Влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода
Исследовано влияние обработки сверхкритическим изопропанолом на оптические свойства пленок нитрида углерода, выращенных методом магнетронного распыления графитовой мишени на подложках из покровного стекла. Показано, что в результате обработки возросла прозрачность пленок, а также увеличилась ширина...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Физика и техника высоких давлений |
|---|---|
| Datum: | 2017 |
| Hauptverfasser: | , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України
2017
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/168135 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода / А.И. Изотов, Г.В. Кильман, В.В. Сироткин, Р.В. Шалаев, А.М. Прудников // Физика и техника высоких давлений. — 2017. — Т. 27, № 2. — С. 22-26. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |