Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки

Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки

Проведено исследование модификации наноструктуры пленок нитрида углерода CNx под влиянием термической обработки на воздухе. Показано, что кратковременная термообработка пленки вызывает травление кислородом аморфной фазы и формирование разделенной наноколонарной наноструктуры. Обнаружено, что предвар...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Физика и техника высоких давлений
Date:2017
Main Authors: Прудников, А.М., Шалаев, Р.В., Линник, А.И., Сироткин, В.В., Пасько, М.И.
Format: Article
Language:Russian
Published: Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України 2017
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/168126
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки / А.М. Прудников, Р.В. Шалаев, А.И. Линник, В.В. Сироткин, М.И. Пасько // Физика и техника высоких давлений. — 2017. — Т. 27, № 1. — С. 77-89. — Бібліогр.: 15 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-168126
record_format dspace
spelling Прудников, А.М.
Шалаев, Р.В.
Линник, А.И.
Сироткин, В.В.
Пасько, М.И.
2020-04-22T13:46:26Z
2020-04-22T13:46:26Z
2017
Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки / А.М. Прудников, Р.В. Шалаев, А.И. Линник, В.В. Сироткин, М.И. Пасько // Физика и техника высоких давлений. — 2017. — Т. 27, № 1. — С. 77-89. — Бібліогр.: 15 назв. — рос.
0868-5924
PACS: 81.15.Cd, 61.46.–w
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/168126
Проведено исследование модификации наноструктуры пленок нитрида углерода CNx под влиянием термической обработки на воздухе. Показано, что кратковременная термообработка пленки вызывает травление кислородом аморфной фазы и формирование разделенной наноколонарной наноструктуры. Обнаружено, что предварительное ультрафиолетовое (УФ) облучение поверхности пленки перед термообработкой позволяет значительно увеличить концентрацию связанного азота в материале.
The modification of the nanostructure of carbon nitride films CNx under the influence of heat treatment on the air is investigated in the paper. It is shown that short heat treatment of film results in oxygen etching of amorphous phase and formation of separated nanocolumnar nanostructure. It is found that preliminary UV-irradiation of the film surface before the heat treatment can significantly increase the concentration of bounded nitrogen in the material.
ru
Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України
Физика и техника высоких давлений
Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки
Structural modification of the carbon nitride films under the influence of thermal treatment
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки
spellingShingle Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки
Прудников, А.М.
Шалаев, Р.В.
Линник, А.И.
Сироткин, В.В.
Пасько, М.И.
title_short Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки
title_full Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки
title_fullStr Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки
title_full_unstemmed Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки
title_sort структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки
author Прудников, А.М.
Шалаев, Р.В.
Линник, А.И.
Сироткин, В.В.
Пасько, М.И.
author_facet Прудников, А.М.
Шалаев, Р.В.
Линник, А.И.
Сироткин, В.В.
Пасько, М.И.
publishDate 2017
language Russian
container_title Физика и техника высоких давлений
publisher Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України
format Article
title_alt Structural modification of the carbon nitride films under the influence of thermal treatment
description Проведено исследование модификации наноструктуры пленок нитрида углерода CNx под влиянием термической обработки на воздухе. Показано, что кратковременная термообработка пленки вызывает травление кислородом аморфной фазы и формирование разделенной наноколонарной наноструктуры. Обнаружено, что предварительное ультрафиолетовое (УФ) облучение поверхности пленки перед термообработкой позволяет значительно увеличить концентрацию связанного азота в материале. The modification of the nanostructure of carbon nitride films CNx under the influence of heat treatment on the air is investigated in the paper. It is shown that short heat treatment of film results in oxygen etching of amorphous phase and formation of separated nanocolumnar nanostructure. It is found that preliminary UV-irradiation of the film surface before the heat treatment can significantly increase the concentration of bounded nitrogen in the material.
issn 0868-5924
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/168126
citation_txt Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки / А.М. Прудников, Р.В. Шалаев, А.И. Линник, В.В. Сироткин, М.И. Пасько // Физика и техника высоких давлений. — 2017. — Т. 27, № 1. — С. 77-89. — Бібліогр.: 15 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT prudnikovam strukturnaâmodifikaciâplenoknitridauglerodapodvliâniemtermoobrabotki
AT šalaevrv strukturnaâmodifikaciâplenoknitridauglerodapodvliâniemtermoobrabotki
AT linnikai strukturnaâmodifikaciâplenoknitridauglerodapodvliâniemtermoobrabotki
AT sirotkinvv strukturnaâmodifikaciâplenoknitridauglerodapodvliâniemtermoobrabotki
AT pasʹkomi strukturnaâmodifikaciâplenoknitridauglerodapodvliâniemtermoobrabotki
AT prudnikovam structuralmodificationofthecarbonnitridefilmsundertheinfluenceofthermaltreatment
AT šalaevrv structuralmodificationofthecarbonnitridefilmsundertheinfluenceofthermaltreatment
AT linnikai structuralmodificationofthecarbonnitridefilmsundertheinfluenceofthermaltreatment
AT sirotkinvv structuralmodificationofthecarbonnitridefilmsundertheinfluenceofthermaltreatment
AT pasʹkomi structuralmodificationofthecarbonnitridefilmsundertheinfluenceofthermaltreatment
first_indexed 2025-12-02T14:23:04Z
last_indexed 2025-12-02T14:23:04Z
_version_ 1850862706722078720

Similar Items