Особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных LSMO-пленок
Экспериментально изучены особенности контроля наноразмерной толщины пленок La₀.₇Sr₀.₃MnO₃ (LSMO) с помощью гравиметрического метода и SEM-изображений бокового скола пленки. Предложен косвенный метод контроля толщины пленок, основанный на анализе данных по относительному содержанию атомов в пленочных...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Физика и техника высоких давлений |
|---|---|
| Дата: | 2017 |
| Автори: | Николаенко, Ю.М., Бурховецкий, В.В., Корнеевец, А.С., Эфрос, Н.Б., Решидова, И.Ю., Тихий, А.А., Жихарев, И.В., Фарапонов, В.В. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України
2017
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/168173 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных LSMO-пленок / Ю.М. Николаенко, В.В. Бурховецкий, А.С. Корнеевец, Н.Б. Эфрос, И.Ю. Решидова, А.А. Тихий, И.В. Жихарев, В.В. Фарапонов // Физика и техника высоких давлений. — 2017. — Т. 27, № 4. — С. 116-122. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Оптические и магниторезистивные свойства поликристаллических LSMO пленок на кристаллических подложках Al₂O₃ и Gd₃Ga₅O₁₂
за авторством: Тихий, А.А., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Тихий, А.А., та інші
Опубліковано: (2014)
Управление неоднородным состоянием в эпитаксиальных пленках La₀.₇Sr₀.₃MnO₃₋δ
за авторством: Николаенко, Ю.М., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Николаенко, Ю.М., та інші
Опубліковано: (2017)
Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок
за авторством: Буданов, В.Е., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Буданов, В.Е., та інші
Опубліковано: (2007)
Микроволновый импеданс эпитаксиальных пленок высокотемпературных сверхпроводников
за авторством: Мелков, Г.А., та інші
Опубліковано: (1995)
за авторством: Мелков, Г.А., та інші
Опубліковано: (1995)
Нелинейные СВЧ свойства эпитаксиальных пленок ВТСП
за авторством: Мелков, Г.А., та інші
Опубліковано: (1997)
за авторством: Мелков, Г.А., та інші
Опубліковано: (1997)
Измерение толщины тонких углеродных фольг методом кварцевого резонатора
за авторством: Батурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Батурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2002)
Спектр поглощения тонких пленок KPb₂Cl₅
за авторством: Юнакова, О.Н., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Юнакова, О.Н., та інші
Опубліковано: (2015)
Нелинейно-упругое деформирование тонких композитных оболочек дискретно переменной толщины
за авторством: Луцкая, И.В., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Луцкая, И.В., та інші
Опубліковано: (2016)
Аномальный размерный эффект в проводимости пленок висмута малой толщины
за авторством: Анопченко, А.С., та інші
Опубліковано: (1995)
за авторством: Анопченко, А.С., та інші
Опубліковано: (1995)
Структура, состав и механические свойства тонких пленок диборидов переходных металлов
за авторством: Гончаров, А.А., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Гончаров, А.А., та інші
Опубліковано: (2015)
Резонансный метод определения толщин вакуумно-осажденных тонких пленок
за авторством: Кузьмин, А.В., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Кузьмин, А.В., та інші
Опубліковано: (2008)
Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N
за авторством: Дуб, С.Н., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Дуб, С.Н., та інші
Опубліковано: (2009)
Методика нанесения тонких фуллереновых пленок на циркониевые подложки
за авторством: Щур, Д.В., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Щур, Д.В., та інші
Опубліковано: (2010)
Структура и параметр решетки тонких пленок C₆₀
за авторством: Пугачев, А.Т., та інші
Опубліковано: (1999)
за авторством: Пугачев, А.Т., та інші
Опубліковано: (1999)
Получение тонких алмазных пленок при магнетронном распылении графитовой мишени
за авторством: Костановский, А.В., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Костановский, А.В., та інші
Опубліковано: (2008)
Количественное определение прочности сцепления тонких металлических пленок со стеклом
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2006)
Оптические свойства тонких плёнок диантимонида празеодима золотистой окраски
за авторством: Джабуа, З.У., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Джабуа, З.У., та інші
Опубліковано: (2012)
Магнитосопротивление ферромагнетиков и тонких многослойных пленок, обусловленное изменением модуля самопроизвольной намагниченности
за авторством: Власов, К.Б., та інші
Опубліковано: (1996)
за авторством: Власов, К.Б., та інші
Опубліковано: (1996)
Исследование кристаллической структуры тонких пленок органического полупроводника - дигидродибензотетраазааннулена
за авторством: Удовицкий, В.Г.
Опубліковано: (2008)
за авторством: Удовицкий, В.Г.
Опубліковано: (2008)
Применение технологии тонких пленок и наноструктурированных материалов при изготовлении теплонагруженных печатных плат
за авторством: Сахно, Э.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Сахно, Э.А., та інші
Опубліковано: (2011)
ИК спектры тонких пленок криоконденсатов изотопической смеси воды
за авторством: Алдияров, А., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Алдияров, А., та інші
Опубліковано: (2002)
Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
за авторством: Венгер, Е.Ф., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Венгер, Е.Ф., та інші
Опубліковано: (2014)
Фотоприемники ультрафиолетового излучения на основе тонких пленок ZnS
за авторством: Бобренко, Ю.Н., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Бобренко, Ю.Н., та інші
Опубліковано: (2009)
Гальваномагнитные свойства тонких пленок висмута, легированного теллуром
за авторством: Орлова, Д.С., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Орлова, Д.С., та інші
Опубліковано: (2009)
Исследование структуры и химического состава тонких поликристаллических пленок сульфида кадмия при γ-облучении
за авторством: Голованова, В.В., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Голованова, В.В., та інші
Опубліковано: (2015)
Оптимизация технологии “хлоридной” обработки тонких пленок халькогенидов кадмия
за авторством: Харченко, Н.М., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Харченко, Н.М., та інші
Опубліковано: (2008)
Взрывная кристаллизация тонких пленок полупроводников при облучении y-квантами
за авторством: Храмов, Е.Ф., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Храмов, Е.Ф., та інші
Опубліковано: (2003)
Структура тонких пленок С₆₀ на (100) NaCl
за авторством: Горбенко, Н.И., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Горбенко, Н.И., та інші
Опубліковано: (2002)
Рентгеновское исследование кристаллической структуры тонких пленок дибензотетрааза[14]аннулена
за авторством: Удовицкий, В.Г.
Опубліковано: (2003)
за авторством: Удовицкий, В.Г.
Опубліковано: (2003)
Зависимость критической температуры перехода от толщины сверхпроводящих пленок с различными длинами когерентности
за авторством: Прохоров, В.Г.
Опубліковано: (1998)
за авторством: Прохоров, В.Г.
Опубліковано: (1998)
Влияние толщины и температуры пленок фталоцианина меди на их свойства
за авторством: Alieva, Kh. S.
Опубліковано: (2012)
за авторством: Alieva, Kh. S.
Опубліковано: (2012)
Влияние толщины и температуры пленок фталоцианина меди на их свойства
за авторством: Алиева, Х.С.
Опубліковано: (2012)
за авторством: Алиева, Х.С.
Опубліковано: (2012)
Усиление наноструктурированной поверхностью серебра инфракрасного поглощения низкотемпературных тонких пленок урацила
за авторством: Иванов, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Иванов, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2016)
Вакуумное напыление тонких пленок органических полупроводников и исследование их структуры
за авторством: Орлов, В.Д., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Орлов, В.Д., та інші
Опубліковано: (2001)
Исследование элементного состава и диффузии компонент тонких пленок железоиттриевого граната
за авторством: Кириченко, В.Г., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Кириченко, В.Г., та інші
Опубліковано: (2014)
Определение пластических свойств тонких пленок по данным индентирования
за авторством: Валеева, И.К., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Валеева, И.К., та інші
Опубліковано: (2007)
X Международная конференция «Физика и технология тонких пленок»
за авторством: Харченко, Г.К.
Опубліковано: (2005)
за авторством: Харченко, Г.К.
Опубліковано: (2005)
Фотоприемники ультрафиолетового излучения на основе тонких пленок ZnS
за авторством: Bobrenko, Yu. N., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Bobrenko, Yu. N., та інші
Опубліковано: (2009)
Система фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок
за авторством: Semyonova, S. E., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Semyonova, S. E., та інші
Опубліковано: (2006)
Коррозия тонких пленок стали в кислотной среде под действием магнитного поля
за авторством: Андреева, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Андреева, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2010)
Схожі ресурси
-
Оптические и магниторезистивные свойства поликристаллических LSMO пленок на кристаллических подложках Al₂O₃ и Gd₃Ga₅O₁₂
за авторством: Тихий, А.А., та інші
Опубліковано: (2014) -
Управление неоднородным состоянием в эпитаксиальных пленках La₀.₇Sr₀.₃MnO₃₋δ
за авторством: Николаенко, Ю.М., та інші
Опубліковано: (2017) -
Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок
за авторством: Буданов, В.Е., та інші
Опубліковано: (2007) -
Микроволновый импеданс эпитаксиальных пленок высокотемпературных сверхпроводников
за авторством: Мелков, Г.А., та інші
Опубліковано: (1995) -
Нелинейные СВЧ свойства эпитаксиальных пленок ВТСП
за авторством: Мелков, Г.А., та інші
Опубліковано: (1997)