Особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных LSMO-пленок
Экспериментально изучены особенности контроля наноразмерной толщины пленок La₀.₇Sr₀.₃MnO₃ (LSMO) с помощью гравиметрического метода и SEM-изображений бокового скола пленки. Предложен косвенный метод контроля толщины пленок, основанный на анализе данных по относительному содержанию атомов в пленочных...
Saved in:
| Published in: | Физика и техника высоких давлений |
|---|---|
| Date: | 2017 |
| Main Authors: | , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України
2017
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/168173 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных LSMO-пленок / Ю.М. Николаенко, В.В. Бурховецкий, А.С. Корнеевец, Н.Б. Эфрос, И.Ю. Решидова, А.А. Тихий, И.В. Жихарев, В.В. Фарапонов // Физика и техника высоких давлений. — 2017. — Т. 27, № 4. — С. 116-122. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862713563115683840 |
|---|---|
| author | Николаенко, Ю.М. Бурховецкий, В.В. Корнеевец, А.С. Эфрос, Н.Б. Решидова, И.Ю. Тихий, А.А. Жихарев, И.В. Фарапонов, В.В. |
| author_facet | Николаенко, Ю.М. Бурховецкий, В.В. Корнеевец, А.С. Эфрос, Н.Б. Решидова, И.Ю. Тихий, А.А. Жихарев, И.В. Фарапонов, В.В. |
| citation_txt | Особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных LSMO-пленок / Ю.М. Николаенко, В.В. Бурховецкий, А.С. Корнеевец, Н.Б. Эфрос, И.Ю. Решидова, А.А. Тихий, И.В. Жихарев, В.В. Фарапонов // Физика и техника высоких давлений. — 2017. — Т. 27, № 4. — С. 116-122. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Физика и техника высоких давлений |
| description | Экспериментально изучены особенности контроля наноразмерной толщины пленок La₀.₇Sr₀.₃MnO₃ (LSMO) с помощью гравиметрического метода и SEM-изображений бокового скола пленки. Предложен косвенный метод контроля толщины пленок, основанный на анализе данных по относительному содержанию атомов в пленочных структурах, которое регистрируется энергодисперсионным спектрометром со стороны пленки. Для оценки малых толщин d < 100 nm теоретически рассмотрена возможность контроля толщины пленок по величине коэффициента пропускания оптического излучения с длиной волны 633 nm.
The features of measurement of nanoscale thickness of the La₀.₇Sr₀.₃MnO₃ (LSMO) films by the gravimetric method as well as with the help of the SEM images of film crosssection were investigated experimentally. We proposed a new indirect method of the film thickness control using analysis of the relative content of atoms in the film structure, which is registered by the energy dispersive spectrometer from the film side. For the estimation of small thickness d < 100 nm, we considered theoretically the possibility of the film thickness control the using values of transmission coefficient of optic radiation with the wavelength of 633 nm/
|
| first_indexed | 2025-12-07T17:44:36Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-168173 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 0868-5924 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T17:44:36Z |
| publishDate | 2017 |
| publisher | Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Николаенко, Ю.М. Бурховецкий, В.В. Корнеевец, А.С. Эфрос, Н.Б. Решидова, И.Ю. Тихий, А.А. Жихарев, И.В. Фарапонов, В.В. 2020-04-23T19:58:32Z 2020-04-23T19:58:32Z 2017 Особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных LSMO-пленок / Ю.М. Николаенко, В.В. Бурховецкий, А.С. Корнеевец, Н.Б. Эфрос, И.Ю. Решидова, А.А. Тихий, И.В. Жихарев, В.В. Фарапонов // Физика и техника высоких давлений. — 2017. — Т. 27, № 4. — С. 116-122. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. 0868-5924 PACS: 06.30.Вр, 68.37.Hk,78.66.–w https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/168173 Экспериментально изучены особенности контроля наноразмерной толщины пленок La₀.₇Sr₀.₃MnO₃ (LSMO) с помощью гравиметрического метода и SEM-изображений бокового скола пленки. Предложен косвенный метод контроля толщины пленок, основанный на анализе данных по относительному содержанию атомов в пленочных структурах, которое регистрируется энергодисперсионным спектрометром со стороны пленки. Для оценки малых толщин d < 100 nm теоретически рассмотрена возможность контроля толщины пленок по величине коэффициента пропускания оптического излучения с длиной волны 633 nm. The features of measurement of nanoscale thickness of the La₀.₇Sr₀.₃MnO₃ (LSMO) films by the gravimetric method as well as with the help of the SEM images of film crosssection were investigated experimentally. We proposed a new indirect method of the film thickness control using analysis of the relative content of atoms in the film structure, which is registered by the energy dispersive spectrometer from the film side. For the estimation of small thickness d < 100 nm, we considered theoretically the possibility of the film thickness control the using values of transmission coefficient of optic radiation with the wavelength of 633 nm/ ru Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України Физика и техника высоких давлений Особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных LSMO-пленок The features of methods for the thickness control of thin epitaxial LSMO films Article published earlier |
| spellingShingle | Особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных LSMO-пленок Николаенко, Ю.М. Бурховецкий, В.В. Корнеевец, А.С. Эфрос, Н.Б. Решидова, И.Ю. Тихий, А.А. Жихарев, И.В. Фарапонов, В.В. |
| title | Особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных LSMO-пленок |
| title_alt | The features of methods for the thickness control of thin epitaxial LSMO films |
| title_full | Особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных LSMO-пленок |
| title_fullStr | Особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных LSMO-пленок |
| title_full_unstemmed | Особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных LSMO-пленок |
| title_short | Особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных LSMO-пленок |
| title_sort | особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных lsmo-пленок |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/168173 |
| work_keys_str_mv | AT nikolaenkoûm osobennostimetodovkontrolâtolŝinytonkihépitaksialʹnyhlsmoplenok AT burhoveckiivv osobennostimetodovkontrolâtolŝinytonkihépitaksialʹnyhlsmoplenok AT korneevecas osobennostimetodovkontrolâtolŝinytonkihépitaksialʹnyhlsmoplenok AT éfrosnb osobennostimetodovkontrolâtolŝinytonkihépitaksialʹnyhlsmoplenok AT rešidovaiû osobennostimetodovkontrolâtolŝinytonkihépitaksialʹnyhlsmoplenok AT tihiiaa osobennostimetodovkontrolâtolŝinytonkihépitaksialʹnyhlsmoplenok AT žihareviv osobennostimetodovkontrolâtolŝinytonkihépitaksialʹnyhlsmoplenok AT faraponovvv osobennostimetodovkontrolâtolŝinytonkihépitaksialʹnyhlsmoplenok AT nikolaenkoûm thefeaturesofmethodsforthethicknesscontrolofthinepitaxiallsmofilms AT burhoveckiivv thefeaturesofmethodsforthethicknesscontrolofthinepitaxiallsmofilms AT korneevecas thefeaturesofmethodsforthethicknesscontrolofthinepitaxiallsmofilms AT éfrosnb thefeaturesofmethodsforthethicknesscontrolofthinepitaxiallsmofilms AT rešidovaiû thefeaturesofmethodsforthethicknesscontrolofthinepitaxiallsmofilms AT tihiiaa thefeaturesofmethodsforthethicknesscontrolofthinepitaxiallsmofilms AT žihareviv thefeaturesofmethodsforthethicknesscontrolofthinepitaxiallsmofilms AT faraponovvv thefeaturesofmethodsforthethicknesscontrolofthinepitaxiallsmofilms |