Рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 K
Использован метод рентгеновской дифракции в стандартной геометрии Вульфа - Брэгга для исследования плотности дефектов в приповерхностных слоях деформированных монокристаллов германия и кремния. Исследования поверхности рентгеновских максимумов в системе подвижного образца и неподвижного детектора по...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Физика и техника высоких давлений |
|---|---|
| Дата: | 2003 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України
2003
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/167965 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 K / В.А. Надточий, И.В. Жихарев, Н.Н. Голоденко, Н.С. Киселев // Физика и техника высоких давлений. — 2003. — Т. 13, № 1. — С. 91-95. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862555342147158016 |
|---|---|
| author | Надточий, В.А. Жихарев, И.В. Голоденко, Н.Н. Киселев, Н.С. |
| author_facet | Надточий, В.А. Жихарев, И.В. Голоденко, Н.Н. Киселев, Н.С. |
| citation_txt | Рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 K / В.А. Надточий, И.В. Жихарев, Н.Н. Голоденко, Н.С. Киселев // Физика и техника высоких давлений. — 2003. — Т. 13, № 1. — С. 91-95. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Физика и техника высоких давлений |
| description | Использован метод рентгеновской дифракции в стандартной геометрии Вульфа - Брэгга для исследования плотности дефектов в приповерхностных слоях деформированных монокристаллов германия и кремния. Исследования поверхности рентгеновских максимумов в системе подвижного образца и неподвижного детектора показали, что распределения интенсивностей пучков, отраженных от поверхностей деформированных и недеформированных кристаллов, отличаются. По виду кривых распределения интенсивностей в максимуме рентгеновских рефлексов эталонного и исследуемого образцов можно дать качественную оценку увеличения плотности дефектов.
X-ray diffraction method in standard Bragg geometry was used to investigate the density of defects in subsurface layers of deformed Ge and Si single crystals. X-ray maxima distribution was explored in the movable sample and motionless detector system. It was shown that intensity distributions of X-ray beams reflected from the surfaces of deformed and undeformed samples were different. Qualitative estimation of defects density in deformed crystal can be made by examination of X-ray reflexes intensity distributions on deformed and undeformed samples
|
| first_indexed | 2025-11-25T22:29:26Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-167965 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 0868-5924 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-25T22:29:26Z |
| publishDate | 2003 |
| publisher | Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Надточий, В.А. Жихарев, И.В. Голоденко, Н.Н. Киселев, Н.С. 2020-04-18T07:53:46Z 2020-04-18T07:53:46Z 2003 Рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 K / В.А. Надточий, И.В. Жихарев, Н.Н. Голоденко, Н.С. Киселев // Физика и техника высоких давлений. — 2003. — Т. 13, № 1. — С. 91-95. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 0868-5924 PACS: 71.10.-W https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/167965 Использован метод рентгеновской дифракции в стандартной геометрии Вульфа - Брэгга для исследования плотности дефектов в приповерхностных слоях деформированных монокристаллов германия и кремния. Исследования поверхности рентгеновских максимумов в системе подвижного образца и неподвижного детектора показали, что распределения интенсивностей пучков, отраженных от поверхностей деформированных и недеформированных кристаллов, отличаются. По виду кривых распределения интенсивностей в максимуме рентгеновских рефлексов эталонного и исследуемого образцов можно дать качественную оценку увеличения плотности дефектов. X-ray diffraction method in standard Bragg geometry was used to investigate the density of defects in subsurface layers of deformed Ge and Si single crystals. X-ray maxima distribution was explored in the movable sample and motionless detector system. It was shown that intensity distributions of X-ray beams reflected from the surfaces of deformed and undeformed samples were different. Qualitative estimation of defects density in deformed crystal can be made by examination of X-ray reflexes intensity distributions on deformed and undeformed samples ru Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України Физика и техника высоких давлений Рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 K Рентгенівське дослідження дефектів структури у приповерхневих шарах монокристалів германію та кремнію, деформованих при 310 К X-ray investigation of structure defects in subsurface layers of germanium and silicium single crystals deformed at 310 K Article published earlier |
| spellingShingle | Рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 K Надточий, В.А. Жихарев, И.В. Голоденко, Н.Н. Киселев, Н.С. |
| title | Рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 K |
| title_alt | Рентгенівське дослідження дефектів структури у приповерхневих шарах монокристалів германію та кремнію, деформованих при 310 К X-ray investigation of structure defects in subsurface layers of germanium and silicium single crystals deformed at 310 K |
| title_full | Рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 K |
| title_fullStr | Рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 K |
| title_full_unstemmed | Рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 K |
| title_short | Рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 K |
| title_sort | рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 k |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/167965 |
| work_keys_str_mv | AT nadtočiiva rentgenovskieissledovaniâdefektovstrukturyvpripoverhnostnyhsloâhmonokristallovgermaniâikremniâdeformirovannyhpri310k AT žihareviv rentgenovskieissledovaniâdefektovstrukturyvpripoverhnostnyhsloâhmonokristallovgermaniâikremniâdeformirovannyhpri310k AT golodenkonn rentgenovskieissledovaniâdefektovstrukturyvpripoverhnostnyhsloâhmonokristallovgermaniâikremniâdeformirovannyhpri310k AT kiselevns rentgenovskieissledovaniâdefektovstrukturyvpripoverhnostnyhsloâhmonokristallovgermaniâikremniâdeformirovannyhpri310k AT nadtočiiva rentgenívsʹkedoslídžennâdefektívstrukturiupripoverhnevihšarahmonokristalívgermaníûtakremníûdeformovanihpri310k AT žihareviv rentgenívsʹkedoslídžennâdefektívstrukturiupripoverhnevihšarahmonokristalívgermaníûtakremníûdeformovanihpri310k AT golodenkonn rentgenívsʹkedoslídžennâdefektívstrukturiupripoverhnevihšarahmonokristalívgermaníûtakremníûdeformovanihpri310k AT kiselevns rentgenívsʹkedoslídžennâdefektívstrukturiupripoverhnevihšarahmonokristalívgermaníûtakremníûdeformovanihpri310k AT nadtočiiva xrayinvestigationofstructuredefectsinsubsurfacelayersofgermaniumandsiliciumsinglecrystalsdeformedat310k AT žihareviv xrayinvestigationofstructuredefectsinsubsurfacelayersofgermaniumandsiliciumsinglecrystalsdeformedat310k AT golodenkonn xrayinvestigationofstructuredefectsinsubsurfacelayersofgermaniumandsiliciumsinglecrystalsdeformedat310k AT kiselevns xrayinvestigationofstructuredefectsinsubsurfacelayersofgermaniumandsiliciumsinglecrystalsdeformedat310k |