Зображення обкладинки

Технологические особенности DC и RF магнетронного распыл

Проведен анализ технологических особенностей процессов DC- и RF- магнетронных разрядов. Показано, что различия в образовании и поддержании плазменной оболочки оказывают различное воздействие на распыляемый и осаждаемый материал. Потенциалы плазмы и потоки частиц на подложку являются основными фактор...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Журнал физики и инженерии поверхности
Дата:	2018
Автори:	Буранич, В.В., Шелест, И.В., Гончаров, А.А., Юнда, А.Н., Гончарова, С.А.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2018
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/168200
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Технологические особенности DC и RF магнетронного распыл / В.В. Буранич, И.В. Шелест, А.А. Гончаров, А.Н. Юнда, С.А. Гончарова // Журнал фізики та інженерії поверхні. — 2018. — Т. 3, № 3. — С. 89-99. — Бібліогр.: 20 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа
за авторством: Гончаров, А.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Технологические особенности плазменно-индукционного выращивания крупных монокристаллов вольфрама
за авторством: Шаповалов, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)

О приоритете создания магнетронного генератора высокочастотных колебаний
за авторством: Глебова, А.Н.
Опубліковано: (2016)

Технологические особенности наплавки высоколегированных сплавов
за авторством: Бартенев, И.А.
Опубліковано: (2011)

ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ ЛИТЬЯ ЮВЕЛИРНЫХ ИЗДЕЛИЙ
за авторством: Батышев, К. А., та інші
Опубліковано: (2018)

Структура и фотокаталитические свойства наноплёнок диоксида титана, осаждённых методом реактивного магнетронного напыления
за авторством: Гончаров, А.А., та інші
Опубліковано: (2014)

Конструктивные и технологические особенности гидромеханического снаряда ударного типа
за авторством: Игнатов, А.А.
Опубліковано: (2013)

Технологические особенности электрошлаковой сварки титана в узкий зазор
за авторством: Протоковилов, И.В., та інші
Опубліковано: (2013)

Технологические особенности лазерной сварки среднеуглеродстой легированной стали
за авторством: Кулик, В.М., та інші
Опубліковано: (2012)

Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления
за авторством: Зыков, А.В., та інші
Опубліковано: (2015)

Технологические особенности сварки высоколегированных сталей электродами с рутиловым покрытием
за авторством: Ворновицкий, И.Н., та інші
Опубліковано: (2005)

Технологические особенности сварки деформируемых магниевых сплавов электронным лучом в вакууме
за авторством: Бондарев, А.А., та інші
Опубліковано: (2014)

Development of Technology for Vacuum Surface Conditioning by RF Plasma Discharge Combined with DC Discharge
за авторством: Yu. V. Kovtun, та інші
Опубліковано: (2021)

Технологические особенности производства биметаллических (многослойных) отливок повышенной износостойкости
за авторством: Ширяев, В.В., та інші
Опубліковано: (2009)

Технологические особенности разработки гипсовых месторождений в сложных условиях
за авторством: Амелин, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Технологические особенности дефектоскопии протяженных трубопроводов низкочастотными направленными волнами
за авторством: Бондаренко, А.И.
Опубліковано: (2009)

Технологические особенности локального упрочнения высокопрочного чугуна
за авторством: Самотугина, Ю.С.
Опубліковано: (2005)

Технологические особенности лазерной, микроплазменной и гибридной лазерно-микроплазменной сварки алюминиевых сплавов
за авторством: Шелягин, В.Д., та інші
Опубліковано: (2014)

Влияние режима магнетронного распыления и состава реакционного газа на структуру и свойства пленок ITO
за авторством: Бажин, А.И., та інші
Опубліковано: (2012)

Научно-технологические системы постсоциалистических стран: анализ трансформационных аспектов
за авторством: Кавуненко, Л.Ф., та інші
Опубліковано: (2008)

Технологические особенности выплавки низкосернистой стали с использованием обессеренного магнием чугуна
за авторством: Вергун, А.С., та інші
Опубліковано: (2008)

Технологические и металлургические особенности выплавки слитков титановых сплавов в электрошлаковых печах камерного типа
за авторством: Протоковилов, И.В., та інші
Опубліковано: (2018)

Технологические особенности процессов автоматизированной дуговой сварки при ремонте крупногабаритных резервуаров
за авторством: Илюшенко, В.М., та інші
Опубліковано: (2007)

Іонно-плазмова система для реактивного магнетронного нанесення покриттів
за авторством: Яковін, С.Д., та інші
Опубліковано: (2014)

Some aspects of deposition of conductive, dielectric and protective coatings on insulators with using arc discharge dc and RF bias
за авторством: Taran, V.S., та інші
Опубліковано: (2017)

Эволюция структуры пленок Мо, полученных методом магнетронного распылении на a-Si
за авторством: Севрюкова, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)

История возникновения, технологические особенности и технические возможности первых способов пайки
за авторством: Жадкевич, А.М.
Опубліковано: (2004)

Получение и свойства магнетронного хромового покрытия на рабочих поверхностях силового титанового гидроцилиндра
за авторством: Гришкевич, А.Д., та інші
Опубліковано: (2014)

Исследование зависимости усталости магнетронного хромового покрытия от его механических свойств
за авторством: Гришкевич, А.Д.
Опубліковано: (2014)

Электромагнитные и электроразрядные технологические установки
за авторством: Божко, И.В., та інші
Опубліковано: (2011)

Вивчення процесу синтезу нанокристалічних плівок двооксиду титану в розряді магнетронного типу за його оптичними та плазмодинамічними характеристиками
за авторством: Гончаров, О.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Химическая связь сурьмы. Технологические аспекты
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Информационно-технологические средства управляемой эволюции
за авторством: Палагин, А.В.
Опубліковано: (2021)

Технологические особенности высокохромистого никелевого сплава, комплексно-легированного рением и танталом
за авторством: Максюта, И.И., та інші
Опубліковано: (2014)

Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2012)

Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления
за авторством: Юрченко, Г.В.
Опубліковано: (2000)

Технологические особенности получения крупногабаритных изделий из литой оловянной бронзы
за авторством: Высоцкий, Е.Н.
Опубліковано: (2007)

Конструктивно-технологические особенности автодинных ГИС КВЧ на диодах Ганна
за авторством: Votoropin, S. D.
Опубліковано: (2006)

Технологические особенности выдувки доменных печей при остановке на капитальный ремонт
за авторством: Большаков, В.И., та інші
Опубліковано: (2009)

Разработка и исследование макета низкочастотного источника питания сильноточного импульсного магнетронного разряда
за авторством: Гришкевич, А.Д., та інші
Опубліковано: (2019)