APA (7th ed.) Citation

Буранич, В., Шелест, И., Гончаров, А., Юнда, А., & Гончарова, С. (2018). Технологические особенности DC и RF магнетронного распыл. Журнал физики и инженерии поверхности.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Буранич, В.В, И.В Шелест, А.А Гончаров, А.Н Юнда, and С.А Гончарова. "Технологические особенности DC и RF магнетронного распыл." Журнал физики и инженерии поверхности 2018.

MLA (8th ed.) Citation

Буранич, В.В, et al. "Технологические особенности DC и RF магнетронного распыл." Журнал физики и инженерии поверхности, 2018.

Warning: These citations may not always be 100% accurate.