИСТИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ СТРУКТУРЫ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ КОНДЕНСАТОВ 91
структуры в ходе напыления. Согласно рисунку 1, a, на начальной
стадии образуются изолированные кластеры, каждый из которых
состоит из нескольких зародышей конденсата. С течением времени
происходит вторичное зарождение выделений вблизи исходных
кластеров, границы которых играют роль центров кристаллизации.
Из рисунка 1, б видно, что наиболее эффективными центрами вто-
ричной конденсации являются одиночные зародыши фазы. Поэто-
му в ходе напыления они выстраиваются в ветвящиеся цепочки,
что отвечает самосборке сетчатой структуры конденсата, показан-
ной на рис. 1, в. Характерно, что такое поведение обнаруживается
только при малой плотности центров кристаллизации на подложке.
3. АНАЛИЗ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ДАННЫХ
Для обработки полученных электронно-микроскопический изоб-
ражений воспользуемся численными методами, представляя кла-
стеры конденсата в виде сложных сетей, в исследовании которых в
последнее время достигнут значительный прогресс [16]. С этой це-
лью покрываем зародыши новой фазы, показанные на рис. 1,
кружками одинакового размера и связываем рёбрами те из них, ко-
торые находятся в непосредственном контакте. В результате полу-
чаются сети, изображенные на рис. 2.
Основной характеристикой сложной сети является, как извест-
но, коэффициент кластеризации, представляющий отношение чис-
ла ci рёбер, которые связывают между собой ki ближайших соседей
вершины i, к количеству всех возможных рёбер между этими сосе-
дями:
.
( 1) / 2
i
i
i i
c
C
k k
=
−
(1)
Для сетей, показанных на рис. 2, a, б, определение коэффициентов
а б в
Рис. 2. Имитация конденсатов меди, показанных на рис. 1, сетями покры-
вающих кружков.
92 А. И. ОЛЕМСКОЙ, В. Н. БОРИСЮК, О. В. ЮЩЕНКО, Т. И. ЖИЛЕНКО
(1) достигается элементарным подсчётом связей между ближайши-
ми соседями. Однако сеть, изображённая на рис. 2, в, намного
сложнее, и её описание требует использования более развитой про-
цедуры [16]. Она основывается на использовании матрицы смежно-
сти (соседства) Aij, элемент которой Aij = 1, если вершины i, j связа-
ны между собой, в противном случае Aij = 0. После определения мат-
рицы Aij порядок вершины ki и число ci связанных между собой
ближайших соседей в формуле (1) задаются равенствами
,
2
1
,
)(
)( ==
j jnn
jnniiji
j
iji AAcAk (2)
где индекс nn(j) отвечает ближайшим соседям узла j, который свя-
зан также с исходным узлом i. В результате для узлов сети, пока-
занной на рис. 2, в, получаем распределение коэффициентов кла-
стеризации, приведенное на рис. 3.
Поскольку коэффициент кластеризации (1) быстро изменяется от
узла к узлу, то удобно использовать среднее значение
1
1
.
N
i
i
C N C−
=
= (3)
Для сетей, приведенных на рис. 2, средние значения (3) составляют
C = 0,09, 0,16, 0,41 соответственно. Из этих данных можно заклю-
чить, что средний коэффициент кластеризации увеличивается, как
Рис. 3. Коэффициенты кластеризации узлов сети, показанной на рис. 2, в,
и среднее значение C.
СТАТИСТИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ СТРУКТУРЫ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ КОНДЕНСАТОВ 93
и следовало ожидать, с ростом времени напыления.
Рассмотрим теперь распределение по степеням ki, значения кото-
рых представляют для каждого узла число связей с ближайшими
соседями. Для сложных сетей, показанных на рис. 2, это распреде-
ление показано на рис. 4.
Из него следует, что с ростом времени напыления максимум рас-
пределения по порядкам узлов сдвигается от предельных величин
k = 0—2, отвечающих минимальным кластерам, к повышенным зна-
чениям k = 2—4.
Сравнение различных полей рис. 2 показывает, что столь слабое
различие между характерными величинами k обусловлено вытяну-
той формой кластеров конденсата, набор которых трансформирует-
ся в ходе напыления в сетчатую структуру, характеризуемую нали-
чием замкнутых ячеек. Очевидно, такую структуру уместно опре-
делять отношением m = Nmin/Ntot минимального числа Nmin узлов,
необходимых для формирования максимально связанной сети, к
полному числу Ntot узлов, образующих данную структуру. По-
скольку кластеры на полях а и б рис. 2 не образуют замкнутых яче-
ек, то для них следует положить m = 0. С другой стороны, сетчатая
структура на рис. 2, в образует не менее пяти ячеек, каркас которых
выделен на рис. 5 тёмными кружками.
Элементарный подсчёт числа этих кружков по отношению к пол-
ному их количеству приводит к величине m = 0,52±6%. Она означа-
Рис. 4. Распределения по порядкам вершин сложных сетей, соответству-
ющих рис. 2, а—в.
94 А. И. ОЛЕМСКОЙ, В. Н. БОРИСЮК, О. В. ЮЩЕНКО, Т. И. ЖИЛЕНКО
ет, что около половины выделений конденсата принимают участие
в формировании сетчатой структуры, показанной на рис. 1, в.
Приведенные экспериментальные данные указывают на иерар-
хическую природу процесса конденсации: сначала на центрах кри-
сталлизации подложки образуются малые кластеры зародышей фа-
зы, затем на их границе происходит вторичная конденсация, кото-
рая далее многократно повторяется. В результате образуется харак-
терная сетчатая структура аналогичная той, что наблюдается в
процессе образования фазы, ограниченном диффузией.
4. МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССА ОБРАЗОВАНИЯ
СЕТЕВЫХ СТРУКТУР
Как указывалось в разделе 2, процесс роста конденсатов обеспечи-
вается агрегацией распыленного вещества на активных центрах –
вакансиях Cl—. Данная ситуация может быть качественно представ-
лена моделью агрегационного роста, ограниченного диффузией
(diffusion-limited aggregation (DLA) model) [17]. В рамках указан-
ной модели, частицы вещества, совершающие хаотическое, подоб-
Рис. 5. Выделение из сети, показанной на рис. 2, в, минимального каркаса
(тёмные кружки), сохраняющего связность сети.
СТАТИСТИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ СТРУКТУРЫ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ КОНДЕНСАТОВ 95
ное броуновскому, движение, оседают на образовавшиеся на под-
ложке агрегационные островки, чем обеспечивают их дальнейший
рост. Постоянно увеличивающийся в размере агрегационный кла-
стер притягивает все большее количество диффундирующих ча-
стиц, образуя сложную самоподобную структуру, пример которой
приведен на рис. 6 . Как видно из рисунка, некоторые области, сво-
бодные от конденсата, могут оказаться недоступными для диффун-
дирующих частиц, и не принимают участие в дальнейшей агрега-
ции вещества.
В рамках DLA-алгоритма было выполнено моделирование про-
цесса двумерного роста конденсата на поверхности подложки.
Предполагалось, что диффундирующая частица может попасть на
подложку в любой ее точке, после чего, в результате хаотического
движения, либо агрегироваться на активных центрах роста, либо
выйти за границы области формирования конденсата. Активные
центры задавались равномерным распределением по поверхности
подложки в концентрации nic ≅ 10
−3ndp, где nic, ndp – концентрации
центров роста и диффундирующих частиц соответственно. В ре-
зультате моделирования была получена структура, фрагмент кото-
рой приведен на рис. 7, в сравнении с экспериментально получен-
ным изображением конденсата меди. Размер фрагмента подобран в
соответствии с приблизительным количеством частиц в кластере
меди на электронно-микроскопическом изображении рис. 2, в.
Рис. 6. Типичная структура агрегационного кластера полученного в рам-
ках DLA-модели с одним активным центром роста.
96 А. И. ОЛЕМСКОЙ, В. Н. БОРИСЮК, О. В. ЮЩЕНКО, Т. И. ЖИЛЕНКО
Расчет коэффициента кластеризации для полученной модели
конденсата по формулам (1)—(3) приводит к значению Cm = 0,44, при
этом параметр mm = 0,48±5%. Полученные значения с довольно вы-
сокой точностью совпадают с параметрами C = 0,41 и m = 0,52±6%
реальных конденсатов меди.
5. ВЫВОДЫ
В данной работе была описана экспериментальная методика полу-
чения металлических конденсатов в распылительной системе вбли-
зи фазового равновесия.
Как видно из электронно-микроскопических изображений, по-
лученные таким образом конденсаты имеют сложную сетчатую
структуру, для характеристики которой был предложен ряд стати-
стических параметров, используемых в теории графов. Поскольку в
рамках предложенной методики представления структуры конден-
сата сложной сетью, значения сетевых параметров будут зависеть
от конкретной, сопоставимой структуры конденсата, сетевой моде-
ли, то можно говорить только о средних значениях указанных па-
раметров. Однако, как показало численное моделирование процесса
роста, полученные неточности незначительно сказываются на ито-
говых результатах, так как усреднение выполняется по большому
количеству кластеров напыляемого вещества, составляющих кон-
денсат.
Таким образом, можно сделать вывод, что предложенная мето-
дика позволит качественно оценить структурные особенности кон-
денсатов, обладающих сложным сетчатым строением.
а б
Рис. 7. Структура, полученная моделированием с помощью DLA-алгорит-
ма (а); изображение конденсата меди, полученное в квазиравновесной
распылительной системе (б).
СТАТИСТИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ СТРУКТУРЫ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ КОНДЕНСАТОВ 97
ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА
1. H. E. Cook, Acta Metall., 23: 1027 (1975).
2. A. J. Bray, Adv. Phys., 43: 357 (1994).
3. A. I. Olemskoi, Theory of Structure Transformations in Non-Equilibrium Con-
densed Matter (New York: NOVA Science: 1999).
4. И. М. Лифшиц, В. В. Слезов, ЖЭТФ, 35: 2 (1958).
5. А. И. Олемской, А. В. Парипский, Изв. высш. учеб. заведений. Физика, 11:
122 (1978).
6. C. Dupas, P. Houdy, and M. Lahmani, Nanoscience. Nanotechnologies and Na-
nophysics (Berlin—Heidelberg: Springer-Verlag: 2007).
7. В. И. Перекрестов, А. С. Корнющенко, Ю. А. Косминская, Письма в ЖТФ,
32: 1 (2005).
8. В. И. Перекрестов, А. С. Корнющенко, Ю. А. Косминская, ФТТ, 50: 1304
(2008).
9. В. И. Перекрестов, А. С. Корнющенко, Ю. А. Косминская, Письма в ЖЭТФ,
53: 1364 (2008).
10. В. И. Перекрестов, А. И. Олемской, А. С. Корнющенко, Ю. А. Косминская,
ФТТ, 51, № 5: 1003 (2009).
11. V. I. Perekrestov, A. I. Olemskoi, Yu. O. Kosminska, and A. A. Mokrenko,
Phys. Lett. A, 373: 3386 (2009).
12. L. I. Maissel and R. Glang, Handbook of Thin Film Technology (New York:
McGraw-Hill: 1970), vol. 1.
13. J. Feder, Fractals (New York: Plenum Publishers: 1988).
14. В. И. Перекрестов, С. Н. Кравченко, Инструменты и экспериментальные
методы, 45: 404 (2002).
15. Б. С. Данилин, Применение низкотемпературной плазмы для нанесения
тонких пленок (Москва: Энергоатомиздат: 1989).
16. M. E. J. Newman, A.-L. Barab’asi, and D. J. Watts, The Structure and Dynam-
ics of Networks (Princeton: Princeton University Press: 2006).
17. T. A. Witten and L. M. Sander, Phys. Rev. B, 27: 5686 (1983).
<<
/ASCII85EncodePages false
/AllowTransparency false
/AutoPositionEPSFiles true
/AutoRotatePages /None
/Binding /Left
/CalGrayProfile (Dot Gain 20%)
/CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2)
/sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CannotEmbedFontPolicy /Error
/CompatibilityLevel 1.4
/CompressObjects /Tags
/CompressPages true
/ConvertImagesToIndexed true
/PassThroughJPEGImages true
/CreateJobTicket false
/DefaultRenderingIntent /Default
/DetectBlends true
/DetectCurves 0.0000
/ColorConversionStrategy /CMYK
/DoThumbnails false
/EmbedAllFonts true
/EmbedOpenType false
/ParseICCProfilesInComments true
/EmbedJobOptions true
/DSCReportingLevel 0
/EmitDSCWarnings false
/EndPage -1
/ImageMemory 1048576
/LockDistillerParams false
/MaxSubsetPct 100
/Optimize true
/OPM 1
/ParseDSCComments true
/ParseDSCCommentsForDocInfo true
/PreserveCopyPage true
/PreserveDICMYKValues true
/PreserveEPSInfo true
/PreserveFlatness true
/PreserveHalftoneInfo false
/PreserveOPIComments true
/PreserveOverprintSettings true
/StartPage 1
/SubsetFonts true
/TransferFunctionInfo /Apply
/UCRandBGInfo /Preserve
/UsePrologue false
/ColorSettingsFile ()
/AlwaysEmbed [ true
]
/NeverEmbed [ true
]
/AntiAliasColorImages false
/CropColorImages true
/ColorImageMinResolution 300
/ColorImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleColorImages true
/ColorImageDownsampleType /Bicubic
/ColorImageResolution 300
/ColorImageDepth -1
/ColorImageMinDownsampleDepth 1
/ColorImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeColorImages true
/ColorImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterColorImages true
/ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG
/ColorACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/ColorImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000ColorACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000ColorImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasGrayImages false
/CropGrayImages true
/GrayImageMinResolution 300
/GrayImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleGrayImages true
/GrayImageDownsampleType /Bicubic
/GrayImageResolution 300
/GrayImageDepth -1
/GrayImageMinDownsampleDepth 2
/GrayImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeGrayImages true
/GrayImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterGrayImages true
/GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG
/GrayACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/GrayImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000GrayACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000GrayImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasMonoImages false
/CropMonoImages true
/MonoImageMinResolution 1200
/MonoImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleMonoImages true
/MonoImageDownsampleType /Bicubic
/MonoImageResolution 1200
/MonoImageDepth -1
/MonoImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeMonoImages true
/MonoImageFilter /CCITTFaxEncode
/MonoImageDict <<
/K -1
>>
/AllowPSXObjects false
/CheckCompliance [
/None
]
/PDFX1aCheck false
/PDFX3Check false
/PDFXCompliantPDFOnly false
/PDFXNoTrimBoxError true
/PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXSetBleedBoxToMediaBox true
/PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXOutputIntentProfile ()
/PDFXOutputConditionIdentifier ()
/PDFXOutputCondition ()
/PDFXRegistryName ()
/PDFXTrapped /False
/CreateJDFFile false
/Description <<
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
/BGR <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>
/CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000410064006f006200650020005000440046002065876863900275284e8e9ad88d2891cf76845370524d53705237300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002>
/CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef69069752865bc9ad854c18cea76845370524d5370523786557406300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002>
/CZE <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>
/DAN <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>
/DEU <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>
/ESP <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>
/ETI <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>
/FRA <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>
/GRE <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>
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
/HRV (Za stvaranje Adobe PDF dokumenata najpogodnijih za visokokvalitetni ispis prije tiskanja koristite ove postavke. Stvoreni PDF dokumenti mogu se otvoriti Acrobat i Adobe Reader 5.0 i kasnijim verzijama.)
/HUN <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>
/ITA <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>
/JPN <FEFF9ad854c18cea306a30d730ea30d730ec30b951fa529b7528002000410064006f0062006500200050004400460020658766f8306e4f5c6210306b4f7f75283057307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103055308c305f0020005000440046002030d530a130a430eb306f3001004100630072006f0062006100740020304a30883073002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d3067958b304f30533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a306b306f30d530a930f330c8306e57cb30818fbc307f304c5fc59808306730593002>
/KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020ace0d488c9c80020c2dcd5d80020c778c1c4c5d00020ac00c7a50020c801d569d55c002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e>
/LTH <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>
/LVI <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>
/NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken die zijn geoptimaliseerd voor prepress-afdrukken van hoge kwaliteit. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.)
/NOR <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>
/POL <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>
/PTB <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>
/RUM <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>
/RUS <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>
/SKY <FEFF0054006900650074006f0020006e006100730074006100760065006e0069006100200070006f0075017e0069007400650020006e00610020007600790074007600e100720061006e0069006500200064006f006b0075006d0065006e0074006f0076002000410064006f006200650020005000440046002c0020006b0074006f007200e90020007300610020006e0061006a006c0065007001610069006500200068006f0064006900610020006e00610020006b00760061006c00690074006e00fa00200074006c0061010d00200061002000700072006500700072006500730073002e00200056007900740076006f00720065006e00e900200064006f006b0075006d0065006e007400790020005000440046002000620075006400650020006d006f017e006e00e90020006f00740076006f00720069016500200076002000700072006f006700720061006d006f006300680020004100630072006f00620061007400200061002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e0030002000610020006e006f0076016100ed00630068002e>
/SLV <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>
/SUO <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>
/SVE <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>
/TUR <FEFF005900fc006b00730065006b0020006b0061006c006900740065006c0069002000f6006e002000790061007a006401310072006d00610020006200610073006b013100730131006e006100200065006e0020006900790069002000750079006100620069006c006500630065006b002000410064006f006200650020005000440046002000620065006c00670065006c0065007200690020006f006c0075015f007400750072006d0061006b0020006900e70069006e00200062007500200061007900610072006c0061007201310020006b0075006c006c0061006e0131006e002e00200020004f006c0075015f0074007500720075006c0061006e0020005000440046002000620065006c00670065006c0065007200690020004100630072006f006200610074002000760065002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000200076006500200073006f006e0072006100730131006e00640061006b00690020007300fc007200fc006d006c00650072006c00650020006100e70131006c006100620069006c00690072002e>
/UKR <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>
/ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents best suited for high-quality prepress printing. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.)
>>
/Namespace [
(Adobe)
(Common)
(1.0)
]
/OtherNamespaces [
<<
/AsReaderSpreads false
/CropImagesToFrames true
/ErrorControl /WarnAndContinue
/FlattenerIgnoreSpreadOverrides false
/IncludeGuidesGrids false
/IncludeNonPrinting false
/IncludeSlug false
/Namespace [
(Adobe)
(InDesign)
(4.0)
]
/OmitPlacedBitmaps false
/OmitPlacedEPS false
/OmitPlacedPDF false
/SimulateOverprint /Legacy
>>
<<
/AddBleedMarks false
/AddColorBars false
/AddCropMarks false
/AddPageInfo false
/AddRegMarks false
/ConvertColors /ConvertToCMYK
/DestinationProfileName ()
/DestinationProfileSelector /DocumentCMYK
/Downsample16BitImages true
/FlattenerPreset <<
/PresetSelector /MediumResolution
>>
/FormElements false
/GenerateStructure false
/IncludeBookmarks false
/IncludeHyperlinks false
/IncludeInteractive false
/IncludeLayers false
/IncludeProfiles false
/MultimediaHandling /UseObjectSettings
/Namespace [
(Adobe)
(CreativeSuite)
(2.0)
]
/PDFXOutputIntentProfileSelector /DocumentCMYK
/PreserveEditing true
/UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged
/UntaggedRGBHandling /UseDocumentProfile
/UseDocumentBleed false
>>
]
>> setdistillerparams
<<
/HWResolution [2400 2400]
/PageSize [612.000 792.000]
>> setpagedevice
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-167706 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1024-1809 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:03:13Z |
| publishDate | 2012 |
| publisher | Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Олемской, А.И. Борисюк, В.Н. Ющенко, О.В. Жиленко, Т.И. 2020-04-05T20:16:45Z 2020-04-05T20:16:45Z 2012 Статистический анализ структуры металлических конденсатов, полученных распылением при фазовом равновесии / А.И. Олемской, В.Н. Борисюк, О.В. Ющенко, Т.И. Жиленко // Металлофизика и новейшие технологии. — 2012. — Т. 34, № 1. — С. 87-97. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. 1024-1809 PACS numbers: 05.45.Df, 05.65.+b,61.43.Hv,64.75.Yz,81.15.Aa,81.15.Cd, 81.16.Dn https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/167706 На примере квазиравновесной стационарной конденсации меди в ионно-плазменном распылителе исследован новый механизм образования фазы. Показано, что при малой плотности центров кристаллизации на подложке образуется сетчатая структура, являющаяся результатом иерархической конденсации, в ходе которой сначала образуются малые кластеры зародышей фазы, затем на их границе происходит вторичная конденсация, многократно повторяющаяся далее. С использованием численных методов обработки изображений проведён анализ параметров исследуемой сетчатой структуры. На прикладі квазирівноважної стаціонарної конденсації міді у йонно-плазмовому розпорошувачі досліджено новий механізм утворення фази. Показано, що за малої густини центрів кристалізації на підложжі утворюється сітчаста структура, що є результатом ієрархічної конденсації, під час якої спочатку утворюються малі кластери зародків фази, а потім на їх межі відбувається вторинна конденсація, яка багаторазово повторюється надалі. З використанням чисельних метод оброблення зображень виконано аналізу параметрів досліджуваної сітчастої структури. Copper condensates are fabricated to demonstrate that specific network structure is formed as a result of self-assembly in the course of deposition. As shown, at the low density of crystallization centres, condensate forms a branching structure as a result of hierarchical condensation. During such a process, condensation starts with small nuclei clusters of a new phase, and it is continuing repeatedly on the boundaries of primary formed clusters. For statistical analysis of the obtained branching structure, numerical methods are used. ru Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Металлофизика и новейшие технологии Металлические поверхности и плёнки Статистический анализ структуры металлических конденсатов, полученных распылением при фазовом равновесии The Statistical Analysis of Structure of the Metal Condensates Obtained by a Sputtering at Phase Equilibrium Article published earlier |
| spellingShingle | Статистический анализ структуры металлических конденсатов, полученных распылением при фазовом равновесии Олемской, А.И. Борисюк, В.Н. Ющенко, О.В. Жиленко, Т.И. Металлические поверхности и плёнки |
| title | Статистический анализ структуры металлических конденсатов, полученных распылением при фазовом равновесии |
| title_alt | The Statistical Analysis of Structure of the Metal Condensates Obtained by a Sputtering at Phase Equilibrium |
| title_full | Статистический анализ структуры металлических конденсатов, полученных распылением при фазовом равновесии |
| title_fullStr | Статистический анализ структуры металлических конденсатов, полученных распылением при фазовом равновесии |
| title_full_unstemmed | Статистический анализ структуры металлических конденсатов, полученных распылением при фазовом равновесии |
| title_short | Статистический анализ структуры металлических конденсатов, полученных распылением при фазовом равновесии |
| title_sort | статистический анализ структуры металлических конденсатов, полученных распылением при фазовом равновесии |
| topic | Металлические поверхности и плёнки |
| topic_facet | Металлические поверхности и плёнки |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/167706 |
| work_keys_str_mv | AT olemskoiai statističeskiianalizstrukturymetalličeskihkondensatovpolučennyhraspyleniemprifazovomravnovesii AT borisûkvn statističeskiianalizstrukturymetalličeskihkondensatovpolučennyhraspyleniemprifazovomravnovesii AT ûŝenkoov statističeskiianalizstrukturymetalličeskihkondensatovpolučennyhraspyleniemprifazovomravnovesii AT žilenkoti statističeskiianalizstrukturymetalličeskihkondensatovpolučennyhraspyleniemprifazovomravnovesii AT olemskoiai thestatisticalanalysisofstructureofthemetalcondensatesobtainedbyasputteringatphaseequilibrium AT borisûkvn thestatisticalanalysisofstructureofthemetalcondensatesobtainedbyasputteringatphaseequilibrium AT ûŝenkoov thestatisticalanalysisofstructureofthemetalcondensatesobtainedbyasputteringatphaseequilibrium AT žilenkoti thestatisticalanalysisofstructureofthemetalcondensatesobtainedbyasputteringatphaseequilibrium |