Особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных LSMO-пленок

Особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных LSMO-пленок

Экспериментально изучены особенности контроля наноразмерной толщины пленок La₀.₇Sr₀.₃MnO₃ (LSMO) с помощью гравиметрического метода и SEM-изображений бокового скола пленки. Предложен косвенный метод контроля толщины пленок, основанный на анализе данных по относительному содержанию атомов в пленочных...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Физика и техника высоких давлений
Datum:2017
Hauptverfasser: Николаенко, Ю.М., Бурховецкий, В.В., Корнеевец, А.С., Эфрос, Н.Б., Решидова, И.Ю., Тихий, А.А., Жихарев, И.В., Фарапонов, В.В.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України 2017
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/168173
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных LSMO-пленок / Ю.М. Николаенко, В.В. Бурховецкий, А.С. Корнеевец, Н.Б. Эфрос, И.Ю. Решидова, А.А. Тихий, И.В. Жихарев, В.В. Фарапонов // Физика и техника высоких давлений. — 2017. — Т. 27, № 4. — С. 116-122. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-168173
record_format dspace
spelling Николаенко, Ю.М.
Бурховецкий, В.В.
Корнеевец, А.С.
Эфрос, Н.Б.
Решидова, И.Ю.
Тихий, А.А.
Жихарев, И.В.
Фарапонов, В.В.
2020-04-23T19:58:32Z
2020-04-23T19:58:32Z
2017
Особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных LSMO-пленок / Ю.М. Николаенко, В.В. Бурховецкий, А.С. Корнеевец, Н.Б. Эфрос, И.Ю. Решидова, А.А. Тихий, И.В. Жихарев, В.В. Фарапонов // Физика и техника высоких давлений. — 2017. — Т. 27, № 4. — С. 116-122. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.
0868-5924
PACS: 06.30.Вр, 68.37.Hk,78.66.–w
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/168173
Экспериментально изучены особенности контроля наноразмерной толщины пленок La₀.₇Sr₀.₃MnO₃ (LSMO) с помощью гравиметрического метода и SEM-изображений бокового скола пленки. Предложен косвенный метод контроля толщины пленок, основанный на анализе данных по относительному содержанию атомов в пленочных структурах, которое регистрируется энергодисперсионным спектрометром со стороны пленки. Для оценки малых толщин d < 100 nm теоретически рассмотрена возможность контроля толщины пленок по величине коэффициента пропускания оптического излучения с длиной волны 633 nm.
The features of measurement of nanoscale thickness of the La₀.₇Sr₀.₃MnO₃ (LSMO) films by the gravimetric method as well as with the help of the SEM images of film crosssection were investigated experimentally. We proposed a new indirect method of the film thickness control using analysis of the relative content of atoms in the film structure, which is registered by the energy dispersive spectrometer from the film side. For the estimation of small thickness d < 100 nm, we considered theoretically the possibility of the film thickness control the using values of transmission coefficient of optic radiation with the wavelength of 633 nm/
ru
Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України
Физика и техника высоких давлений
Особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных LSMO-пленок
The features of methods for the thickness control of thin epitaxial LSMO films
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных LSMO-пленок
spellingShingle Особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных LSMO-пленок
Николаенко, Ю.М.
Бурховецкий, В.В.
Корнеевец, А.С.
Эфрос, Н.Б.
Решидова, И.Ю.
Тихий, А.А.
Жихарев, И.В.
Фарапонов, В.В.
title_short Особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных LSMO-пленок
title_full Особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных LSMO-пленок
title_fullStr Особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных LSMO-пленок
title_full_unstemmed Особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных LSMO-пленок
title_sort особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных lsmo-пленок
author Николаенко, Ю.М.
Бурховецкий, В.В.
Корнеевец, А.С.
Эфрос, Н.Б.
Решидова, И.Ю.
Тихий, А.А.
Жихарев, И.В.
Фарапонов, В.В.
author_facet Николаенко, Ю.М.
Бурховецкий, В.В.
Корнеевец, А.С.
Эфрос, Н.Б.
Решидова, И.Ю.
Тихий, А.А.
Жихарев, И.В.
Фарапонов, В.В.
publishDate 2017
language Russian
container_title Физика и техника высоких давлений
publisher Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України
format Article
title_alt The features of methods for the thickness control of thin epitaxial LSMO films
description Экспериментально изучены особенности контроля наноразмерной толщины пленок La₀.₇Sr₀.₃MnO₃ (LSMO) с помощью гравиметрического метода и SEM-изображений бокового скола пленки. Предложен косвенный метод контроля толщины пленок, основанный на анализе данных по относительному содержанию атомов в пленочных структурах, которое регистрируется энергодисперсионным спектрометром со стороны пленки. Для оценки малых толщин d < 100 nm теоретически рассмотрена возможность контроля толщины пленок по величине коэффициента пропускания оптического излучения с длиной волны 633 nm. The features of measurement of nanoscale thickness of the La₀.₇Sr₀.₃MnO₃ (LSMO) films by the gravimetric method as well as with the help of the SEM images of film crosssection were investigated experimentally. We proposed a new indirect method of the film thickness control using analysis of the relative content of atoms in the film structure, which is registered by the energy dispersive spectrometer from the film side. For the estimation of small thickness d < 100 nm, we considered theoretically the possibility of the film thickness control the using values of transmission coefficient of optic radiation with the wavelength of 633 nm/
issn 0868-5924
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/168173
citation_txt Особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных LSMO-пленок / Ю.М. Николаенко, В.В. Бурховецкий, А.С. Корнеевец, Н.Б. Эфрос, И.Ю. Решидова, А.А. Тихий, И.В. Жихарев, В.В. Фарапонов // Физика и техника высоких давлений. — 2017. — Т. 27, № 4. — С. 116-122. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT nikolaenkoûm osobennostimetodovkontrolâtolŝinytonkihépitaksialʹnyhlsmoplenok
AT burhoveckiivv osobennostimetodovkontrolâtolŝinytonkihépitaksialʹnyhlsmoplenok
AT korneevecas osobennostimetodovkontrolâtolŝinytonkihépitaksialʹnyhlsmoplenok
AT éfrosnb osobennostimetodovkontrolâtolŝinytonkihépitaksialʹnyhlsmoplenok
AT rešidovaiû osobennostimetodovkontrolâtolŝinytonkihépitaksialʹnyhlsmoplenok
AT tihiiaa osobennostimetodovkontrolâtolŝinytonkihépitaksialʹnyhlsmoplenok
AT žihareviv osobennostimetodovkontrolâtolŝinytonkihépitaksialʹnyhlsmoplenok
AT faraponovvv osobennostimetodovkontrolâtolŝinytonkihépitaksialʹnyhlsmoplenok
AT nikolaenkoûm thefeaturesofmethodsforthethicknesscontrolofthinepitaxiallsmofilms
AT burhoveckiivv thefeaturesofmethodsforthethicknesscontrolofthinepitaxiallsmofilms
AT korneevecas thefeaturesofmethodsforthethicknesscontrolofthinepitaxiallsmofilms
AT éfrosnb thefeaturesofmethodsforthethicknesscontrolofthinepitaxiallsmofilms
AT rešidovaiû thefeaturesofmethodsforthethicknesscontrolofthinepitaxiallsmofilms
AT tihiiaa thefeaturesofmethodsforthethicknesscontrolofthinepitaxiallsmofilms
AT žihareviv thefeaturesofmethodsforthethicknesscontrolofthinepitaxiallsmofilms
AT faraponovvv thefeaturesofmethodsforthethicknesscontrolofthinepitaxiallsmofilms
first_indexed 2025-12-07T17:44:36Z
last_indexed 2025-12-07T17:44:36Z
_version_ 1850872405750185985

Ähnliche Einträge