Структурно-фазовые превращения в наноразмерной системе Cu/Cr при термическом и ионном воздействиях

Структурно-фазовые превращения в наноразмерной системе Cu/Cr при термическом и ионном воздействиях

Исследованы особенности формирования структуры и фазового состава системы Cu(25 нм)/Cr(25 нм) при отжиге в вакууме в широком температурном интервале. Зафиксировано развитие окислительно-восстановительных процессов, которые можно эффективно контролировать путём использования дополнительной ионно-плаз...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Металлофизика и новейшие технологии
Дата:2019
Автори: Круглов, И.А., Котенко, И.Е., Грищенко, В.А., Сидоренко, С.И., Волошко, С.М.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2019
Теми:
Phase transformations
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/167739
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Структурно-фазовые превращения в наноразмерной системе Cu/Cr при термическом и ионном воздействиях / И.А. Круглов, И.Е. Котенко, В.А. Грищенко, С.И. Сидоренко, С.М. Волошко // Metallophysics and Advanced Technologies. — 2019. — Т. 41, № 1. — С. 1-11. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-167739
record_format dspace
spelling Круглов, И.А.
Котенко, И.Е.
Грищенко, В.А.
Сидоренко, С.И.
Волошко, С.М.
2020-04-07T15:01:55Z
2020-04-07T15:01:55Z
2019
Структурно-фазовые превращения в наноразмерной системе Cu/Cr при термическом и ионном воздействиях / И.А. Круглов, И.Е. Котенко, В.А. Грищенко, С.И. Сидоренко, С.М. Волошко // Metallophysics and Advanced Technologies. — 2019. — Т. 41, № 1. — С. 1-11. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.
1024-1809
PACS numbers: 61.80.Jh, 64.70.kd, 68.35.Rh, 81.40.Ef, 81.40.Wx, 81.65.M
DOI: https://doi.org/10.15407/mfint.41.01.0001
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/167739
Исследованы особенности формирования структуры и фазового состава системы Cu(25 нм)/Cr(25 нм) при отжиге в вакууме в широком температурном интервале. Зафиксировано развитие окислительно-восстановительных процессов, которые можно эффективно контролировать путём использования дополнительной ионно-плазменной обработки. Низкоэнергетическое ионное воздействие позволяет также стабилизировать нанокристаллическую структуру путём торможения процессов рекристаллизации и таким образом повысить термическую стабильность рабочих плёночных элементов микро- и наноэлектронных устройств.
Досліджено особливості формування структури та фазового складу системи Cu(25 нм)/Cr(25 нм) при відпалі у вакуумі в широкому температурному інтервалі. Зафіксовано розвиток окиснювально-відновних процесів, які можна ефективно контролювати шляхом використання додаткового йонно-плазмового оброблення. Низькоенергетичний йонний вплив уможливлює також стабілізувати нанокристалічну структуру шляхом гальмування процесів рекристалізації і таким чином підвищити термічну стабільність робочих плівкових елементів мікро- та наноелектронних пристроїв.
The features of the structure and phase composition formation in the Cu(25 nm)/Cr(25 nm) system during annealing in a vacuum over a wide temperature range are investigated. The development of redox processes, which can be effectively controlled by using additional ion-plasma treatment, is registered. The low-energy ion impact allows stabilizing the nanocrystalline structure by inhibiting the recrystallization processes and, thereby, to increase the thermal stability of the working film elements of micro- and nanoelectronic devices.
Работа выполнена в рамках госбюджетных тем 0118U000220 и 0118U000221 Министерства образования и науки Украины.
ru
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
Металлофизика и новейшие технологии
Phase transformations
Структурно-фазовые превращения в наноразмерной системе Cu/Cr при термическом и ионном воздействиях
Структурно-фазові перетворення в нанорозмірній системі Cu/Cr за термічного та йонного впливів
Structural and Phase Transformations in Nanoscale Cu/Cr System under Heat and Ion Actions
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Структурно-фазовые превращения в наноразмерной системе Cu/Cr при термическом и ионном воздействиях
spellingShingle Структурно-фазовые превращения в наноразмерной системе Cu/Cr при термическом и ионном воздействиях
Круглов, И.А.
Котенко, И.Е.
Грищенко, В.А.
Сидоренко, С.И.
Волошко, С.М.
Phase transformations
title_short Структурно-фазовые превращения в наноразмерной системе Cu/Cr при термическом и ионном воздействиях
title_full Структурно-фазовые превращения в наноразмерной системе Cu/Cr при термическом и ионном воздействиях
title_fullStr Структурно-фазовые превращения в наноразмерной системе Cu/Cr при термическом и ионном воздействиях
title_full_unstemmed Структурно-фазовые превращения в наноразмерной системе Cu/Cr при термическом и ионном воздействиях
title_sort структурно-фазовые превращения в наноразмерной системе cu/cr при термическом и ионном воздействиях
author Круглов, И.А.
Котенко, И.Е.
Грищенко, В.А.
Сидоренко, С.И.
Волошко, С.М.
author_facet Круглов, И.А.
Котенко, И.Е.
Грищенко, В.А.
Сидоренко, С.И.
Волошко, С.М.
topic Phase transformations
topic_facet Phase transformations
publishDate 2019
language Russian
container_title Металлофизика и новейшие технологии
publisher Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
format Article
title_alt Структурно-фазові перетворення в нанорозмірній системі Cu/Cr за термічного та йонного впливів
Structural and Phase Transformations in Nanoscale Cu/Cr System under Heat and Ion Actions
description Исследованы особенности формирования структуры и фазового состава системы Cu(25 нм)/Cr(25 нм) при отжиге в вакууме в широком температурном интервале. Зафиксировано развитие окислительно-восстановительных процессов, которые можно эффективно контролировать путём использования дополнительной ионно-плазменной обработки. Низкоэнергетическое ионное воздействие позволяет также стабилизировать нанокристаллическую структуру путём торможения процессов рекристаллизации и таким образом повысить термическую стабильность рабочих плёночных элементов микро- и наноэлектронных устройств. Досліджено особливості формування структури та фазового складу системи Cu(25 нм)/Cr(25 нм) при відпалі у вакуумі в широкому температурному інтервалі. Зафіксовано розвиток окиснювально-відновних процесів, які можна ефективно контролювати шляхом використання додаткового йонно-плазмового оброблення. Низькоенергетичний йонний вплив уможливлює також стабілізувати нанокристалічну структуру шляхом гальмування процесів рекристалізації і таким чином підвищити термічну стабільність робочих плівкових елементів мікро- та наноелектронних пристроїв. The features of the structure and phase composition formation in the Cu(25 nm)/Cr(25 nm) system during annealing in a vacuum over a wide temperature range are investigated. The development of redox processes, which can be effectively controlled by using additional ion-plasma treatment, is registered. The low-energy ion impact allows stabilizing the nanocrystalline structure by inhibiting the recrystallization processes and, thereby, to increase the thermal stability of the working film elements of micro- and nanoelectronic devices.
issn 1024-1809
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/167739
citation_txt Структурно-фазовые превращения в наноразмерной системе Cu/Cr при термическом и ионном воздействиях / И.А. Круглов, И.Е. Котенко, В.А. Грищенко, С.И. Сидоренко, С.М. Волошко // Metallophysics and Advanced Technologies. — 2019. — Т. 41, № 1. — С. 1-11. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT kruglovia strukturnofazovyeprevraŝeniâvnanorazmernoisistemecucrpritermičeskomiionnomvozdeistviâh
AT kotenkoie strukturnofazovyeprevraŝeniâvnanorazmernoisistemecucrpritermičeskomiionnomvozdeistviâh
AT griŝenkova strukturnofazovyeprevraŝeniâvnanorazmernoisistemecucrpritermičeskomiionnomvozdeistviâh
AT sidorenkosi strukturnofazovyeprevraŝeniâvnanorazmernoisistemecucrpritermičeskomiionnomvozdeistviâh
AT vološkosm strukturnofazovyeprevraŝeniâvnanorazmernoisistemecucrpritermičeskomiionnomvozdeistviâh
AT kruglovia strukturnofazovíperetvorennâvnanorozmírníisistemícucrzatermíčnogotaionnogovplivív
AT kotenkoie strukturnofazovíperetvorennâvnanorozmírníisistemícucrzatermíčnogotaionnogovplivív
AT griŝenkova strukturnofazovíperetvorennâvnanorozmírníisistemícucrzatermíčnogotaionnogovplivív
AT sidorenkosi strukturnofazovíperetvorennâvnanorozmírníisistemícucrzatermíčnogotaionnogovplivív
AT vološkosm strukturnofazovíperetvorennâvnanorozmírníisistemícucrzatermíčnogotaionnogovplivív
AT kruglovia structuralandphasetransformationsinnanoscalecucrsystemunderheatandionactions
AT kotenkoie structuralandphasetransformationsinnanoscalecucrsystemunderheatandionactions
AT griŝenkova structuralandphasetransformationsinnanoscalecucrsystemunderheatandionactions
AT sidorenkosi structuralandphasetransformationsinnanoscalecucrsystemunderheatandionactions
AT vološkosm structuralandphasetransformationsinnanoscalecucrsystemunderheatandionactions
first_indexed 2025-12-07T20:38:54Z
last_indexed 2025-12-07T20:38:54Z
_version_ 1850883372084101120

Схожі ресурси