Влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода

• Published in: Физика и техника высоких давлений
• Date: 2017
• Main Authors: Изотов, А.И., Кильман, Г.В., Сироткин, В.В., Шалаев, Р.В., Прудников, А.М.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України 2017
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/168135
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода / А.И. Изотов, Г.В. Кильман, В.В. Сироткин, Р.В. Шалаев, А.М. Прудников // Физика и техника высоких давлений. — 2017. — Т. 27, № 2. — С. 22-26. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Исследовано влияние обработки сверхкритическим изопропанолом на оптические свойства пленок нитрида углерода, выращенных методом магнетронного распыления графитовой мишени на подложках из покровного стекла. Показано, что в результате обработки возросла прозрачность пленок, а также увеличилась ширина оптической щели вследствие избирательного стравливания sp²-гибридизированного углерода. The effect of supercritical isopropanol treatment on the optical properties of carbon nitride films is studied. The films are grown by magnetron sputtering of a graphite target on cover glass substrates. As a result of treatment, the transparency of the films is increased as well as the width of the optical gap due to selective etching of the sp²-hybridized carbon.