Buchumschlag

Особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных LSMO-пленок

Экспериментально изучены особенности контроля наноразмерной толщины пленок La₀.₇Sr₀.₃MnO₃ (LSMO) с помощью гравиметрического метода и SEM-изображений бокового скола пленки. Предложен косвенный метод контроля толщины пленок, основанный на анализе данных по относительному содержанию атомов в пленочных...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Физика и техника высоких давлений
Datum:2017
Hauptverfasser: Николаенко, Ю.М., Бурховецкий, В.В., Корнеевец, А.С., Эфрос, Н.Б., Решидова, И.Ю., Тихий, А.А., Жихарев, И.В., Фарапонов, В.В.
Format: Artikel
Sprache:Russisch
Veröffentlicht: Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України 2017
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/168173
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных LSMO-пленок / Ю.М. Николаенко, В.В. Бурховецкий, А.С. Корнеевец, Н.Б. Эфрос, И.Ю. Решидова, А.А. Тихий, И.В. Жихарев, В.В. Фарапонов // Физика и техника высоких давлений. — 2017. — Т. 27, № 4. — С. 116-122. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Ähnliche Einträge