Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки
Проведено исследование модификации наноструктуры пленок нитрида углерода CNx под влиянием термической обработки на воздухе. Показано, что кратковременная термообработка пленки вызывает травление кислородом аморфной фазы и формирование разделенной наноколонарной наноструктуры. Обнаружено, что предвар...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Физика и техника высоких давлений |
|---|---|
| Дата: | 2017 |
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України
2017
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/168126 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки / А.М. Прудников, Р.В. Шалаев, А.И. Линник, В.В. Сироткин, М.И. Пасько // Физика и техника высоких давлений. — 2017. — Т. 27, № 1. — С. 77-89. — Бібліогр.: 15 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862662802152357888 |
|---|---|
| author | Прудников, А.М. Шалаев, Р.В. Линник, А.И. Сироткин, В.В. Пасько, М.И. |
| author_facet | Прудников, А.М. Шалаев, Р.В. Линник, А.И. Сироткин, В.В. Пасько, М.И. |
| citation_txt | Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки / А.М. Прудников, Р.В. Шалаев, А.И. Линник, В.В. Сироткин, М.И. Пасько // Физика и техника высоких давлений. — 2017. — Т. 27, № 1. — С. 77-89. — Бібліогр.: 15 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Физика и техника высоких давлений |
| description | Проведено исследование модификации наноструктуры пленок нитрида углерода CNx под влиянием термической обработки на воздухе. Показано, что кратковременная термообработка пленки вызывает травление кислородом аморфной фазы и формирование разделенной наноколонарной наноструктуры. Обнаружено, что предварительное ультрафиолетовое (УФ) облучение поверхности пленки перед термообработкой позволяет значительно увеличить концентрацию связанного азота в материале.
The modification of the nanostructure of carbon nitride films CNx under the influence of heat treatment on the air is investigated in the paper. It is shown that short heat treatment of film results in oxygen etching of amorphous phase and formation of separated nanocolumnar nanostructure. It is found that preliminary UV-irradiation of the film surface before the heat treatment can significantly increase the concentration of bounded nitrogen in the material.
|
| first_indexed | 2025-12-02T14:23:04Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-168126 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 0868-5924 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-02T14:23:04Z |
| publishDate | 2017 |
| publisher | Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Прудников, А.М. Шалаев, Р.В. Линник, А.И. Сироткин, В.В. Пасько, М.И. 2020-04-22T13:46:26Z 2020-04-22T13:46:26Z 2017 Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки / А.М. Прудников, Р.В. Шалаев, А.И. Линник, В.В. Сироткин, М.И. Пасько // Физика и техника высоких давлений. — 2017. — Т. 27, № 1. — С. 77-89. — Бібліогр.: 15 назв. — рос. 0868-5924 PACS: 81.15.Cd, 61.46.–w https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/168126 Проведено исследование модификации наноструктуры пленок нитрида углерода CNx под влиянием термической обработки на воздухе. Показано, что кратковременная термообработка пленки вызывает травление кислородом аморфной фазы и формирование разделенной наноколонарной наноструктуры. Обнаружено, что предварительное ультрафиолетовое (УФ) облучение поверхности пленки перед термообработкой позволяет значительно увеличить концентрацию связанного азота в материале. The modification of the nanostructure of carbon nitride films CNx under the influence of heat treatment on the air is investigated in the paper. It is shown that short heat treatment of film results in oxygen etching of amorphous phase and formation of separated nanocolumnar nanostructure. It is found that preliminary UV-irradiation of the film surface before the heat treatment can significantly increase the concentration of bounded nitrogen in the material. ru Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України Физика и техника высоких давлений Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки Structural modification of the carbon nitride films under the influence of thermal treatment Article published earlier |
| spellingShingle | Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки Прудников, А.М. Шалаев, Р.В. Линник, А.И. Сироткин, В.В. Пасько, М.И. |
| title | Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки |
| title_alt | Structural modification of the carbon nitride films under the influence of thermal treatment |
| title_full | Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки |
| title_fullStr | Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки |
| title_full_unstemmed | Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки |
| title_short | Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки |
| title_sort | структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/168126 |
| work_keys_str_mv | AT prudnikovam strukturnaâmodifikaciâplenoknitridauglerodapodvliâniemtermoobrabotki AT šalaevrv strukturnaâmodifikaciâplenoknitridauglerodapodvliâniemtermoobrabotki AT linnikai strukturnaâmodifikaciâplenoknitridauglerodapodvliâniemtermoobrabotki AT sirotkinvv strukturnaâmodifikaciâplenoknitridauglerodapodvliâniemtermoobrabotki AT pasʹkomi strukturnaâmodifikaciâplenoknitridauglerodapodvliâniemtermoobrabotki AT prudnikovam structuralmodificationofthecarbonnitridefilmsundertheinfluenceofthermaltreatment AT šalaevrv structuralmodificationofthecarbonnitridefilmsundertheinfluenceofthermaltreatment AT linnikai structuralmodificationofthecarbonnitridefilmsundertheinfluenceofthermaltreatment AT sirotkinvv structuralmodificationofthecarbonnitridefilmsundertheinfluenceofthermaltreatment AT pasʹkomi structuralmodificationofthecarbonnitridefilmsundertheinfluenceofthermaltreatment |