Система квантовых структур с алмазоподобным углеродным покрытием для кремниевых фотопреобразователей

• Дата: 2010
• Автори: Ефимов, В.П., Абызов, А.С., Лучанинов, А.А., Омаров, А.О., Стрельницкий, В.Е.
• Формат: Стаття
• Мова: Russian
• Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2010
• Теми: Применение ускорителей
• Онлайн доступ: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/17040
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Система квантовых структур с алмазоподобным углеродным покрытием для кремниевых фотопреобразователей / В.П. Ефимов, А.С. Абызов, А.А. Лучанинов, А.О. Омаров, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2010. — № 3. — С. 173-176. — Бібліогр.: 2 назв. — рос.

Изучены особенности процесса нанесения аморфного алмазоподобного углеродного покрытия на облученную электронами и тяжелыми многозарядными ионами поверхность кремниевого фотопреобразователя с квантовыми нитями. Приведены экспериментальные результаты исследований оптических характеристик гидрогенизированных алмазоподобных легированных азотом а-С:(Н,N)-покрытий. Выполнена оптимизация параметров осаждения а-С:(Н,N)-покрытий на разупорядоченные структуры кремниевых полупроводников для достижения минимального коэффициента отражения света от фронтальной поверхности кристалла и обеспечения его механической защиты.