Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки

• Published in: Физика и техника высоких давлений
• Date: 2017
• Main Authors: Прудников, А.М., Шалаев, Р.В., Линник, А.И., Сироткин, В.В., Пасько, М.И.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України 2017
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/168126
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки / А.М. Прудников, Р.В. Шалаев, А.И. Линник, В.В. Сироткин, М.И. Пасько // Физика и техника высоких давлений. — 2017. — Т. 27, № 1. — С. 77-89. — Бібліогр.: 15 назв. — рос.

Проведено исследование модификации наноструктуры пленок нитрида углерода CNx под влиянием термической обработки на воздухе. Показано, что кратковременная термообработка пленки вызывает травление кислородом аморфной фазы и формирование разделенной наноколонарной наноструктуры. Обнаружено, что предварительное ультрафиолетовое (УФ) облучение поверхности пленки перед термообработкой позволяет значительно увеличить концентрацию связанного азота в материале. The modification of the nanostructure of carbon nitride films CNx under the influence of heat treatment on the air is investigated in the paper. It is shown that short heat treatment of film results in oxygen etching of amorphous phase and formation of separated nanocolumnar nanostructure. It is found that preliminary UV-irradiation of the film surface before the heat treatment can significantly increase the concentration of bounded nitrogen in the material.