Буранич, В., Шелест, И., Гончаров, А., Юнда, А., & Гончарова, С. (2018). Технологические особенности DC и RF магнетронного распыл. Журнал физики и инженерии поверхности.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Буранич, В.В, И.В Шелест, А.А Гончаров, А.Н Юнда, und С.А Гончарова. "Технологические особенности DC и RF магнетронного распыл." Журнал физики и инженерии поверхности 2018.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Буранич, В.В, et al. "Технологические особенности DC и RF магнетронного распыл." Журнал физики и инженерии поверхности, 2018.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.