Вторично-ионная эмиссия: матричный эффект

• Published in: Успехи физики металлов
• Date: 2018
• Main Authors: Черепин, В.Т., Васильев, М.А., Сидоренко, С.И., Волошко, С.М., Круглов, И.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2018
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/167918
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Вторично-ионная эмиссия: матричный эффект / В.Т. Черепин, М.А. Васильев, С.И. Сидоренко, С.М. Волошко, И.А. Круглов // Progress in Physics of Metals. — 2018. — Vol. 19, No 4. — P. 418-441. — Bibliog.: 43 titles. — рос.

В статье описана физическая природа зависимости вероятности ионизации распыл нных атомов от атомной и электронной структур металлической мишени, бомбардируемой ионами нейтральных газов (матричный эффект). Проведен систематический анализ литературных данных и результатов авторов данного обзора, полученных при исследовании вторичной ионной эмиссии (ВИЭ) чистых металлов, разбавленных твердых растворов и концентрированных сплавов. У статті описано фізичну природу залежности ймовірности йонізації розпорошених атомів від атомарної й електронної структур металевої мішені, бомбардовувано ї йонами нейтральних газів (матричний ефект). Проведено систематичну аналізу літературних даних і результатів авторів даного огляду, одержаних при дослідженні вторинної йонної емісії (ВЙЕ) чистих металів, розбавлених твердих розчинів і концентрованих стопів. The paper is concerned with the description of the physical nature of the dependence of the sputtered-atoms’ ionization probability on the atomic and electronic structures of a metal target bombarded with ions of neutral gases (matrix effect). A systematic analysis of the literature data and results of authors of this review is carried studying the secondary ion emission (SIE) of pure metals, dilute solid solutions, and concentrated alloys.