Cover Image

Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки

Проведено исследование модификации наноструктуры пленок нитрида углерода CNx под влиянием термической обработки на воздухе. Показано, что кратковременная термообработка пленки вызывает травление кислородом аморфной фазы и формирование разделенной наноколонарной наноструктуры. Обнаружено, что предвар...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Физика и техника высоких давлений
Date:2017
Main Authors: Прудников, А.М., Шалаев, Р.В., Линник, А.И., Сироткин, В.В., Пасько, М.И.
Format: Article
Language:Russian
Published: Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України 2017
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/168126
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки / А.М. Прудников, Р.В. Шалаев, А.И. Линник, В.В. Сироткин, М.И. Пасько // Физика и техника высоких давлений. — 2017. — Т. 27, № 1. — С. 77-89. — Бібліогр.: 15 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Similar Items

Similar Items